Сканирующее устройство

Авторы патента:

ЖЯБЯЛИС КЯСТУТИС ФАБИЕНАС ВИНЦЕНТОВИЧ

G02B26/10 - сканирующие системы (специального назначения,см. соответствующие рубрики, например G03B 27/32, G03F 3/08,G03G 15/04,G09G 3/00, H04N)

Изобретение относится к приборостроению и предназназначено для использования в измерительных системах . Сканирующее устройство содержит 6 7 I/ диэлектрическую пластину 6, в которой методом травления сформирован подвижньш элемент 7 с зеркальным отражающим покрытием 10 на верхнем основании , на нижнем его основании выполнено магнитное покрытие , подвижный элемент 7 установлен на торсионах 8. При взаимодействии противоположно направленных полей с магнитным покрытием п одвижного элемента 7 появляется крутящий .момент, благодаря которому подвижный элемент на торсионах 8 отклоняется от своего начального положения, чем достигается увели- , чение верхней граничной частоты кос лебаний и уменьшение габаритов под- S вижного элемента при сохранении по- I лезной площади зеркального отражающего покрытия. 4 ил. (Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) (51) 4 G 02 В 26/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПОДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4232534/24-10 (22) 21.04,87 (46) 23.11.88. Бюл. № 43 (71) Каунасский политехнический институт им. Антанаоа Снечкуса (72) К.И.Рагульскис„ А.И.Дудонис, С.Ю.Шержентас и К.Ф.В.Жябялис (53) 681.4 (088.8) (56) Petersen К.Е. Silicon torsional

scanning mirror. вЂ” ?В11 g.Êås. lleve.lop., vol. 24, р. 631, 1980.

Патент ClllA ¹- 4421381, кл. 350-285, 1983 ° (54) СКАНИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО (57) Изобретение относится к приборостроению и предназназначено для использования в измерительных системах. Сканирующее устройство содержит диэлектрическую пластину 6, в которой методом травления сформирован подвижный элемент 7 с зеркальным отражающим покрытием 10 на верхнем основании, на нижнем его основании выполнено магнитное покрытие, подвижный элемент 7 установлен на торсионах

8. При взаимодействии противоположно направленных полей с магнитным покрытием подвижйого элемента 7 появляется крутящий .момент, благодаря которому подвижный элемент на торсионах 8 отклоняется от своего начального положения, чем достигается увеличение верхней граничной частоты коC лебаний и уменьшение габаритов под- Ж вижного элемента при сохранении по- уу лезной площади зеркального отражающе- МФ ro покрытия. 4 ил.

1439518 ()

ЗО

Диэлектрическая пластина включает пластину 6, установленную на опорных ребрах 2 диэлектрического ocíoâàíHH

1, в котором методом травления сформирован подвижный элемент 7 с торсио- нами 8, на нижнем основании которого нанесено магнитное покрытие 9, а на верхнем основании вЂ” зеркальное отражающее покрытие 1О.

4О

Сканирующее устройство работает следующим образом.

Изобретение относится к приборостроениюю, а именно к сканаторам оптического излучения, и предназначено для использования в измерительных системах.

Цель изобретения вЂ” увеличение верхней граничной частоты колебаний и уменьшение габаритов подвижного элемента при сохранении полезной пло- 1О шади зеркального отражающего покрытия.

На фиг.1 изображено диэлектрическое основание, вид сверху; на фиг.2вЂ” сечение А-А на фиг,1 на фиг.3 вЂ” диэлектрическая пластина;, вид сверху; на фиг.4 вЂ” сечение Б-Б на фиг.3.

Сканирующее устройство содер жит диэлектрическое основание 1 с опорными ребрами 2, на котором 2О методом вакуумного напыления с последующим электрохим."олеским осаждением выполнены плоские многовитховые катушки. 3 индуктивности, соединенные встречно между собой при,по- 25 ..MottTH ItpoBopHNKB. 4 1t KOHYGKTHb24 ILtO щадкам 5 проводника (подсоединяетСя

) источник питания переменной частоты не показан

При приложении переменного тока к контактным площадкам 5 в плоских многовитковых катушках 3 индуктивности создается магнитное поле перпендикулярно к их плоскости, однако из-за встречного включения катушек магнитные поля имеют противоположные направления. При взаимодействии противоположно;,направленных полей с маг„нитным покрытием 9 подвижного элемен. та 7 появляется крутящий момент, благодаря которому подвижный элемент 7 на торсионах 8 отклоняется от своего начального положения.

Формула изобретения

Сканирующее устройство, содержащее диэлектрическое основание, на ребрах которого установпена диэлектрическая пластина, в которой методом травления сформирован подвижный элемент с зеркальным отражающим покрытием на верхнем основании и с закрепленной на нижнем его основании плоской многовитковой катушкой индуктивности, при этом подвижный элемент установлен на торсионах, о т л ивЂ” ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения верхней граничной частоты колебаний и уменьшения габаритов подвижного элемента при сохранении полезной площади зеркального отражающего покрытия, плоские многовитковые катушки инцуктивности выполнены на диэлектрическом основании и имеют между. собой встречное включение, а на нижнем основании подвижно-. го элемента с зеркальным отражающим покрытием нанесено магнитное покрытие.

1439518

Сканатор для лазерных технологических установок // 1430931

Оптический дефлектор // 1425577

Изобретение относится к системам сканирования и может быть использовано в устройствах управления направления луча

Путевой точечный датчик // 1425123

Изобретение относится к системам управления движения поездов, в частности поездов метрополитена

Сканирующее устройство // 1422020

Изобретение относится к оптикомеханическим устройствам

Устройство сканирования // 1405531

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в лазерных записывающих устройствах

Оптическое сканирующее устройство // 1403830

Сканирующее устройство // 1392535

Многострочный лазерный регистратор // 1389486

Многолучевой лазерный регистратор // 1387700

Оптико-электронный следящий координатор // 2101742

Лазерное сканирующее устройство // 2106667

Изобретение относится к лазерной технологии и может быть использовано для воспроизведения схем печатных плат на фотографических материалах

Способ получения изображений в бортовых приборах, устройство для его реализации // 2123197

Изобретение относится к оптико-электронной технике и может найти применение в тепловидении

Способ наблюдения за земной поверхностью // 2137160

Изобретение относится к технике разведки оптическими средствами

Способ получения изображений и устройство для реализации способа // 2140720

Изобретение относится к оптико-электронной технике и может найти применение в телевидении и тепловидении, например, при разработке системы телевидения высокой четкости с широкоформатным или стереоцветным изображениями

Устройство для оптической когерентной томографии, оптоволоконное сканирующее устройство и способ диагностики биоткани in vivo // 2148378

Изобретение относится к технической физике, в частности к исследованиям внутренней структуры объектов оптическими средствами, и может быть использовано в медицинской диагностике состояния отдельных органов и систем человека in vivo, а также в технической диагностике, например, для контроля технологических процессов

Устройство для дистанционного получения изображений в тепловой области спектра // 2150725

Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для получения тепловых изображений поверхности Земли из космоса и авиационных носителей различного класса

Оптическое сканирующее устройство // 2158948

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению, а именно к приборам, служащим для пространственного перемещения светового луча, при котором последовательно "просматривается" заданная зона, и предназначенным для использования в тепловизионных системах

Тепловизионный прибор // 2182717

Изобретение относится к области инфракрасной техники и предназначено для использования как прибор ночного видения

Подвижное сканирующее устройство // 2183343