Ротор или статор турбомолекулярного насоса


 


Владельцы патента RU 2455529:

ОТТО ФУКС КГ (DE)
ЁРЛИКОН ЛАЙБОЛЬД ВАКУУМ ГМБХ (DE)

Изобретение относится к изготовлению роторов или статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из специального алюминиевого сплава. Указанный сплав является деформируемым Al-Cu-Mg-Mn - сплавом с содержанием меди (Сu) от 3,8 до 4,2 вес.% и содержанием магния (Mg) от 0,45 до 0,6 вес.%. В результате за счет комбинации обработки снятием стружки и способов пластического деформирования снижаются затраты на изготовление ротора и статора турбомолекулярного насоса. 1 з.п. ф-лы.

 

Объектом изобретения являются ротор или статор турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из специального алюминиевого сплава.

Для изготовления роторов турбомолекулярного насоса с роторными лопастями в качестве конструкционного материала зарекомендовал себя алюминий, так как в этом случае лучше всего сочетаются требования как можно меньшего удельного веса при одновременно высокой прочности и хорошей обрабатываемости. Так, из источника М.Вутц и др. Теория и практика вакуумной техники, второе издание, 1982, Фридр. Фивег и сын, Брауншвейг/Висбаден, стр.207/208 (М.Wutz et al., Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, zweite Aufl., 1982, Friedr. Vieweg & Sohn, Braunschweig/Wiesbaden) известно изготовление ротора или статора из специально подобранных алюминиевых сплавов.

Для изготовления производительных насосных роторов или статоров преимущественно используются алюминиевые сплавы с высокой термостойкостью. Роторы из таких материалов обычно изготавливаются с помощью способа снятия стружки, как это, например, описано в DE 10210404 А1 или DE 29715035 U1, на каждый из которых в полном объеме делается соответствующая ссылка. При этом формование лопасти является особенно затратным по времени и средствам.

В DE 10103230 А1 описаны роторы, у которых часть роторных лопастей имеет заднюю сторону, которая со стороны всасывания выполнена выпуклой, а со стороны давления вогнутой, или по меньшей мере часть роторных лопастей имеет переднюю сторону, которая со стороны всасывания выполнена вогнутой, а со стороны давления выпуклой.

При использовании высокопрочных сплавов необходимо учитывать их низкую способность к пластическому деформированию. Это приводит к тому, что полное формование сплошных тел или дисков приходится осуществлять обработкой с помощью способа снятия стружки, а более экономичные способы формования путем пластического деформирования, такие как кручение, чеканка или штамповка-чеканка, использоваться не могут.

Конкретно, для сплавов средней прочности сочетание способов обработки снятием стружки (токарная обработка, фрезерование) и/или термических способов съема металла (электроэрозионная обработка) со способами пластического деформирования (кручение) зарекомендовало себя как более экономичная технология изготовления роторов или статоров.

При этом, сначала из отдельных, имеющих форму диска сегментов обработкой снятием стружки получают цилиндрическое сплошное тело, которые затем аксиально надрезаются электроискровой резкой. Таким образом на каждом дисковом сегменте получаются имеющие форму диска структуры, которые последующим пластическим скручиванием вдоль продольной оси лопасти получают определенный угол установки.

В DE 10053664 А1 описан механический кинетический вакуумный насос с ротором из алюминиевого сплава; для повышения термостойкости и длительной прочности предлагается использовать в качестве материала ротора полученный способом порошковой металлургии сплав легкого металла, основным легирующим компонентом которого наряду с алюминием является медь и который дополнительно содержит магний, марганец, цирконий и серебро, а также при известных условиях титан.

За счет использования нового высокопрочного и термостойкого деформируемого алюминиевого сплава, который в состоянии после естественного старения имеет необычайно высокое относительное удлинение при разрыве, становится возможным использование вышеуказанных более экономичных способов обработки, которые до сих пор могли использоваться только для алюминиевых сплавов низкой и средней прочности.

