Адаптивный интерферометр

 

Изобретение относится к измери тельной технике и может быть испаль . зовано для измерения линейных и угловых (перемещений. Цель изобретения - повьшрение помехоустойчивости достигается за счет измерения профиля оптической поверхности, С помощью акустооптических модуляторов 2 и 4 осуществляется управление оптическими длинами интерферометра, образованного источником 1 монохроматического света, светоделителем 13, светосоединителямк 9 и 11 и светодвлительным кубиком 6, Отрицательная обратная связь, которая осуществляется за счет подстройки второго генератора 15, связанного с - вторым акустооптическим модулятором 4, позволяет стабилизировать оптическую длину эталонного плеча интерферометра в условиях воздействия вибрации. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСГ!УБЛИН (!9) (И) А1 (бц 4 С 01 В 9/02 списочник изоьекткния

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4288750/24-28 (22) 24.0?.87 (46;: 07.02.89. Бюл, Ð 5 (72) В.С.Горлов, В.А.Лахин, Е.А.Николаева и С.С.Трусов (53) 531.71.531.814 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 399722, кл. G 01 В 9/02, 1974. (54) АДАПТИВНЫИ ИНТЕРФЕРОМЕТР (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь. зовано для измерения линейных и угловых:перемщений. Цель изобретения — повыгение помехоустойчивости— достигается за счет измерения профиля оптической поверхности. С помонью акустооптических модуляторов

2 и 4 осуцествляется управление оптическими длинами интерферометра, образованного источником 1 монохроматического света, светоделителем ! 3, светосоединителями 9 и 11 и светоделительным кубиком 6. Отрицательная обратная связь, которая осуществляетсяя з а счет подстройки второго генератора 15, связанного с вторым акустооптическим модулятором

4, позволяет стабилизировать оптическую длину эталонного плеча интерферометра в условиях воздействия вибрации. 1 ил.

1456772

Изобретение относится к измерительной технике и может быть ис" польэовано для измерений угловых и линейных перемещений, а также для контроля качества поверхностей различных оптических элементов в условиях воздействия производственных помех и вибраций, Цель изобретения — повышение помехоустойчивости эа счет уменьшения воздействия вибрации путем использования отрицательной обратной связи, стабилизирующей оптическую разность хода плеч интерферометра. 15

На чертеже представлена структурная схема предлагаемого интерферометра.

Адаптивный интерферометр содержит источник 1 монохроматического света, 20 акустооптический модулятор 2, генератор 3, второй акустооптический модулятор 4, диафрагму 5, светоделительный кубик 6, объектив 7, зеркало 8, первый светосоединитель 9, первый 25 фотоприемник 10, второй светосоединитель 11, второй фотоприемник 12, светоделитель 13, дифференциальный усилитель 14, управляежй генератор

15. 30

Адаптивный инт ерферометр р аб от ает следующим образом.

Световой поток от источника 1 монохроматического света поступает на первый акустооптический модулятор 2, к которому подключен генератор 3„ генерирующий сигнап с частотой fpfH на выходе первого акустооптического модулятора образуются два световых потока, продифрагированнь|й с часто- 0 той „ + fr a и непродифрагированНЫй С ЧаСтстсй fOoIПоследний, пройдя через второй акустооптичяский модулятор 4, также образует два световых потока с часта™ ollT И 1 оAT + й„ „, СВЕтОВОй поток с частотой fo„„îòñåêàåòñÿ диафрагмой 5, пропускающей световой поток, имеющий частоту f qqq + f < z

KoTopbIB далее направляется на светоделительный кубик 6. Светоделительный кубик 6 разделяет пришедший световой поток на два. Первый проходит объектив 7, выполняющий функции преобразOIIGTBJIH волновоI o ApoHTа H IIo 55 падает на зеркало 8, поверхность которого необходимо измерить, установленное в фокальной плоскости объектива 7, отразившись от зеркала 8 в обратном направлении, отражается от светоделительного кубика 6 и через светосоединитель 9 попадает на первый фотоприемник !0, образуя измерительное плечо интерферометра. Второй световой по ок, отраженный от кубика 6, а затем через светосоединитель

ll попадает на второй фотоприемник

12, образуя эталонное плечо интерферометра. Световой поток, продифрагированннй в первом акустооптическом мсдуляторе 2 и имеющий частоту font +

+ f Ä, попадает на светоделитель 13, разделяется на два, один из них, пройдя через светосоединитель 9, интерферирует с измерительным световым потоком в измерительном плече и обр азу ет интер фер янционную картину на первом фотоприемнике 10, которая отражает рельеф контролируемой поверхности зеркала 8, второй световой поток, образованнйй светоделителем 13, проходит через светосоединитель 11, и нтер фериру ет с о пор ным с в ет овым потоком в опорном плече и образует интерференционяую картину на втором фотоприемнике 12, которая является эталонной, При наличии внешних воздействий возникнет разность частот интерферирующих световых потоков на

Величину доплеровского сдвига, при этом сигналы П и П с выхода фотоприемников 10 и 12 начинают изменяться, а на выходе дифференциального усилителя 14 появляет ся сигнал, под действием которого изменяется частота управляемого генератора 15, подключенного к второму акустооптическому модулятору 4, причем знак и амплитуда этого сигнала таковы, что происходит выравнивание частот интярферирующих световых потоков, т. е, изменение частоты одного светоного потока компенсируется изменением частоты управляемого генератора

15. В результа-.е этого, интерференционная картина остается неподвижной. формула изобретения

Адаптивный интерферометр, содержащий оптически связанные источник монохроматического света, первый и вт орой акуст оопти чески е модуляторы, соответственно с первым и вторым генераторами, подключенными к ним, светоделитель, первый и второй фотоприемники и зеркало, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышеСоставитель В.Чулков

Техред М. Ходанич

Редактор Г, Волкова

Корр ек тор Г. P еиет ник

Заказ 7494/38 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям прн ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-.полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 .Г

3 145677 ния помехоустойчивости, он снабжен первым и вторым светоделителями, светоделительным кубиком, диафрагмой, объективом и дифференциальным усилителем, источник монохроматического излучения, первый и второй акустооптические модуляторы, диафрагма, светоделительный кубик, объектив и зеркапо установлены поспедовательно 1р по ходу светового луча, светоделитель установлен по ходу продифрагированного луча первого акустооптического модулятора н предназначен для разделения светового пучка на первой 1Б и второй световые лучи, первый све2

4 тосоединнтель и первый фотоприемник установлены последовательно по ходу первого светового луча, второй светосоединитель и второй фотоприемник установлены последовательно по ходу второго светового луча, первый и второй выходы светоделительного кубика оптически связаны с входами соответственного первого и второго светосоединителей, выходы первого и второго фотоприемников соединены соответственно с первым и вторым входами дифференциального усилителя, выход которого соединен с входом второго генер атoph.