Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для определения глубины раковин , треш,ин и других микродефектов на поверхности катодов. Цель изобретения - расширение диапазона измерения. Пучок лучей от источника 1 некогерентного света направляют на наклонную плоскопараллельную пластину 2, покрытую светоделительным слоем, и разделяют на два пучка, один из которых отражается от светоделительного слоя и образует первую ветвь интерферометра , вторая половина пучка, пройдя сквозь пластину 2, образует вторую ветвь. После прохождения первого пучка лучей объектива 3 и отражения от повер.хности объекта 7, а второго - от эталонного зеркала 5 оба пучка соединяют на поверхности разделительной пластины 2. В результате сложения двух пучков в фокальной плоскости окуляра 6 наблюдают систему интерференционных полос на изображении объекта 7. Далее передвигают объект 7, изменяя расстояние между объектом 7 и разделительной пластиной 2, до возникновения второй системы интерференционных полос в области дефекта . Измеряют расстояние между соответствующими интерференционными полосами каждой из двух систем и рассчитывают глубину дефекта по формуле. 2 ил. ( СЛ
Похожие патенты:
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения длин волн лазерного излучения
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для прецизионнь:х измерений угловых и линейных перемещений объектов
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения геометрических параметров отражающих объектов
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения расстояния до неподвижных объектов
Изобретение относится к измерительной технике,а именно к интерференционным дилатометрам, и может быть использовано для измерения изменения размера твердых тел под действием температуры
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического и аттестационного контроля выпуклых параболоидов в оптическом приборостроении
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации
Изобретение относится к интерференционным измерениям линейных перемещений
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования и контрапя состояния поверхности оптических узлов и деталей в условиях их эксплуатации
Изобретение относится к измерительной технике для измерения ше роховатости поверхностей внутренних полостей
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля качества поверхности цилиндрических отверстий
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к косвенным бесконтактным оптическим методам измерения высоты шероховатости поверхности
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении для контроля формы волновых фронтов и оптических поверхностей
Изобретение относится к измерительной технике
Изобретение относится к измерительной технике и позволяет измерять шероховатость поверхности деталей
Изобретение относится к измерительной технике и используется при контроле прямолинейности
Изобретение относится к измерительной технике
Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина
