Свч-эллипсометр

 

Изобретение относится к технике измерений на СВЧ. Цель изобретения - уменьшение габаритов и веса. СВЧ-эллипсометр содержит СВЧ-г-р 1, волноводно-лучевые переходы (ВЛП) 2, поляризатор 3, держатель образца (ДО) 4, выполненный в виде уголкового поворота на базе круглого диэлектрического лучевода с повышенными потерями, образующего аттенюатор 5 в канале падающей волны и аттенюатор 6 в канале отраженной волны, поляризационный делитель 7, СВЧ-детекторы 8, у-ли 9, измеритель 10 отношения, индикатор 11, исследуемый образец 12 с измеряемой пленкой. Для достижения цели аттенюаторы включены соответственно между поляризатором 3 и ДО 4, ДО 4 и поляризационным делителем 7, конструктивно объединены с ДО 4. В каждом из измерительных каналов сигнал через ВЛП 2 поступает на СВЧ-детекторы 8. Напряжения с СВЧ-детекторов 8, пропорциональные амплитудам ортогонально поляризованных составляющих отраженного от исследуемого образца 12 сигнала, усиливаются усилителями 9 и поступают на входы измерителя 10 отношений, сигнал с выхода которого регистрируется индикатором 11. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

PECtlVB JlHH

А1 (191 01) (511 4 С О1 М 22/00

В ЕСВВ.

Я;. 1

E . -i 1СЭ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4245227/24-09. (22) 14.05.87 (46) 07.08.89. Бюл. 11i 29 (71) Белорусский политехнический институт (72) Н.Н.Пунько, А.М.Клушин и В.В.Волков (53) 61.317.39 (088 ° 8) (56) Конев В.А., Кулешов Е.М., Пунько Н .Н . Радиоволновая зллипсометрия,/ Под. ред. И.С.Ковалева.

M.: Наука и техника, 1985.

Щербов В.А. и др.Установка для измерения комплексной диэлектрической проницаемости в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах волн.

Известия ВУЗов. Радиоэлектроника, 1976, т.Х1Х, У 2, с.78-82. (54) СВЧ-ЭЛЛИПСОМЕТР (57) Изобретение относится к технике измерений на СВЧ. Цель изобретения уменьшение габаритов и массы.СВЧэллипсометр содержит СВЧ-г-р 1, волноводно-лучевые переходы (ВЛН) 2, поляризатор 3, держатель образца (ДО) 4, выполненный в виде уголко— вого поворота на базе круглого ди— электрического лучевода с повышенными потерями, образующего аттенюатор 5 в канале падающей волны и аттенюатор 6 в канале отраженной волны, поляризационный делитель 7, СВЧ-детекторы 8, у-ли 9, измеритель 10 отношения, индикатор 11 исследуемый образец 12 с измеряемой пленкой.

Для достижения цели аттенюаторы включены соответственно между поляризатором 3 и ДО 4, ДО 4 и поляризацион-, ным делителем 7, конструктивно объединены с ДО 4. В каждом из измеритель- I ных каналов сигнал через ВЛП 2 поступает на СВЧ-детекторы 8. Напряжения с с СВЧ-детекторов 8, пропорциональные амплитудам ортогонально поляризованных составляющих отраженного от исследуемого:образца 12 сигнала, усиливаются усилителями 9 и поступают на входы измерителя 10 отношения, сигнал с выхода которого регистрирует- М ся индикатором 11. 1 нл.

6 4 с взаимно ортогональной поляризацией, которие направляются в измерительные каналы. В каждом из измерительных каналов сигнал через волноводно-лучевые переходы 2 поступает на СВЧ-детекторы 8. Напряжения с

СВЧ-детекторов 8, пропорциональные амплитудам ортогонально поляризованных составляющих отраженного от исследуемого образца сигнала> усиливаются усилителями 9 и поступают на первый и второй входы измерителя 10 отношений, сигнал с выхода которого регистрируется индикатором 11.

Формула и з о б р е т е н и я

Составитель В.Гончаров

Редактор И.Горная Техред М. Дидык

Корректор О.Ципле

Заказ 4682/40 Тираж 789 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

3 149919

Изобретение относится к технике измерений на СВЧ и может бить исполь зовано при измерении параметров покрытий, в частности для определения толщины тонких металлических пленок на диэлектрических подложках,непроводящих покрытий на металлах, комплексной диэлектрической проницаемости материалов ° 10

Цель изобретения — уменьшение габаритов и массы.

На чертеже представлена электрическая функциональная схема СВЧ-эллипсометра. 15

СВЧ-эллипсометр содержит СВЧ-генератор 1, волноводно-лучевые переходы 2, поляризатор 3, держатель 4 образца, выполненный в виде уголкового поворота на базе круглого ди"; 20 электрического лучевода с повышенными потерями, образующего аттенюатор

5 в канале падающей волны и аттенюатор 6 в канале отраженной волны, поляризационный делитель 7, СВЧ-де- 25 текторы 8, усилители 9, измеритель

10 отношения, индикатор 11 и исследуемый образец 12 с измеряемой пленкой.

СВЧ-эллипсометр работает следую- 30 щим образом.

Сверхвисокочастотные электромагнитные колебания, генерируемые

СВЧ-генератором 1, через первый волноводно-лучевой переход 2 и поляри35 затор 3, пропускающий компоненту волны заданной поляризации, например ли- нейно поляризованную, под углом 45 к плоскости падения, вводятся в лучевод с повышенными погонными потеря- 40 ми образующий аттенюаторы 5 и 6.

После отражения от исследуемого образца 12 поляризация сигнала изменяется. Поляриэационным делителем 7 отраженный сигнал разделяется на два

СВЧ-эллипсометр, содержащий последовательно соединенные СВЧ-генератор, первый волноводно-лучевой переход, поляризатор, держатель образца, поляризационний делитель, второй волноводно-лучевой переход, СВЧ-детектор, первый усилитель, измеритель отношений и индикатор, последовательно соединенные третий волноводно-лучевой переход, связанный с вторим выходом поляризационного делителя, второй

СВЧ-детектор и второй усилитель, соединенний с вторым входом измерителя отношений, первый аттенюатор в канале падающей волны и второй аттенюатор в канале отраженной волны, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и массы, первый и второй аттенюаторы включЕны соответственно между поляризатором и держателем образца, держателем образца и поляризационным делителем, конструктивно объединены с держателем образца, выполненным в виде уголкового поворота на базе круглого диэлектрического лучевода с повышенными погонними потерями.