Материал для интерференционных покрытий

Авторы патента:

АЛЕКСАНДРОВ ИГОРЬ ПЕТРОВИЧ

АЛИКБЕРОВ РАИС ДАВЛЕТОВИЧ

БАБИЧ ТАТЬЯНА ГРИГОРЬЕВНА

ГАЙНУДИНОВ ИЛЬДУС САЛЯХОВИЧ

ЕВСЕГНЕЕВ ВАДИМ АЛЕКСАНДРОВИЧ

КОЗЛОВ ВАДИМ ДМИТРИЕВИЧ

МАКАРОВ АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ

ТЕТЕРИН ГЕНРИХ АЛЕКСАНДРОВИЧ

C03C17/245 - осаждением из газовой фазы

Изобретение относится к материалам для интерференционных покрытий повышенного качества, работающих в широком спектральном диапазоне (0,4-17 мкм) и может быть использовано в оптическом приборостроении. С целью увеличения спектральной области прозрачности до 15-17 мкм и повышения качества покрытий материал для интерференционных покрытий имеет следующий состав, мас.%: один из оксидов редкоземельных элементов (ZA<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>, SM<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>, EU<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>, GD<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>, DY<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>,HO<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>,ER<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>,TM<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>,YB<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>, ZU<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB>) 40-60

оксид олова 40-60. Материал обеспечивает пропускание до 15-17 мкм, показатель преломления 1,75-2,1, климатическая стойкость 0-1 группа. 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (so 4 С 03 С 17/245 р;.,щИ".-858

„,:: ясия

)ig,,.д

OllHCAHHE ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

4 сО

CO ность

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ П НТ СССР (21) 4178092/29-33 (22) 07.01,87 (46) 30,06,89. Бюл. М> 24 (71) Опытный завод Физико-химического института им, А.В.Богатского (72) И,П.Александров, Р.Д.Аликберов, Т,Г,Бабич, И,С,Гайнудинов, В,А.Евсегнеев, В.Д.Козлов, А.С.Макарон и Г.A,Òåòåðèí (53) 666, 1.056(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 326141, кл. С 03 С 17/22, 1970.

Хасс Г, и др ° Физика тонких пленок. Т,8. M. Мир, 1978, с.38. (54) МАТЕРИАЛ ДЛЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ

ПОКРЫТИЙ (57) Изобретение относится к материаИзобретение относится к материалам для оптических покрытий, работающим в широком спектральном диапазоне (0,4-17,0 мкм) и может быть использовано в оптическом приборостроении.

Цель изобретения вЂ” увеличение спектральной области прозрачности до 15-17 мкм и повышение качества оптических покрытий.

Описываемый материал синтезировали следующим образом.

Растворы, содержащие один из оксидов РЗЭ и хлорид олова (ТЧ), сливали при перемешивании и осаждали гидроокиси водным (107-ным) раствором аммиака до рН 9. Полученную смесь фильтровали, сушили при 110-120 С, прокаливали при 1000 С. Прокаленные соединения измельчали, Для снижения тем„„SU„, 1490100 A 1 лам для интерференционных покрытий повышенного качества, работающих в ши-. роком спектральном диапазоне (0,417 мкм) и может быть использовано в оптическом приборостроении. С целью увеличения спектральной области прозрачности до 15-17 мкм и повышения качества покрытий материал для интерференционных покрытий имеет следующий состав, мас.Х: один иэ оксидон редкоземельных элементов (Ьа О, Sm О, Еи 01, Gd> О>, Оу О, Но, О, Ег О,, Tm О, Yb, О, LuzO> ) 40-60, оксид олова 40-60, Материал обеспечивает пропускание до 15-17 мкм, показатель преломления 1,75-2 ° 1, климатическая стойкость 0-1 группа.1 табл. пературы спекания материала и увеличения его относительной плотности проиэнодили добавку литий (I) фторид. Затем материалу придавали компактную форму и прокаливали на воздухе при 1350 С в течение 4 ч. Оптические покрытия иэ данного материала получены методсм электронно-лучевого испарения на установке ВУ-1 А. Давление остаточных газов в камере составляло p=(7-8) 10Г торр, t „,д,=

150-200 С при этом были использованы подложки иэ следующих материалов: К-8, КУ-1, КС1, NaC1, Ге. Скорость нанесения равнялась (6-10) х х А /с. Покрытия, полученные иэ данного материала, испытывались на влагостойкость и механическую проч

1490100 ет.