В WO 2004/003244 А1 описан Al-Cu-Mg-Mn-сплав для изготовления полуфабрикатов с высокими статическими и динамическими прочностными свойствами. Неожиданно было обнаружено, что описанные здесь сплавы, с одной стороны, особенно термостойки, а с другой стороны, - в состоянии после естественного старения имеют такую высокую пластичность, что возможно экономичное изготовление ротора обработкой снятием стружки или термическими способами съема металла и пластическим деформированием (например, кручением или гибкой).

Поэтому изобретение относится к ротору или статору турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из алюминиевого сплава, отличающимся тем, что указанный сплав является деформируемым Al-Cu-Mg-Мn-сплавом с содержанием меди (Сu) от 3,8 до 4,2 вес.% и содержанием магния (Мg) от 0,45 до 0,6 вес.%.

Таким образом, с помощью настоящего изобретения можно получать многоступенчатые цельные роторы или статоры так же, как и роторы или статоры, состоящие из отдельных ступенчатых сегментов. Роторы или статоры имеют малый удельный вес при одновременно высокой прочности и хорошей обрабатываемости.

Особенно предпочтительно в смысле настоящего изобретения, чтобы деформируемый сплав также содержал:

от 0,3 до 0,7 вес.% кремния (Si);

до 0,15 вес.% железа (Fe);

от 0,1 до 0,5 вес.% марганца (Мn);

от 0,05 до 0,15 вес.% титана (Ti);

от 0,1 до 0,25 вес.% циркония (Zr);

от 0,3 до 0,7 вес.% серебра (Аg);

до 0,05 вес.% других элементов, по отдельности;

до 0,15 вес.% других элементов, суммарно;

остальное - алюминий (Аl).

Используемые деформируемые сплавы имеют по сравнению с другими ранее известными сплавами более высокую статическую и динамическую термостойкость и улучшенное сопротивление ползучести при одновременно очень хороших свойствах механики разрушения и поэтому особенно хорошо пригодны для роторов или статоров турбомолекулярных насосов согласно изобретению. В частности, используемый согласно изобретению деформируемый сплав имеет относительное удлинение при разрыве не менее 14%, в частности, от 17 до 20% в состоянии после холодного вылеживания, определенное испытанием на разрыв по DIN EN 10002.

Понятие «деформируемый сплав» в смысле изобретения охватывает специальную обработку используемого согласно изобретению сплава, при которой литая структура преобразуется и «разминается» например, посредством горячего прессования, вальцевания или ковки при повышенной температуре. В результате этого легкий металл становится более пластичным. Поэтому деформируемые сплавы допускают дальнейшую холодную деформацию, например вальцевание, вытяжку или ковку (например, в том числе и холодную ковку).

Из WO 2004/003244 А1 само по себе известно, что эти свойства достигаются, в частности, при соотношении «медь-магний» от 5 до 9,5, прежде всего при соотношении от 6,3 до 9,3.

Предпочтительно, содержание меди составляет от 3,8 до 4,2 вес.%, а содержание магния - от 0,45 до 0,6 вес.%. Содержание меди явно превышает максимальную растворимость для меди в присутствии требуемого содержания магния. Следствием этого является то, что доля нерастворимых медесодержащих фаз, даже с учетом прочих легирующих и сопутствующих элементов, очень незначительна. За счет этого получается улучшение относительно динамических свойств и вязкости разрушения роторов, изготовленных из такого сплава.

В отличие от известных из уровня техники алюминиевых сплавов доля серебра в требуемых деформируемых сплавах выражается содержанием от 0,3 до 0,7 вес.%, предпочтительно от 0,45 до 0,6 вес.%. Во взаимодействии с кремнием (0,3-0,7 вес.%, предпочтительно 0,4-0,6 вес.%) дисперсионное твердение происходит по тем же самым механизмам, что и в не содержащих серебра Al-Cu-Mg-сплавах. Однако при более низких содержаниях кремния в результате добавки серебра осаждение протекает по-другому. Изготовленные из такого сплава роторы, хотя и имеют хорошую термостойкость и сопротивление ползучести при более холодных условиях, однако не соответствуют желательным требованиям. Лишь содержание кремния, начиная с 0,3 вес.% подавляет типичное изменение характеристик осаждения Al-Cu-Mg-Аg-сплавов так, что достижимы более высокие показатели прочности без ущерба для термостойкости и сопротивления ползучести при содержании Сu и Мg.

