Способ определения разориентировки среза кристалла

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (51) 4 С 01 В 11/26

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4044139/24-28 (22) 19.02,86 (46) 07.10,88.. Бюп. 1) 37 (7f) Ленинградский горный институт им. Г.В.Плеханова (72) М.Д.Любалин, ВН.Третьяков,:

А Л.Кукуй и А.Н.Баранов (53) 531. 743 (088. 8) (56) Хейнман P.Á. Растворение кристаллов. — Л.: Недра, 1979. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РА30РНЕНТНРОВКИ СРЕЗА КРИСТАЛЛА (57) Изобретение относится к обработке кристаллов для изготовления приборов. Целью изобретения является повышение точности определения разориентировки за счет измерения,углового рассогласования между теоретиЧеским . и фактическим углами отклонения контролируемого среза кристалла от его спайкой плоскости. Поворачивают источник света с экраном, расположенным перпендикулярно его оси, на заданный угол, равный теоретическому углу отклонения нормали к его спайности от кристаллографической оси, направляют излучение от источника света на часть препарированной поверхности кристалла и наблюдают проекцию отраженного пучка на экране, доворачивают источник света до совмещения центра проекции пучка с центром экрана. Величину доворота источника измеряют по углоизмерительному узлу. Измеренное значение угла характеризует в еличину разориентировки среза контролируемого кристалла. 1 ил.

1428914

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использОВано в электронной промьппленности для определения среза кристаллов от5 носительно его кристаллографической осй.

; Целью изобретения является повышение точности определения разориентиРовки за счет измерения углового рас- 10 согласования между теоретическим и фактическим углами отклонения контрол 1руемого среза кристалла от его сг айности.

; На чертеже представлена принципи" 15 ьная схема определения разориентир вки среза кристалла.

На схеме показаны источник 1 света, формиру иций коллимированный пучок, экран 2, расположенный по норма- 20 ли к оси источника света, столик 3, предназначенный для размещения в нем кОнтролируемого кристалла, углоизмерительный узел 4, на котором установлен источник света с возможностью по- 25 ворота вокруг оси узла, направляющая

5, параллельная опорной поверхности столика, с которой конструктивно связан углоизмерительный узел.

На чертеже также показана плоско- 30 параллельная пластинка 6, вырезанная параллельно срезу контролируемого кристалла, препарированная поверхность 7 пластинки, на которой создают мнкрорельеф. На чертеже обозначена нормаль 8 к пластинке 6 и теоретическнй угол (о ) отклонения нормали к препарированной части поверхности от кристаллографической оси.

Срез кристалла или вырезанную па- 40 раллельно ему плоскопараллельную пластинку 6 располагают параллельно опорной плоскости столика 3. На пластинке препарируют часть ее поверхности 7, создавая микрорельеф, хаРактер- 45 ный для каждого класса кристаллов.

Измерения проводят следукнцим обр азам.

Выставляют источник 1 света перпендикулярнО контролируемои ПЛОскасти 50 среза кристалла, наблюдая за положением отраженного светового пучка на экране 2. При вращении столика изображение светового пучка на экране не сходит с центра экрана. 55

Затем источник 1 света и экран 2 поворачивают на заданный угол (Ы.), равный теоретическому значению угла.

Зная вещество, его симметрию и размещение осей симметрии в кристалле или символы кристаллографических направлений по справочникам или путем вычисления получают угол сс между этими направлениями. Если контролируемый срез не параллелен плоской сетке кристалла, то нормаль к нему не является кристаллографическим направлением с рациональным символом. Тогда для получения теоретического угла удобно пользоваться дополнительным углом или углом отклонения от "рациональных" кристаллографических направлений.

Перемещают углоизмерительный уЪел

4 с источником 1 света вдоль направляющей 5 до обеспечения засветки пучком света препарированной поверхности

7 кристалла.

Отраженный пучок света наблюдают на экране 2. Световая проекция на экране соответствует симметрии препарированной части.

Если симметрия световой проекции искривлена и ее ось симметрии не совпадает с центром экрана, значит ось светового пучка и нормаль к препарированной части кристалла не совпадают, что, в свою, очередь, свидетель- ствует о разориентировке проверяемого среза.

Величина разориентировки может быть найдена путем поворота источника света на угол Ьос по углоизмерительному узлу 4, когда центр световой проекции совместится с центром экрана.

Значение угла Ь М. определяет угловое несовпадение нормали к поверхности среза кристалла и кристаллографической осью, что по существу указывает.значение разориентировки среза кристалла.

Если световая картина своим центром совместится с центром экрана, то контролируемый срез не разориентирован.

Формула изобретения

Способ определения разориентировки среза кристалла, заключакнцийся в том, что предварительно размещают кристалл плоскостью среза на опорную поверхность, направляют коллимированный пучок света по нормали к плоскости среза кристалла, проектируют отраженный от нее пучок света на экран, который располагают перпендикулярно

14289

Составитель Н.Солоухин

Техред М.Ходанич .Корректор М.Демчик

Редактор А.Шандор

Тираж 680, Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по. делам изобретений и открытий

113035, Москва, 3-35 Рауюская наб., д. 4/5

Заказ 5112/36

Производственно-полиграфическое предприятие, г. ужгород, ул. Проектная, 4 коллимированному пучку, и по иэображению, получаемому на экране, судят о раэориентировке среза .кристалла, отличающийся тем, что, с целью повьппения точности, перед посылкой на кристалл коллимированного пучка света создают микрорельеф на части его поверхности, совпадакщей с плоскостью спайности, и определяют 10 теоретический угол отклонения нормали к плоскости спайности. от плоскости среза,.отклоняют ось коллимированно14 4 го пучка от нормали к плоскости среза кристалла на угол, равный теоретическому, направляют отклоненный пучок света на участок кристалла с микрорельефом на нем, наблюдают проекцию отраженного пучка на экране, поворачивают ось коллимированного пучка света до совмещения центра проекции пучка с центром экрана и измеряют разность углов поворота оси пучка света, по которой определяют величину разориентировки среза кристалла,