40-60

-т

Граннца прозрач ностн нкн

Соотнойенне

Показатель

Возффицнент оанороаностн

Состав натернала на рупца прочностн конлоыентов, нас.z прелоиленн мкн еканнчесгозатнпе в вЂ” с пз

5 ОаС аа

-IвЂ” пгоз 1 Su Ог 0,55 1 10,6 )

1,95

1,89

1 ° 78

1,79

1,80

0,5

6О

СагО, вЂ” Яы 02

1,01 t 0,02

1,01 4 0,01

0,99 т 0,01

1-2

17 ° 2

17,2 !

6,8

0,5

О,5

2,03

z,îç

2,00

50 ьо

1-0 о

1-0

1,91

2,94

1 ° 93

1-0

1-о

0,99 1 0,02

1,02 с 0,03

1,05 т 0,04

Бвг 0 вЂ” Sno, 15,5

15,6

15,3

ЬО

2,01

2i0I г,оо

1,96

1,95

1,92 о о

1-О

О о

i-o

Su 0 Sno

1,90

1,89

1,91

1,78

1,76

1,75

1-О

О о

1-0

0,5

0 5

0,5

1,02 т 0,02

0,98 + 0,02

1,04 p O,OS

1,02 2 0,02

1,03 f 0,03

0,96 g 0,04

15 ° 2

lS ° 3

15,0 l6,3

16,3

15,8

СЫ„Ог- Sn Ог

1,94

1,93

1,91

2,0Ь

2,05 г,оз

07 О,- Sno, 1

40 60

50 50

60 40

0,5

0,99 4 0,01

0,98 8 0,02

1,02 2 0,02 о

О-1 о

О-1

15,6

15,8

15,5

1,97

1,99

2,00

1,84

I,86

I ВВ

0,5

Ho 0>- SnO

1-0

1-о

1-0

0,98 т 0,02

1,ог 2 о,ог

1,01 j 0,01

15,4

15, 08

15,5

ЬО

6О

2,0

2,01

ЕггО г- Snot

1,92

1,89

I,87 о.s о,s

О ° 5

1-0

1-О

1-г

1-0

1-2

l,04 з 0,04

I,Ol 3 0,О1

0,97 + 0,03

16,7

16,8

16,4

Tm,O - SnO<

2,04

z,îç г.ol

1,93

1,92

1,89

О ° 5

О ° 5 о,s

1-0

1-о

1-О

1-0

1-о

1-0

0,99 т 0,02

1,01 г 0,02

0,97 т 0,03

1,OO z O,OZ

1,00 г 0,00

1,Îl О,OI

16,2 l6,1

15,9

16 го Эпог

2,04

Z,O1

1,96 I ° 94

1 ° 92

0,5 о,s

О ° 5 о о

1-0 о о

1-О

17„0

17, О1

16,6

17 ° I

17,3

16,9

1,oo q о,о!

1,ОО 2 О,О!

0,97 2 0,03

2,02

2,Î1

1 ° 98

0,5

0,5 о,s

2,09

2 ° 1

2,06

40 60

50 . 50

60 40

luО -Зпо

2 ° 25

1,92

9,5 вЂ” 10,00

»,8 - IZ,ÎO

0,93 т О ° 07

0,91 т 0,08

О,5 о,s

2-3 з,з

1,75

Вплг

"г з

Конкретные составы предлагаемых материалов и их свойства приведены в таблице.