Содержание марганца в используемом сплаве составляет от 0,1 до 0,5 вес.%, предпочтительно от 0,2 до 0,4 вес.%. У сплавов с более высоким содержанием марганца при длительной высокотемпературной нагрузке обнаруживались нежелательные процессы осаждения, которые приводили к снижению прочности. По этой причине содержание марганца ограничено величиной 0,5 вес.%. Однако, в принципе, марганец является компонентом сплава, необходимым для контроля его структуры.

Для компенсации уменьшенных недостатков марганца относительно контроля структуры сплав получает циркон в количестве от 0,10 до 0,25 вес.%, прежде всего 0,14-0,2 вес.%. Осаждающиеся алюминиды циркония, как правило, даже более мелкодисперсны, чем алюминиды марганца. Кроме того оказалось, что алюминиды циркония способствуют термической стабильности сплава.

Для измельчения зерна в сплав вводят 0,05-0,15 вес.%, предпочтительно 0,10-0,15 вес.% титана. Целесообразно вводить титан в виде Аl-5Тi-1B-лигатуры, благодаря чему сплав автоматически получает бор. Из него образуются тонко распределенные, нерастворимые бориды титана. Они способствуют термической стабильности сплава.

В качестве неизбежных примесей сплав может содержать максимум 0,15%, предпочтительно 0,10% железа.

Роторы или статоры турбомолекулярного насоса согласно изобретению с роторными лопастями из указанного выше алюминиевого сплава могут быть, например, получены таким образом, что из отдельных дисков или сплошных тел радиальным разделением получают роторные лопасти, которые затем пластическим деформированием (например, кручением, гибкой, чеканкой, ковкой и т.д.) получают желаемый угол установки. При этом получение желаемого угла установки также включает в себя при необходимости получение определенного контура лопасти. В качестве альтернативы, стадии разделения и пластического деформирования можно проводить за одну рабочую операцию, например штамповкой.

Сами по себе рабочие стадии этого способа известны, но до сих пор они были ограничены использованием алюминиевых сплавов низкой и средней прочности, так как только они имеют требующуюся способность к пластическому деформированию. С помощью настоящего изобретения этот способ применим и к определенным высокопрочным алюминиевым сплавам.

Обычно, при пластическом деформировании исходят из имеющих форму диска лопастных ступеней, в которых предварительно радиальным разделением получают отдельные лопастные сегменты. Процессы разделения в смысле настоящего изобретения охватывают такие процессы разделения, как резка лазером или водяной струей, а также электроэрозионная обработка, обработка снятием стружки, штамповка или штамповка-чеканка.

За счет комбинации обработки снятием стружки и способов пластического деформирования снижаются затраты на изготовление роторов или статоров.

Примеры осуществления:

Пример 1:

Получение установки лопастей роторов турбомолекулярного насоса пластическим деформированием

Из цилиндрического сплошного тела сплава АА 2016 (см. WO 2004/003244) обработкой снятием стружки изготавливали расположенные концентрично один над другим, имеющие форму диска сегменты в соответствии с желаемым числом секций насоса. В результате этого получалось вращательно-симметричное тело, состоящее из расположенных друг над другом имеющих форму диска ребер, которые были соединены друг с другом в области втулки. Толщина ребра соответствовала толщине получаемой впоследствии лопасти. Каждый реберный диск надрезали в осевом направлении вплоть до близости от втулки через равномерные интервалы по периметру, в результате чего получались отдельные лопастные сегменты.

При этом материал был в состоянии «обработанный на твердый раствор, закаленный и естественно состаренный». В этом состоянии он обладал высокой способностью к пластической деформации.

