Турбомолекулярный насос для откачки агрессивных газов

 

Изобретение позволяет повысить надежность насоса. По оси вертикального корпуса 1 в его нижней части установлен электродвигатель (ЭД) 3 с крышкой 4. На валу 5 ЭД 3 закреплен полый ротор 6. На днище 7 корпуса расположена масляная ванна 8. Хвостовик 10 вала 5 размещен в ванне 8. Регулируемое газонапускное устройство 11 установлено с наружной стороны ванны 8, подключено к источнику инертного газа и включает вертикальную трубку 12. Верхний конец трубки 12 введен с зазором в осевой канал 9 вала 5. Мембранный клапан в крыщке 4 выполнен в виде набора эластичных и гигроскопичных колец, размещенных коаксиально валу 5 ЭД 3 и контактирующих с ним. Под наборо.м колец м. б. расположены сквозные радиальные отверстия, сообщенные с каналом 9, который в зоне отверстий имеет участок меньщего диаметра. Вал 5 в зоне контакта с наборо.м колец м. б. выполнен коническим. Инертный газ, заполняя нолость ротора 6, в которой размещен ЭД 3, препятствует проникновению агрессивных газов к ЭД 3 и защищает опоры вала 5, а также систему смазки насоса. Мембранный клапан обеспечивает проход газа только в одном направлении - от ЭД 3. 2 з.п.ф-.лы. 2 ил. аз отквчиёаЕпого (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (5D 4 F 04 D 19 04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ аз апаааааааага ааь а.аг t

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4158014/25-06 (22) 09. 12.86 (46) 23.08.88. Бюл. № 31 (72) А. С. Скоркин, В. Г. Шугаев, В. В. Редичева и Б. Д. Жлукто (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1250721, кл. F 04 D 19/04, 1985. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

ДЛЯ ОТКАЧКИ АГРЕССИВНЫХ ГАЗОВ (57) Изобретение позволяет повысить надежность насоса. По оси вертикального корпуса I в его нижней части установлен электродвигатель (ЭД) 3 с крышкой 4. На валу

5 ЭД 3 закреплен полый ротор 6. На днище 7 корпуса расположена масляная ванна 8. Хвостовик 10 вала 5 размещен в ванне 8. Регулируемое газонапускное устройство 11 установлено с наружной стороны ванны 8, под„„SU„„1418494 А 1 ключено к источнику инертного газа и включает вертикальную трубку 12. Верхний конец трубки 12 введен с зазором в осевой канал 9 вала 5. Мембранный клапан в крышке 4 выполнен в виде набора эластичных и гигроскопичных колец, размещенных коаксиально валу 5 ЭД 3 и контактирующих с ним.

Под набором колец м. б. расположены сквозные радиальные отверстия, сообщенные с каналом 9, который в зоне отверстий имеет участок меньшего диаметра. Вал 5 в зоне контакта с набором колец м. б. выполнен коническим. Инертный газ, заполняя полость ротора 6, в которой размещен ЭД 3, препятствует проникновению агрессивных газов к

ЭД 3 и защищает опоры вала 5, а также систему смазки насоса. Мембранный клапан обеспечивает проход газа только в одном щ направлении — от ЭД 3. 2 з.п.ф-лы. 2 ил.

1418494

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов, предназнаценных для откачки объемов с повышенным содержанием агрессивных газов.

Цель изобретения — повышение надежНости насоса.

На фиг. представлен насос, продольНый разрез; на фиг. 2 — узел 1 на фиг. 1.

Турбомолекулярный насос для откачки агрессивных газов содержит вертикальный корпус 1 со статорными дисками 2, устаНовленный по оси корпуса 1 в его нижней части электродвигатель 3 с крышкой 4, закрепленный на валу 5 электродвигателя 3

11олый ротор 6, расположенную на днище 7 корпуса 1 масляную ванну 8 и источник инертного газа, причем вал 5 электродвигателя 3 имеет осевой канал 9 и хвостовик 10, размещенный в масляной ванне 8. Насос дополнительно содержит регулируемое газонапускное устройство 11, установленное .с наружной стороны масляной ванны 8,, подключенное к источнику инертного газа . и включающее вертикальную трубку 12, верхний конец которой введен с зазором в, осевой канал 9 вала 5 электродвигателя 3,, а крышка 4 электродвигателя 3 снабжена, мембранным клапаном, выполненным в виде набора эластичных и гигроскопичных колец

13 и 14, размещенных коаксиально валу 5 и контактирующих с ним. Вал 5 электро двигателя 3 снабжен расположенными под набором колец 13 и 14 сквозными радиальными отверстиями 15, сообщенными с осевым каналом 9, а последний в зоне отверстий !5 имеет участок меньшего диаметра. Вал 3 в зоне контакта с набором колец 13 и 14 выполнен коническим.

Насос работает следующим образом.

Г1еред запуском электродвигателя 3 подают инертный газ из источника через регулируемое газонапускное устройство 1 в осевой канал 9 вала 5. Внешним насосом создают в полости корпуса 1 предварительное разрежение, после чего запускают электродвигатепь 3. Откачиваемый газ, поступающий в насос и содержащий агрессивные компоненты, взаимодействуя с дисками ротора 6 и статорными дисками 2, переносится на сторону нагнетания и удаляется внешним форвакуумным насосом.

Инертный газ, заполняя полость ротора 6, в которой размещен электродвигатель 3, препятствует проникновению агрессивных газов к электродвигателю и защищает опоры вала 5, а также систему смазки насоса.

Мембранный клапан обеспечивает проход газа только в одном направлении — от электродвигателя 3. При более высоком давлении агрессивного газа, чем давление инертного газа, эластичные кольца 13 прижимаются к конической части вала 5, не допуская перетечек.

Масло из масляной ванны 8 за счет эффекта центрифугирования подается по каналу 9 к опорам вала 5, но вследствие наличия в канале 9 участка меньшего диаметра в зоне отверстий 15 масло не достигает этих отверстий, через которые прохо15 дит инертный газ.

Пары масла, попадающие в зону мембранного клапана, поглощаются гигроскопичными кольцами 14.

Таким образом, достигается надежная защита узлов насоса от агрессивных газов, 20 что в целом повышает надежность насоса.

Формула изобретения

1. Турбомолекулярный насос для откачки агрессивных газов, содержащий вертикальный корпус со статорными дисками, установленный по оси корпуса в его нижней части электродвигатель с крышкой, закрепленный на валу электродвигателя полый ротор, расположенную на днище корпуса масляную ванну и источник инертного газа, причем вал электродвигателя имеет осевой

ЗО канал и хвостовик, размещенный в масляной ванне, отличающийся тсм, что, с целью повышения надежности, насос дополнительно содержит регулируемое газонапускное устройство, установленное с наружной стороны масляной ванны, подключенное к источнику инертного газа и включающее вертикальную трубку, верхний конец которой введен с зазором в осевой канал вала электродвигателя, а крышка электродвигателя снабжена мембранным клапаном, выполненным в виде набора эластичных и гигроскопичных колец, размещенных коаксиально валу и контактирующих с ним.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что вал электродвигателя снабжен расположенными под набором колец сквозными радиальными отверстиями, сообщенными с осевым каналом, а последний в зоне отверстий имеет участок меньшего диаметра.

3. Насос по п. 1, отличаюи!ийся тем, что вал в зоне контакта с набором колец выполнен коническим.

1418494

Ж

Составитель В. Кряковкин

Редактор Н. Бобкова Техред И. Верес Корректор В. Гирняк

Заказ 4! 40/35 Тираж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! )3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб.. д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4