Устройство для напрессовки пленки

 

Изобретение может быть использовано для нанесения пленки фоторезиста на заготовки печатных плат. Устройство для напрессовки пленки имеет нагреваемые прессующие валки (НПВ) 2, 3, торсионную трубу 4, распорную трубу 5, детали 6, 6Ъ и подвижно установленные детали 7, 7Ъ, которые вместе с НПВ 2 и торсионной трубой 4 образуют параллельный качающийся Г-образный рычаг и с определенным давлением прижимают НПВ 2 к подложке. Детали 6, 6Ъ и 7, 7Ъ расположены симметрично относительно середины устройства. НПВ 3 неподвижно установлен в деталях 6, 6Ъ, а НПВ 2 неподвижно установлен в деталях 7, 7Ъ, благодаря перемещению которых можно в заданных пределах изменять зазор D между НПВ 2 и 3. Подложка вводится в зазор между НПВ 2 и 3, отжимает НПВ 2 и параллельный качающийся Г-образный рычаг вниз так, что его плечо 39 поворачивается вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршня цилиндра до тех пор, пока не установится равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийся Г-образный рычаг оказывает через плечо 39 на шток 37 поршня цилиндра. Устройство имеет улучшенные эксплуатационные возможности. 7 з.п. ф-лы, 5 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (у 4 H 05 К 3/00

ОПИСАНИЕ И3ОБРЕ1ЕНИ

H IlATEHTV

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPbiTHRM

ПРИ ГКНТ СССР (21) 3901784/24-2 1 (22) 31.05,85 (31) P 3420409.1 (32) 01 ° 06.84 (33) DE (46) 30.04.89. Бюл, Р 16 (71) Хехст АГ (DE) (72) Ханс-Гюнтер Эгберт Кюнерт (DE) (53) 621.396.6,049.78.002(088.8) (56) Патент США 11 4214936, кл. Н 05 К 3/00, 1981 ° (54) УСТРОЙСТВО ДИ НАПРЕССОВКИ

ПЛЕНКИ (57) Изобретение может быть использо. вано для нанесения пленки фотореэиста на заготовки печатных плат. Устройство для напрессовки пленки имеет нагреваемые прессующие валки (НПВ)

2, 3, торсионную трубу 4, распорную трубу 5, детали 6, 6 и подвижно установленные детали 7, 7, которые вместе с НПВ 2 и торсионной трубой

4 образуют параллельный качающийся

„.,Я0„„1477256 А3

Г-образный рычаг и с определенным давлением прижимают НПВ 2 к подложке. Детали 6, 6 и 7, 7 расположены симметрично относительно середины устройства. НПВ 3 неподвижно установлен в деталях 6, 6, а НПВ 2 неподвижно установлен в деталях 7, 7, благодаря перемещению которых можно в заданных пределах изменять зазор

d между НПВ 2 и 3. Подложка вводится в зазор между НПВ 2 и 3, отжимает

НПВ 2 и параллельный качающийся Г-образный ры аг вниз так, что его плечо

39 поворачивается вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршня цилиндра до тех пор, пока не установится равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийся Г-образный рычаг оказывает через плечо 39 на шток 37 поршня цилиндра. Устройство имеет улучшенные эксплуатационные возможности. 7 з.п. ф-лы, 5 ил.

1477256

Изобретение относится к устройствам для напрессовки пленки и может быть использовано для нанесения пленки фоторезиста на заготовки печатных плат .

Цель изобретения — улучшение эксплуатационных возможностей путем изменения зазора между валками и давления прессования. 10

На фиг ° 1 изображено устройство для напрессовки пленки, вид сбоку, частично в разрезе; на фиг.2 — подвижные элементы устройства для напрессовки пленки с установленной в 15 боковинах торсионной трубой, разрез; на фиг.3 — устройство для напрессовки пленки с приводным двигателем и зубчатой передачей, вариант исполнения; на фиг.4 — то же, разрез; на 20 фиг ° 5 — детали подвижных элементов устройства для напрессовки пленки.

Устройство для напрессовки пленки включает раму 1, напрессовочные валки 2 и 3, торсионную 4 и распорную 5 25 трубы, детали 6, 6 и подвижно установленные детали 7, 7, которые вместе с напрессовочным валком 2 и торсионной трубой 4 образуют параллельный качающийся рычаг и с определен- 30 ным давлением прижимают напрессовочный валок 2 к подложке (не показана), на которую напрессовывается слой и которая перемещается через зазор d между напрессовочными валками 2 и 3.

Детали б, 6 и ? 7 расположены симметрично относительно середины устройства для напрессовки пленки.

Под напрессовочными валками 2 и 3 в боковинах 8 и 9 установлены торси- 40 синая 4 и распорная 5 трубы. Скорость вращения напрессовочных валков

2 и 3 больше скорости передвижения подложки, которая от нагревательного устройства (не показано) сверху в 45 вертикальном направлении подводится к обоим напрессовочным валкам 2 и 3 °

Напрессовочный валок 3 неподвижно установлен в неподвижных деталях 6, 6, а напрессовочный валок 2 неподвижно установлен в подвижных деталях

7, 7, благодаря перемещению которых можно в заданных пределах изменять зазор d между валками. Зазор d может быть отрегулирован, например, на 0,5- >>

l0 мм.

Для установления зазора d между обоими напрессовочными валками 2 и 3 служат один или два регулировочных элемента 10 10 с установочными винтами, которые находятся в зацеплении

1 с неподвижными деталями 6,6 и к которым примыкают подвижные детали 7, 1

7 . Установочные винты ввинчены, на- пример, горизонтально в неподвижные

I детали 6, 6, при этом резьбовое отверстие имеет длину, по меньшей мере равную длине установочного винта.

Установочные винты в соответствии с величиной желаемого зазора d между напрессовочными валками 2 и 3 ввинчиваются в резьббвое отверстие и фиксируются с помошью контргайки, Подвижные детали 7, 7 устройства для напрессовки пленки упорной поверхностью примыкают к соответствующей головке 11 установочного винта. (Подвижные детали 7, 7 параллельного качающегося рычага имеют по одному клещевому зажиму 12 и 13 (см. фиг. 5) для приема напрессовочного валка 2. В горизонтальных верхних участках деталей 7, 7 или, соответственно, 6, 6 предусмотрены вертикальные резьбовые отверстия, в которыь ввинчены винты 14 и 15, своими коническими концами примыкающие к напрессовочному валку 2 или 3 и фиксирующие их против бокового смещения из зажимов.

На наружной стороне подвижной детали 7 параллельного качающегося рычага имеется буртик 16, в котором выполнено сквозное отверстие 17, в которое ввинчен установочный винт

18. Под буртиком 16 находится шаровидный или трубчатый корпус 19, расположенный параллельно торсионной 4 и распорной 5 трубой. Корпус 19 сверху и снизу выполнен уплощенным и на уплощенных участках имеет сквозные отверстия 20 и 21. В корпусе 19 в отверстии 22 размещен предустановочный винт 23, который проходит через нижнее сквозное отверстие 21 и находится в зацеплении с реэьбовой гайкой 24, примыкающей к наружной сторо-.. не нижнего уплощенного участка корпуса 19, удерживающей предустановочный винт 23 и предохраняющей его от пружинящего действия пружины 25 сжатия. Пружина 25 сжатия огибает стержень предустановочного винта 23 и своим нижним концом располагается в глухом отверстии 22, выполненном в дне корпуса, а своим верхним концом примыкает к нижней стороне головки ?6 предустановочного винта 23. Конец установочного винта 18 располагается на верхней стороне винтовой головки 26. Вследствие симметричности параллельного качающегося рычага другая подвижная це1 ( таль 7 имеет буртик 16 с резьбовым ( отверстием 17 . Предустановочный ( винт 23 окружен пружиной 25, распо- 10 ложенной симметрично относительно центра корпусов 19, 19

С помощью установочных винтов 18, ((18 предустановочных винтов 23, 23 окруженных пружинами 25 и соответст- 15 (У венно 25, а также резьбовых гаек 24 и, соответственно, 24 предварительно устанавливается усилие, необходимое для поворота параллельного качающегося рычага устройства для напрес- 20 совки пленки.

Если винт 18 (фиг ° 1) ввинчивается дальше в резьбовое отверстие 17, то пружина 25 сильнее сжимается отжатым вниз предустановочным винтом 23 и со- 25 ответствующей регулировкой резьбовой гайки 24 удерживается в желаемом положении. Чем сильнее сжимается пружина 25, тем больше усилие, которое необходимо сообщить, чтобы повернуть 30 параллельный качающийся рычаг из его положения наружу, т.е. давление напрессовывания, которое устройство для напрессовки пленки оказывает на при ее прохождении через 35 зазор Й между напрессовочными валками 2 и 3, тем больше, чем сильнее ( сжаты пружины 25, 25, Пружины сжатия.25, 25 имеют в целом линейную характеристику, однако могут иметь 40 также характеристику, отличающуюся от линейной. (Подвижные детали 7, 7 образуют параллельный качающийся рычаг иэ торсионной трубы 4 и напрессовочного 45 валка 2, который обеспечивает при увеличении зазора абсолютное параллельное перемещение подвижного на-прессовочного валка 2 по отношению к неподвижно закрепленному напрессо- 5 вочному валку 3, Торсионная труба 4 передает совершенно равномерно по всей длине поворот подвижного напрессовочного валка 2, вследствие чего создается сквозной постоянный зазор.

Неподвижно установленные шестерни 27 и 28 через шестерню 29, которая при повороте напрессовочного валка 2 остается в зацеплении с второй шестерней 30, обеспечивают одинаковую скорость вращения, которое получает жестко закрепленный.напрессовочный валок 3 от двигателя 31. Это вращение через шестерни 27-30 передается повернутому напрессовочному валку 2, даже если первая шестерня 29 не находится в зацеплении с второй шестерней

30. Благодаря этому обеспечивается всегда постоянная скорость вращения обоих напрессово .ных валков 2 и 3.

На вал 32 напрессовочного валка 2 насажена шестерня 30, находящаяся в зацеплении с шестерней 27, расположенной на ступенчатом конце торсионной трубы 4. Шестерни 30 и 27 находятся между наружными поверхностями детали 7 параллельного качающегося рычага и внутренней поверхностью боковины 9.

В другом варианте исполнения подложка сверху в вертикальном направлении вводится в зазор между двумя напрессовочными валками 2 и 3. Торсионная труба 4 своей осью 33 закреплена в.боковинах 8 и 9 рамы 1. На правой стороне на торсионную ось 33 насажена третья шестерня 27, сбоку входящая в зацепление с четвертой шестерней 28 на валике 34 и с второй шестерней 30, расположенной над ней на валу 32 напрессовочного валка 2.

Первая шестерня 29 насажена на вал напрессовочного валка 3, приводимого в действие двигателем 31.

В этом варианте исполнения паралI лельный качающийся рычаг поворачивается с помощью пневмоцилиндра 35,. который укреплен на выступе 36 основания -рамы 1 и шток 37 поршня которого примыкает к эаконтренному винту

38, проходящему по плечу 39 рычага.

Плечо 39 рычага соосно соединено с торсионной трубой 4, например, приварено к ней. Принцип работы пневмоцилиндра 35 соответствует приципу работы пневмопружины, которая с постоянным давлением выдавливает плечо

39 рычага вверх и поворачивает параллельный качающийся рычаг иэ напрессовочного валка 2, торсионной трубы

4 и подвижных деталей 7, 7 до тех пор, пока установочный винт 40 не коснется упорной поверхности 41 неподвижной детали 6 . Входящая в зазор между напрессовочными валками 2 и 3 подложка 42 немного толще зазора и отжимает напрессовочный валок 2 и

1477256 тем самым параллельный качающийся рычаг в виде полукруга налево вниз таким образом, что плечо 39 рычага поворачивается вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршня цилиндра в пневмоцилиндр 35 до тех пор, пока не установится равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийся рычаг оказывает через плечо 39 рычага на шток поршня цилиндра. В этом состоянии равновесия напрессовочный валок оказывает на подложку достаточное давление напрессовывания, Устройство работает следующим об— разом.

Подложка 42 сверху в вертикальном направлении вводится в зазор между двумя напрессовочными валками 2 и 3, îтжимает напрессовочный валок 2 и тем самым параллельный качающийся рычаг в виде полукруга вниз таким образом, что плечо 39 рычага поворачивается вниз и винт 38 вдвигает шток 37 поршня цилиндра до тех пор, пока не установится равновесие между давлением в цилиндре и давлением, которое параллельный качающийся рычаг оказывает через плечо 39 рычага на шток поршня цилиндра 35, Формул а изобретения

1. Устройство для напрессовки пленки, преимущественно при нанесении фоторезиста, содержащее раму с нагреваемыми прессующими валками, установленными в подшипниках, при этом один из прессующих валков соединен .с приводом его перемещения в виде пневматического механизма и кинематически связан при помощи шестерен с приводом его вращения, а каждый прессующий валок соединен .с токоведущими зажимами, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей путем изменения зазора между валками, оно снабжено Г-образным качающимся рычагом с опорами, установленным на оси, а подвижный прессующий валок установлен на опорах одного из плеч Г-образного

8. Устройство по п.1, о т л и—

50гч а ю щ е е с я тем, что Г-образный рычаг снабжен винтом, ввинченным в одно иэ его плеч с воэможностью взаимодействия со штоком пневмоцилиндра.

45 рычага параллельно его оси, при этом другое плечо 1"-образного рычага выполнено с возможностью вэаимодействия с пневмоцилиндром или пневматической пружиной, установленной на раме.

2. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тек, что оно снабжено механизмом регулирования зазора между валками, выполненным в виде винтов, ввинченных в раму с возможностью взаимодействия головками винтов с опорами рычага.

3. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что каждая опора рычага выполнена с посадочным отверстием, в котором размещен шарикоподшипник, и снабжена винтом, ввернутым в опору с возможностью взаимодействия с подшипником.

4, Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что каждая опора рычага снабжена выступом с установочным винтом.

5. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что оно снабжено сферическим или цилиндрическим корпусом с подпружиненным винтом, размещенным в его отверстии, при этом на конце винта, выходящем из отверстия корпуса, навернута гайка; пружина одним концом опирается на дно корпуса, а другим концом — на нижнюю поверхность головки винта;

6. Устройство по п.1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что двигатель привода размещен на раме и при помощи шестерни кинематически связан с шестернями, установленными на оси

Г-образного рычага и .на валу чрессующего валка.

7. Устройство по п.2, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что механизм регулирования зазора в виде винтов расположен после прессующих валков или перед прессующими валками.

1477256

1477256

Составитель В.Титов

Редактор Л.Веселовская Техред М.Ходанич Корректор Н.Король

Заказ 2172/59 Тираж 776 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,101