Устройство для контроля герметичности изделий в вакууме
Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом. Целью изобретения является повышение долговечности путем исключения окисления катода при напуске атмосферного воздуха в вакуумную камеру. Устройство содержит полюсные наконечники 1. и 2, между которыми расположена масс спектрометрическая камера 3 с подпружи-j ненной крышкой 10 с электромагнитаьш. На полюсном наконечнике 1 установлен корпус 7 держателя с рычажными зажимами 8j которые имеют возможность вращения относительно поперечной оси, перпендикулярной оси отверстия массспектрометрической камеры 3. Крьшка 10 в открытом положении взаимодействует с-рычажными зажимами 8. 1 иЛ.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (51) 4 G 01 M 3/04
Д(4 ь,1 1 т гР
Г, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЦТИЙ (21) 4195186/25-28 (22) 29. 12. 86 (46) 23.07.88. Бюл. № 27 (72) Б.В.Иванов и А.В.Третьяков (53) 620.165.29(088 ° 8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1232974, кл. G 01 М 3/04, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ (57) Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом. Целью изоб- . ретения является повышение долговечности путем исключения окисления ка„„SU, 1411594 А1 тода при напуске атмосферного воздуха в вакуумную камеру. Устройство содержит полюсные наконечники 1 и 2, между которыми расположена масс-спектрометрическая камера 3 с подпружи-, ненной крьппкой 10 с электромагнитами.
На полюсном наконечнике 1 установлен корпус 7 держателя с рычажными зажимами 8, которые имеют возможность врацения относительно чоперечной оси, перпендикулярной оси отверстия масс-. спектрометрической камеры 3. Крьппка
10 в открытом положении взаимодействует с-рычажными зажимами 8. 1 ил.
1 14115
Изобретение относится к области контроля герметичности изделий массс 1ектрометрическим методом.
Цель изобретения — повьппение дол5 г вечности путем исключения окисления к тода при напуске атмосферного возд ха в вакуумную камеру.
На чертеже представлена схема устр йства для контроля герметичности и делий в вакууме.
Устройство содержит полюсные наконечники 1 и 2, расположенную между н ми масс-спектрометрическую камеру 3 с отверстием, по периметру которого у тановлено уплотнение 4, и с размещ иными в ней катодом 5 и ионизатором
6 ионов, корпус 7, закрепленный на п люсном наконечнике 1, подпружиненн е относительно корпуса 7 рычажные 20 з имы 8, соединенные с корпусом 7 с в зможностью вращения относительно п перечной оси, перпендикулярной оси о верстия масс-спектрометрической кам ры 3, электромагниты 9, размещен- 25 н |е на плечах рычажных зажимов 8, к ышку 20, подпружиненную относительн масс-спектрометрической камеры 3 в направлении, совпадающем с осью о верстия масс-спектрометрической ка- 30 м ры 3, с воэможностью взаимодействия в открытом положении с рычажными заж ами 8, и электромагнит 11, закреп л нный на крьппке 10.
Устройство работает следующим обр зом.
После установки устройства в вак гумную камеру (не показана) и создания в ней требуемого вакуума пода1 егся питание на катушку электромаг- 40 нита 11. Магнитное поле катушки элект ромагнита 11 взаимодействует с магн итным полем наконечника 1 и перемещает вверх крышку 10 масс-спектроМетрической камеры 3, фиксируемую подпружиненными рычажными зажимами
8. После этого отключается питание катушки электромагнита 11, и крышка
1 0 находится в открытом положении.
По окончании испытаний, во время которых при включенном катоде 5 ре50
i"èñòðèðóeòñÿ ионный ток, образованный ионами пробного газа, подается импульс питания на катушки электромагнитов 9. Магнитное поле катушек электромагнитов 9 взаимодействует с магнитным полем наконечника 1, и плечи рычажных зажимов 8 притягиваются к наконечнику 1, освобождая крышку 10, которая герметизирует масс-спектрометрическую камеру 3 путем прижима к уплотнению 4. После этого происходит разгерметизация вакуумной камеры с сохранением вакуума в масс-спектрометрической камере 3.
Предлагаемое устройство позволяет увеличить время межрегламентной работы с 30 до 100 ч благодаря улучшению вакуумных условий хранения катода при перерывах в работе.
Формула и з обретения
Устройство для контроля герметичности изделий в вакууме, содержащее магнитную систему, выполненную в виде полюсных наконечников с общим магнитопроводом, и масс-спектрометрическую камеру с отверстием, размещенную между полюсными наконечниками, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения долговечности, отверстие в масс-спектрометрической камере выполнено в стенке, обращенной к одному из полюсных наконечников, устройство снабжено держателем, выполненным в виде корпуса, закрепленного на полюсном наконечнике со сто" роны отверстия, подпружиненных относительно корпуса рычажных зажимов, соединенных с корпусом с возможностью вращения относительно поперечной оси, перпендикулярной к оси отверстия масс-спектрометрической камеры, электромагнитов, размещенных на плечах рычажных зажимов, крьппкой, подпружиненной относительно масс-спектрометрической камеры в направлении, совпадающем с осью отверстия, с возможностью взаимодействия в открытом положении с рычажными зажимами, и электромагнитом, закрепленным на к рьппке, ВНИИПИ Заказ 3645/37 Тираж 847 Подписное
Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
