Способ фотометрического контроля многослойных покрытий

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического контроля толщины пленок в процессе напыления многослойных покрытий. Целью изобретения является расширение диапазона параметров контролируемых покрытий, достиг-аемое благодаря использованию излучения с длиной волны, большей, чем рабочая, и связанной с ней известной зависимостью. Одновременно с рабочей подложкой напыление слоев покрытия, состоящего из пленок двух чередующихся веществ, производят на два контрольных образца. Причем слои разных веществ наносят на разные контрольные образцы. Облучают контрольные образцы излучекием с длиной волны, кратной рабочей , и напыление каждого слоя прекращают по достижении коэффициентом пропускания контрольного образце определенного значения. Q (/)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (Н) (511 4 С Ol В 11 26

ОПИСАНИЕ .ИЗОБРЕТЕНИЯ

:Ь

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4075716/24-28 (22) I I ° 06,86 (46) 07.08.88.Бюл. У 29 (72) Ш.А.Фурман и Д.М.Фейгин (53) 666.1.056:535.4 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 266223, кл. G 01 В 11/06, 1970. (54) СПОСОБ ФОТОМЕТРИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ ! (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического контроля толщины пленок в процессе напыления многослойных покрытий. Целью изобретения является расширение диапазона параметров контролируемых покрытий, достигаемое благодаря использованию излучения с длиной волны, большей, чем рабочая, и связанной с ней иэ" вестной зависимостью. Одновременно с рабочей подложкой напыление слоев покрытия, состоящего из пленок двух чередующихся веществ, производят на два контрольных образца.

Причем слои разных веществ наносят на разные контрольные образцы.

Облучают контрольные образцы излуче» нием с длиной волны, кратной рабочей, и напыление каждого слоя прекращают по достижении коэффициентом пропускания контрольного образца определенного значения.!

415057

Изобретение относится к измерительной технике и может быть испольПредлагаемый способ поэволяетр не применяя специальных фотометров для ультрафиолетовой области спектра и пе производя громоздких вычислений, связанных с пересчетом параметров пленок с одной длины волны на другую, расширить спектральный диапазон контролируемых покрытий в ультрафиолетовой области спектра.

Составитель М.Семчуков

Техред M.Ходапич Корректор И.Васильева

Редактор Н.Рогулич

"1аказ 3862/37 Тираж 680 Подписное

HHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосквар Ж 35р Раушская наб., д. 4j5

Производственно †полиграфическ г.редприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 зовано для технологического контроля толщины пленок в процессе напыления многослойных покрытий, предназначен ных для работы в ультрафиолетовой области спектра.

Цель изобретения — расширение диапазона параметров контролируемых пок-10 рытий, достигаемое благодаря использованию для контроля излучения с длиной волны, большей, чем рабочая, 1 и связанной с ней известной зависимостью, и прекращению напыления очередного слоя по достижении контрольным образцом определенного коэффициента пропускания.

Контроль толщины пленок в процессе напыления многослойного покрытия, 20 содержащего чередующиеся слои двух

: веществ, имеющих показатели прелом: ления и и n (n ц > и „), производится следующим образом.

Используются два KottòðîëüFtûõ oG 25 разца, на которые напыление веществ, составляющих покрытие, производится одновременно с напылением на рабочую подложку. На каждый контрольный образец напыляют все слои только одного из веществ, для чего контрольные образцы попеременно экранируют. В процессе напыления облучают соответствующий контрольный образец излучением с длиной волны Я, крат35 ной длине волны р котрройр в свою очередь, кратны учетверенные расчетные толщины слоев покрытия. По интенсивности отраженного или прошедп.е-. го контрольный обраэец излучения сирс-,0 деляют коэффициент Т„ его пропускания, и прекращают напыление очередного слоя по достижении коэффициептом Т„ значения, соответствующего толщине 0,125 р для слоев с нечетными номерами, толщине 0,25 A + †. для слоев с номерами 4п-2 и нулевой толщине — для слоев с номерами 4п, где и — натуральное число.

Формула изобретения

Способ фотометрического контроля многослойных покрытий, заключающийся в том, что напылению подвергают рабочую подложку и несколько контрольных образцов, на каждый из которых напыляют слои одного из веществ покрытия одновременно с их напыпени ем па рабочую подложку, на контрольные образцы направляют монохромати-ческое излучение, измеряют интенсивность прошедшего KQHTpoJIbFIb!H образец или отраженного им излучения и определяют толщину очередного слоя по измеренному значению интенсивности, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона параметров контролируемых покрытий, используют излучение с длиной волны кратной длине волны Ъ,, величине которой кратпы учетверенные расчетные толщины слоев покрытия, а насыщение очередного слоя прекращают по достижении контрольным образцом с пленкой одноимепного вещества оптической толщины К Ор1?5 Aq> коэффициента пропускания Т„ = Т(К 0,125hy), причем Т „ = Т(0,125 Л, ) для слоев с нечетными камерами К, Тк = Т(0,25 х х ) — для слоев с номерами.К =

" Ф вЂ” 4п-2 и T < = Т(0) — для слоев с померами К = 4п, где и — натуральное число, Т(0,1253 ) коэффици епт пропускания слоя толщиной 0,125Ъ „

Т(0,25 g ) — коэффициент пропусканйя слоя толщиной 0,25 А >, а Т(0) — коэффициент пропускания слоя нулевой толщины.