В этом же состоянии лопастные сегменты подвергали кручению по продольной оси. При этом кручение осуществлялось с помощью вилкообразного манипулятора, который захватывал соответствующий лопастной сегмент вплоть до основания лопасти и выполнял крутильное движение по продольной оси лопасти до желаемого угла установки. При этом лопастной сегмент испытывал пластическую деформацию в области около основания лопасти. Таким образом легко получались углы кручения или установки около 45° к исходному положению, и при этом не наблюдалось никаких трещин в области основания лопасти.

С традиционными термостойкими Al-сплавами такие углы получить невозможно.

Для получения необходимой для последующей эксплуатации прочности осуществляли искусственное старение (термическое старение) для достижения максимальной прочности в соответствии с состоянием Т6.

Пример 2:

Штамповка-чеканка дисков статора

Из Al-листов указанного в примере 1 материала диски статора изготавливаются способом штамповки-чеканки следующим образом:

Кольцевые сегменты в форме полукруга вырубают из алюминиевого листа толщиной от 0,5 до 1,0 мм. Состояние листа: «обработанный на твердый раствор, закаленный и естественно состаренный».

После этого эти кольцевые сегменты вкладывают в матрицу, которая прессованием на эту матрицу противоформы вырабатывает контур лопасти.

При этом выштамповываются кромки обтекания радиально-симметрично расположенных лопастных сегментов, в то время как угол установки лопасти, напротив, получается в результате пластического деформирования в матрице. Максимальное деформирование происходит в области перехода свободной кромки обтекания лопасти к недеформированному листу.

Для получения необходимой для последующей эксплуатации прочности осуществляется искусственное старение до максимальной прочности в соответствии с состоянием Т6.

1. Ротор или статор турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из алюминиевого сплава, отличающиеся тем, что указанный сплав является деформируемым Al-Cu-Mg-Mn-сплавом с содержанием меди (Сu) от 3,8 до 4,2 вес.% и содержанием магния (Mg) от 0,45 до 0,6 вес.%.

2. Ротор или статор по п.1, отличающийся тем, что деформируемый сплав также содержит:
от 0,3 до 0,7 вес.% кремния (Si),
до 0,15 вес.% железа (Fe),
от 0,1 до 0,5 вес.% марганца (Мn),
от 0,05 до 0,15 вес.% титана (Ti),
от 0,1 до 0,25 вес.% циркона (Zr),
от 0,3 до 0,7 вес.% серебра (Ag),
до 0,05 вес.% других элементов, по - отдельности,
до 0,15 вес.% других элементов, суммарно,
остальное - алюминий (Аl).



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к способу покрытия изделий из вентильных металлов, которые применяются в качестве комплектующих для турбомолекулярных насосов. .

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к механическим вакуумным насосам, и содержит цилиндрический корпус, разделенный поперечными статорными колесами, и ротор с набором роторных колес, выполненных в виде радиальных крыльчаток, закрытых с двух сторон дисками, причем один из дисков имеет центральное отверстие, совпадающее по диаметру с отверстием в статорном колесе, выполненном в виде диска с односторонним профилированным оребрением.

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к молекулярным вакуумным насосам, использующимся для создания вакуума в различных технологических системах.

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к турбомолекулярным насосам, использующимися для создания вакуума в различных технологических системах. .

Изобретение относится к вакуумной технике. .

Изобретение относится к вакуумной технике. .

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для работы различных откачных вакуумных средств, работающих на атмосферное давление. .

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к турбомолекулярным насосам

Изобретение относится к области вакуумной техники. Насос содержит корпус с входным патрубком и с двумя симметрично расположенными проточными частями относительно входного патрубка. Каждая часть состоит из турбомолекулярной, промежуточной и выходной молекулярной ступеней. Промежуточная ступень выполнена в виде двух кольцевых молекулярных ступеней, концентрично расположенных друг относительно друга с центром расположения на оси вращения вала. Первая кольцевая молекулярная ступень расположена на торцевой поверхности крышки, расположенной между стороной нагнетания турбомолекулярной ступени и стороной всасывания второй кольцевой молекулярной ступени. Последняя расположена между стороной нагнетания первой кольцевой молекулярной ступени и стороной всасывания выходной ступени с формированием потока откачиваемого газа от периферии к центру на сторону всасывания выходной ступени. Выходная ступень образована двумя эквидистантными цилиндрическими участками между внутренней поверхностью ротора и наружной поверхностью корпуса подшипникового узла. На наружной поверхности корпуса узла выполнены многозаходные винтовые канавки. Изобретение направлено на улучшение откачных характеристик насоса за счет повышения степени сжатия промежуточной и выходной ступеней и в результате повышение выходного давления насоса. 16 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области испытания устройств на герметичность. Сущность: устройство включает в себя: масс-спектрометрическую трубку (2), выполненную с возможностью обнаружения газа для поиска утечки, и турбомолекулярный насос (3). Турбомолекулярный насос (3) имеет множество ступеней роторов (33) и статоров (34), поочередно размещенных в корпусе (31), причем роторы (33) прикреплены к вращающемуся валу (32). Кроме того, турбомолекулярный насос (3) включает в себя источник (35) привода, выполненный с возможностью приведения во вращение вращающегося вала (32). Впускное отверстие (36), сообщающееся с испытательным образцом (TP), и соединительное отверстие (37), с которым соединена масс-спектрометрическая трубка (2), отстоят друг от друга на поверхности (31а) стенки корпуса (31). Причем поверхность (31а) стенки обращена к ротору (33а) самой верхней ступени. Обнаружение утечки выполняется, побуждая газ для поиска утечки входить в масс-спектрометрическую трубку (2) изнутри испытательного образца (ТР). Технический результат: повышение чувствительности и оперативности при обнаружении утечки. 4 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике. Проточная часть турбомолекулярного вакуумного насоса включает четыре последовательно следующих одна за другой ступени: одну турбомолекулярную, одну переходную торцевую молекулярную и две, первую и вторую, концентрично расположенные напротив друг друга цилиндрические молекулярные ступени. Верхний корпус закреплен на торце внешнего фланца среднего корпуса, снабженного цилиндрическим выступом, сквозными отверстиями, выполненными параллельно его продольной оси, и радиальным отверстием, соединяющими сторону нагнетания четвертой ступени с системой форвакуумной откачки. Наружная поверхность цилиндрического выступа среднего корпуса содержит многозаходные винтовые канавки с углом наклона в сторону вращения ротора. Плоская торцевая поверхность статора выполнена с пазами, образованными дугами окружностей с центрами, равномерно расположенными на центральной окружности, и с углом наклона против вращения ротора и обращенной с осевым рабочим зазором в сторону торцевой поверхности последнего роторного диска турбомолекулярной ступени с размещенными на периферии лопатками под углом наклона в сторону вращения вала. Межлопаточные каналы лопаток оптически закрыты и образуют переходную торцевую молекулярную ступень. Концентрично расположенные напротив друг друга эквидистантные цилиндрические участки между внутренней поверхностью с многозаходными винтовыми канавками статора и наружной поверхностью полого цилиндра ротора, а также между внутренней поверхностью полого цилиндра ротора и наружной поверхностью с многозаходными канавками цилиндрического выступа среднего корпуса образуют соответственно первую и вторую цилиндрические молекулярные ступени проточной части насоса. Изобретение направлено на улучшение откачных характеристик насоса и увеличение его жизненного цикла. 17 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к высоковакуумным насосам. Высоковакуумный гибридный насос, состоящий из корпуса, электрического двигателя на подшипниках, приводящего в движение ротор насоса, имеющий роторные лопатки и расположенные между ними статорные лопатки, образующие турбомолекулярную ступень. На внутренней части ротора насоса, посадочная часть которого выполнена в виде конуса Морзе, нарезана четырехзаходная прямоугольная резьба с переменным сечением канавок, а статорная, неподвижная часть насоса отделена от ротора насоса антифрикционной втулкой, изготовленной из графитофторопластового материала. Таким образом, предлагаемая конструкция насоса обеспечивает повышение производительности насоса, его надежную и долговечную работу с требуемыми откачными характеристиками. 3 з. п. ф-лы, 2 ил.
Наверх