Мера толщины пленок

 

Изобретение применяется для градуировки и поверки толщиномеров покрытий и относится к метрологии.Целью данного изобретения является повышение точности поверки толщиномеров. предназначенных для контроля трубчатых изделий. Мера толщины пленок имеет трехслойную цилиндрическую подложку 1 , на наружной и внутренней поверхностях которой имеются участки для настройки на О толщиномеров. На наружной и внутренней поверхностях подложки имеются два паза, донья которых удалены от поверхностей подложки на величину, равную требуемой толщине пленки или покрытия. Пленка заполняет эти пазы так, что у нее свободные цилиндрические поверхности.совпадают соответственно с наружной или внутренней цилиндрической поверхностью подложки. 2 ил. «

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

А2

„„Я0„„14ЗО7 2 (51) 4 С 01 В 7/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

4 „. °

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (61) 813129 (21) 4225547/25-28 (22) 22.04.87 (46) 15.10,88. Бюл, № 38 (71) Таллинский политехнический институт (72) Р.А,Лаанеотс (53) 620.179,14(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 813129, кл. G 01 В 7/06, 1977, (54) МЕРА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК (57) Изобретение применяется для градуировки и поверки толщиномеров покрытий и относится к метрологии. Целью данного изобретения является повышение точности поверки толщиномеров, предназначенных для контроля трубчатых изделий. Мера толщины пленок имеет трехслойную цилиндрическую подложку 1, на наружной и внутренней поверхностях которой имеются участки для настройки на "0" толщиномеров, На наружной и внутренней поверхностях подложки имеются два паза, донья которых удалены от поверхностей подложки на величину, равную требуемой толщине пленки или покрытия. Пленка заполняет эти пазы так, что у нее свободные цилиндрические поверхности совпадают соответственно с наружной или внутренней д линдрической поверхностью подложки. 2 ил.

1430732

Изобретение относится к метрочогии, а именно к средствам для гй верки и градуировки средств измерения толщин пленок и покрытий, Целью изобретения является повы-. шение точности поверки толщиномеров трубчатых изделий путем исключения влияния кривизны поверхностей подложки и пленки при измерении толщин пленок на цилиндрических и трубчатых изделиях.

На фиг.! изображена мера толщины пленок, вид спереди; на фиг.2 — то же, вид сверху. !5

Мера толщины пленок состоит из подложки 1, выполненной из трех трубчатых элементов, сопряженных между собой, на поверхностях которой имеются участки 2 для настройки на "0" толщи- 20 номеров покрытий, На верхней (наружной) поверхности подложки 1 выполнен паз 3, дно которого удалено от верхней цилиндрической поверхности подложки 1 на величину h,, равную требуемой25 толщине пленки 4. Пленка 4 заполняет паз так, что ее поверхность совпадает с наружной цилиндрической поверхностью подложки 1. Кроме того на внутренней поверхности подложки выполнен второй паз 5, дно которого удалено.от внутренней цилиндрической поверхности подложки 1 на величину

h, равную требуемой толщине пленки 1 6 меры, Пленка 6 заполняет второй

Раз так, что ее поверхность совпадает с внутренней цилиндрической поВерхностью подложки I, пазы 3 и 5 образованы сквозными прорезями в наружном и внутреннем элементах под- 40 ложки 1, Прочие линейные размеры меры толщины пленок определяются исходя из размеров и характеристик датчиков поверяемых толщиномеров покрытий; а также исходя из кривизны поверхнос- 45 тей, контролируемых этими толщиномерами.

Меру толщины пленок изготовляют следующим образом.

Для подложки 1 выбирают три труб50 чатых элемента с разными диаметрами и толщинами стенок: h, равной требуемой толщире пленки на наружной поверхности подложки h, равной требуемой толщине пленки на внутренней йоверхности подложки, и Н, равной миНимально допустимой толщине подложки или больше ее. Обрабатывают цилиндрические поверхности трубчатых элементов, подложки 1 в соответствии с требованиями допусков и соединяют элементы в одно целое с небольшим натягом, Далее на наружной и внутренней поверхностях подлокжи 1 выполняют пазы 3, 5. Для этого из собранной подложки 1 вырезают куски материала шириной h и толщиной h< и h . Так как подложка 1 собрана с небольшим натягом, то куски подложки 1 снимаются легко. Для исключения влияния материала основы на результаты поверки все три элемента желательно изготовлять из одного материала, т.е. из материала деталей, на которых намечается измерение толщин пленок и покрытий.После выполнения описанных выше операций аттестуют с высокой точностью глубину обоих пазов 3, 5 по направлению радиуса кривизны, например, с помощью оптических методов. Далее наносят в наружный паз 3 пленку 4 так, чтобы ее поверхность совпадала с наружной поверхностью подложки 1.

Проверяют цилиндричность наружной поверхности меры, контролируя совпадение верхних поверхностей пленки 4 и подложки l. После этого наносят пленку 6 во внутренний паз 5 подложки 1 так, чтобы ее поверхность совпадала с внутренней поверхностью подложки 1, Проверяют цилиндричность внутренней поверхности меры. Несовпадение цилиндрических поверхностен допускается в пределах до 17. от толщины пленки и учитывается в аттестате меры толщины пленок, После этих операций мера готова к применению.

Проверку и градуировку толщиномеров покрытий с помощью предложенной меры осуществляют следующим образом.

Нулевую точку шкалы или показания на табло толщиномера поверяют, устанавливая датчик поверяемого толщиномера на любой участок 2 наружной поверхности меры толщины пленок.

Затем перемещают датчик на участок меры с пленкой 4. Показания толшино- мера при нахождении датчика на этом участке сравнивают с аттестованной толщиной пленки, При поверке толщиномеров для измерения толщин покрытий на внутренних цилиндрических поверхностях или з

1430732 в трубах датчик поверяемого толщино- Ф о р м у л а мера устанавливают на любой участок

2 внутренней поверхности меры. Далее Ме.ра толщи устанавливают датчик толщиномера на Н- 813129, о

5 участок меры, где имеется пленка 6. что, с целью

В обоих случаях сравнивают показания ки толщиномер толщиномера с аттестованным значени- подложка выпо ем толщины пленки 4 или 6 меры и по ных между соб наибольшей разнице судят о годности 1О на внутренней поверяемого толщиномера. выполнен втор изобретения

Щиг 2

Составитель И.Рекунова

Техред A. Кравчук Корректор Н.Король

Редактор А.Г1аковская

Заказ 5330/40 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Использование изобретения позволяет проводить с высокой точностьюповерку и градуировку толщиномеров, измеря-15 ющнх толщины пленок и покрытий на криволинейных поверхностях, ны пленок по авт.св. т л и ч а ю щ а я с я тем, повьппения точности поверов трубчатых изделий, лнена иэ трех сопряженой трубчатых элементов, поверхности подложки ой паз, аттестованный по глубине, во второй паз нанесена пленка так, что ее поверхность совпадает с внутренней поверхностью подложки, а пазы образованы сквозными прорезями в наружном и внутреннем элементах подложки.

Мера толщины пленок Мера толщины пленок Мера толщины пленок 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для поверки и градуировки толщиномеров покрытий

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано , например, в шинной промьшленности при измерении параметров протекторной ленты

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники

Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может быть использовано для измерения толщины немагнитного покрытия на ферромагнитном основании

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины листов из электропроводного материала при его прокатке

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к автоматизированным устройствам неразрушающего контроля и измерения толщины пленочного покрытия изделия

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх