Способ контроля надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем

 

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к контролю полупроводниковых приборов (ПП) и интегральных схем (ИС). Цель изобретения - повьшение достоверности контроля надежности ПП и ИС. При подаче на ПП или ИС напряжения питания измеряют реактивные составляющие мощности переходных процессов Р, и Р, , соответствующие фронту и спаду импульса напряжения питания. Раздельно изменяя крутизну фронта и спада, добиваются минимальных значений величин мин 2 мин фиксируют длительности переходных процессов Т и Т, соответствующие этим значениям. Вычисляют величины работы А и А, необходимые для изменения параметров структуры ПП и ИС, .соответственно для фронта и спада напряжения питания по формулам.А, Р| Т и Aj РаТ. О надежности Ш1 и ИС судят по величине модуля разности А /A-i А,/. 2 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) (51) 4 С 01 R 31/28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4178238/24-21 (22) 08.01.87 (46) 15.10.88. Бюл. № 38 (71) Московский лесотехнический институт (72) М.И. Космачев, Я.В. Малков, А.М. Молодык и С.П. Петров . (53) 621.328.3(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1056088, кл. G 01 R 31/26, 1982.

Авторское свидетельство СССР № 1026094, кл. G 01 R 31/26, 1983. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ НАДЕЖНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ (57) Изобретение относится к области электронной техники, в частности к контролю полупроводниковых приборов (ПП) и интегральных схем (ИС). Цель изобретения — повыпение достоверности контроля надежности ПП и ИС. При подаче на ПП или ИС напряжения питания измеряют реактивные составляющие мощности переходных процессов Р, и Р, соответствующие фронту и спаду импульса напряжения питания. Раздельно изменяя крутизну фронта и спада, добиваются минимальных значений величин

Р, и Р и фиксируют длительности переходных процессов Т< и Т<, соответствующие этим значениям. Вычисляют величины работы А, и А, необходимые для изменения параметров структуры ПП и ИС, соответственно для фронта и спада напряжения питания по фор- ф мулам А, = Р(Т4 и А = Р Т . О надежности ПП и ИС судят по величине модуля разности А = (А — А,/. 2 ил.

1430913

Способ контроля надежности полупроводниковых приборов и интегральных схем, заключающийся в том, что подают и снимают напряжения питания на объект контроля, измеряют длительности соответствующих переходных процессов, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения достоверности контроля, измеряют реактивные составляющие мощности переходных процессов P и Р при прохождении соответственно возрастающего и спадающего фронтов напряжения питания, изменяют раздельно возрастающий и спадающий фронты напряжения питания до получения минимальных значений Р< и Р, фиксируют значения т, и Т

° длительностей переходных процессов минимальных значений Р< и Р соответственно, а о надежности объекта контроля судят по величине, вычисляемой по формуле

Подают импульсы задающего генера- 40 тора 1 на вход формирователя 2. Устанавливают требуемую амплитуду испытательных импульсов на выходе формирователя 2 и подают их на объект 3 контроля. Блок 5 выравнивает сигналы 45 переходного процесса и испытательных импульсов и вычитает, т.е. осуществляется выделение реактивных составляющих переходных процессов. Разделение сигналов реактивных составляющих переходных процессов, соответствующих фронту и спаду испытательных импульсов напряжения питания, осуществляется коммутаторами 6 и 7. При этом значения показаний вольтметров

8 и 9 (V, и V ) соответствуют значениям реактивной мощности при фронте (P,) и спаде (Р ) импульса, Раздельно измейяя крутизну фронта и т, -Р,„„„т,J, д, „„, Р геP т,, т

Изобретение относится к электройной технике и может быть использовано при контроле на надежность полупроводниковых приборов (ПП) и интеграль5 ных схем (ИС) .

Цель изобретения — повышение достоверности контроля за счет устранения необходимости измерения длительности сложных переходных процессов. 10

На фиг. 1 приведена структурная схема устройства для осуществления способа; на фиг. 2 — временные диаграммы, поясняющие последовательность осуществления способа. 15

Устройство для осуществления способа содержит задающий генератор 1, формирователь 2 испытательных импульсов с регулируемой крутизной фронта и спада, объект 3 контроля, измери- 20 тель 4 длительности переходного процесса, блок 5 выравнивания амплитуд и вычитания сигналов, коммутаторы

6 и 7 и интегрирующие вольтметры 8 и 9 среднеквадратичных значений.. 25

Выход генератора 1 соединен с первыми входами коммутаторов 6 и 7 и через формирователь 2 с первым входом блока 5 и первым входом объекта контроля 3. Выход объекта контроля 3 соединен с входом измерителя 4 и вторым входом блока 5, выход которого соединен с вторыми входами коммутаторовби 7 °

Выходы коммутаторов 6 и 7 соединены соответственно с входами вольтметров 8 и 9.

Способ осуществляется следующим образом, спада испытательных импульсов, добиваются минимума показаний вольтметров 8 и 9 и длительности фронта и спада, соответствующие данным показаниямм.

По полученным данным рассчитывается величина модуля разности работ по формуле: 02 мин т 3. П4 мич Т11

К У где U,, U< — показания вольтметров

8и9, К вЂ” масштабный коэффициент.

По полученному значению параметра

А судят о надежности объекта контроля, причем чем больше значение величины А, тем меньшей надежностью обладает объект контроля.

Формула из об р ет ения — измеренные минимальные мощности переходных процессов при нарастающем и спадающем фронтах напряжения питания соответственно; — длительности переходных процессов, соответствующих значениям Р „„„, Р ! 430913

1430913

Составитель В. Савинов ,Техред Л.Олийнык Корректор M. Шароши

Pедактор Л. Пчолинская

Заказ 5341/49

Тираж 772

Подписное

В11ИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-ÇS, Раушская наб., д, 4/S

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4