Способ определения адгезии сухих пленочных фоторезистов

 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам определения адгезии сухих пленочных фоторезистов. Целью изобретения является снижение трудоемкости определения. На пленку 6 фоторезиста, нанесенную на медную подложку 7, устанавливают наконечник 2 инструмента наклонно к слою пленки 6. Перемещают инструмент под постоянным углом наклона к пленке 6, осуществляя надрез его рабочей поверхностью диаметром S с режущей кромкой, размещенной в плоскости, перпендикулярной оси наконечника 2. Измеряют ширину надреза и сравнивают ее с диаметром S. Адгезию оценивают в баллах, выбранных по соотношению d : S. 3 ил.

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам определения адгезии сухих пленочных фоторезистов. Целью изобретения является снижение трудоемкости определения. На фиг. 1 приведена схема осуществления способа, вид сбоку; на фиг. 2 то же, вид сверху; на фиг. 3 режущий инструмент. Инструмент содержит ручку 1 и наконечник 2 с рабочей поверхностью 3 цилиндрической формы и режущей кромкой 4, образованной пересечением под прямым углом рабочей поверхности 3 плоскостью 5. Способ осуществляют следующим образом. Наносят пленку 6 фоторезиста на медную подложку 7, устанавливают наконечник 2 инструмента наклонно к слою пленки 6 и перемещают инструмент под постоянным углом наклона к пленке 6. Затем измеряют ширину d надреза 8 и сравнивают максимальное значение ширины d с диаметром S рабочей поверхности 3 инструмента. Адгезию слоя оценивают в баллах. П р и м е р. На подложку 7 в виде фольгированного медью стеклотекстолита, очищенную декапированием 5% -ной серной кислотой и гидроабразивной зачисткой вращающимися полиамидными щетками в присутствии водно-пемзовой суспензии, при помощи ламинатора КП.63.46 наносят сухой пленочный фоторезист марки СПФ-АС-1 или СПФ-ВЩ-2. Производят экспонирование фоторезиста на установке КП.63.41 с оптимальным, найденным предварительно временем экспонирования. Проэкспонированные образцы выдерживают в течение 30 мин в темноте при температуре 20±3^оС для завершения темновой фотохимической реакции, затем удаляют (отслаивают) полиэтилентерефталатную пленочную основу фоторезиста. Если экспонирование проводили через фотошаблон, содержащий рисунок проводников печатной схемы, то образец может быть проявлен до определения адгезии фоторезиста (соответственно метилхлороформом или 2% -ным водным раствором карбоната натрия). Для проведения испытания кладут исследуемую подложку 7 с нанесенным фотоотвержденным светочувствительным слоем 6 на ровную твердую поверхность. Придерживая подложку 7 рукой, при помощи наконечника 2 режущего инструмента, держа его наклонно к подложке 7 под углом, близким к 45^о, производят надрез 8 поверхности слоя 6 до подложки 7 длиной 10-15 мм. Перемещение инструмента с наконечником 2 осуществляют наклонно и под тем же углом к светочувствительному слою 6 в направлении наклона. Скорость движения инструмента 2-3 мм/с. Допускается использование линейки при надрезании светочувствительного слоя и для контроля скорости резания. При помощи микроскопа МБС-2 определяют максимальную ширину d надреза 8 и сопоставляют ее с диаметром рабочей поверхности 3 (S) инструмента. Адгезию слоя 6 оценивают в баллах: 1 балл ширина разреза меньше диаметpа окружности режущей кромки (d < S), 2 балла при условии, если S ≅ d < 1,5S, 3 балла при условии, если d ≥ 1,5. Адгезия слоя 6 считается хорошей, если она соответствует оценке 1 балл. Адгезия неудовлетворительна, если она получает оценку 3 балла. При оценке 2 балла использование фоторезиста допускается (адгезия удовлетворительная), но при этом не исключается возможность частичного адгезионного разрушения слоя 6.

Формула изобретения

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ СУХИХ ПЛЕНОЧНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ, по которому наносят пленку фоторезиста на медную подложку, режущим инструментом надрезают светочувствительный слой пленки и определяют величину адгезии, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости определения, используют режущий инструмент с цилиндрической рабочей поверхностью, перемещают его под постоянным углом к слою пленки, измеряют максимальную ширину надреза, а величину адгезии определяют по максимальной ширине надреза и диаметру рабочей поверхности инструмента.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3