Климатическая стойкость испытывалась в камере "Фойтрон" в атмосфере относительной влажности 95-98Х при

254-5 С при выдержке покрытий во влажной атмосфере в течение 30 сут.При визуальном контроле видимых нарушений покрытия не обнаружено. Полоса поглощения воды на ИК-спектре отсутствуМатериал относится к 1-0 группе влагостойкости.

Механическая прочность покрытий определялась на приборе СМ-55 и отвечала 0-1 группе прочности.

Пористость покрытий практически отсутствовала.

По сравнению с известным данный материал характеризуется воэможностью использования в широком диапазоне спектра (до 15-17,0 мкм), а также изготовления беспористых покрытий с высокой однородностью, высокой климатической стойкостью покрытий (О-I группы), возможностью использования оптических покрытий в жестких климатических условиях, включая повышенную влажность, высокой воспроиэводи-. мостью оптических параметров от цикла к циклу нанесения за счет стабильности показателя преломления (1,95-2,05).

Формула и э о б р е т е н и я

Материал для интерференционных покрытий, включающий один иэ оксидов реэкоземельных элементов из группы La,О,, Sm203, Euz 0,, Gd; О>, Lu О, отличающийся тем, что, с целью увеличения спектральной области прозрачности до 15-17 мкм и повышения качества покрытий,он дополнительно содержит оксид олова при следующем соотношении компонентов, мас ° X:

Один иэ укаэанных оксидов редкоземельных элементов

Оксид олова

Устройство для нанесения покрытий на изделия преимущественно из кварца // 1171441

Способ получения оптических изделий // 1135729

Материал для интерференционных покрытий // 1119994

Способ обработки поверхности силикатных подложек // 988786

Способ нанесения электропроводящего покрытия на стеклянную подложку // 983096

Способ получения декоративного покрытиязолотистого цвета // 823331

Просветляющее оптическое покры-тие // 793956

Патент 381622 // 381622

Покрытие на диэлектриках // 336324

Способ химико-парового нанесения тонкого слоя на стеклянную подложку // 2102347

Способ получения покрытия на стеклянной подложке (варианты) // 2118302

Способ нанесения покрытия, подложка (варианты), парообразный состав покрытия // 2138453

Изобретение относится к способу и устройству для химического парового осаждения одной или более металлических окисей на подложку, например стекло, к кремнийсодержащим предшественникам, используемым для получения составов покрытия, включающих окись кремния, и к изделию (ям), например стеклу с покрытием, полученным этим способом

Способ получения прозрачного солнцезащитного стекла // 2158239

Изобретение относится к стеклу с покрытием, которое применяется для окон жилых домов, в архитектуре, на транспорте и в других случаях, когда требуется противосолнечная защита

Нейтральное покрытое изделие с низкой излучательной способностью и способ его получения // 2159158

Изобретение относится к нейтральному покрытому изделию с низкой излучательной способностью, а также к способу его получения

Способ получения покрытия из оксида олова на стекле // 2194089

Изобретение относится к способу получения легированных фтором покрытий из оксида олова на стекле, наносимых приготовлением однородной смеси газообразных реагентов, включающей оловоорганическое соединение, HF, воду и кислород, и подачей смеси реагентов к поверхности горячей ленты стекла, где эти соединения вступают во взаимодействие с образованием легированного фтором покрытия из оксида олова

Способ нанесения покрытия на стекло // 2269495

Способ получения оптически прозрачного электропроводного покрытия и изделие с покрытием, полученное указанным способом (варианты) // 2274675

Изобретение относится к получению защитных электропроводных и оптически прозрачных покрытий для электроники, транспорта, а также для реализации энергосберегающих технологий в строительстве

Химическое осаждение из газовой фазы оксида металла, легированного сурьмой // 2302393

Изобретение относится к способу получения на стекле покрытия из оксида металла, легированного сурьмой, предпочтительно из оксида олова

Покрытия на основе оксида титана // 2351688