Устройство для управления смещением электронной пушки сверхвысоковольтного электронного микроскопа

 

Изобретение относится к области электронно-оптического приборостроения ,в частности, к устройствам управления электронными пушками сверхвысоковольтных электронных микроскопов. Цель изобретения - увеличение диапазона управления смещением электронной пушки при снижении энергозатрат на поддержание заданного режима работы микроскопа. Она достигается за счет использования в качестве коммутирующих элементов магнитоуправляемых герконов для высоковольтной развязки и дистанционного управления. Смещение задается резисторами делителя напряжения, включенного между отрицательным полюсом источника ускоряющего напряжения и катодом электронной пушки. Высоковольтные герконы соединяют точки соединения резисторов делителя напряжения с выводом модулятора. Система регулирования снабжена электромеханическим приводом управляющего герконами постоянного магнита, а блок управления связан с приводом через оптронные каналы связи. Устройство позволяет фиксировать заданный режим работы микроскопа при отключенном питании системы регулирования. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„14994

А1 (51) 4 Н 01 J 3 7/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4280941/24 "21 (22) 10.07.87 (46) 07.08.89. Бюл. 11 29 (72) Е.П. Бочаров (53) 621.385.833(088 ° 8) (56) Патент Японии У 49-7860, кл. 99С 32, опублик. 1974.

Патент Японии У 49-17904, кл. 99С 32, опублик. 1974. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ СМЕЩЕНИЕМ ЭЛЕКТРОННОЙ ПУШКИ СВЕРХВЫСОКОВОЛЬТНОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к области электронно-оптического приборостроения, в частности к устройствам управления электронными пушками сверхвысоковольтных электронных микроскопов.

Цель изобретения — увеличение диапазона управления смещением электронной пушки при снижении энерго-. затрат на поддержание заданного реИзобретение относится к электрон но-оптическому приборостроению, в частности к устройствам управления электронной пушкой сверхвысоковольтного электронного микроскопа (СВЭМ) .

Целью изобретения является увеличение диапазона управления смещением при снижении энергозатрат на поддержание заданного режима работы микроскопа за счет использования в качестве коммутирующих элементов магнитоуправляемых герконов для высоковольтной развязки и дистанционного управления.

На чертеже показан схема устрой. ства °

2. жима работы микроскопа. Она достигается за счет использования в качестве коммутирующих элементов магнитоуправляемых герконов для высоковольтной развязки и дистанционного управления. Смещение задается резисторами делителя напряжения, включенного между отрицательным полюсом источника ускоряющего напряжения и катодом электронной пушки. Высоковольтные герконы соединяют точки соединения резисторов делителя напряжения с выводом модулятора. Система регулирования снабжена электромеханическим приводом управляющего герконами по стоянного магнита, а блок управления связан с приводом через оптронные каивлы связи. Устрейство позволяет фик- (/) ! сировать заданный режим работы ми-кроскопа при отключенном питании системы регулирования. 1 ил.

В состав СВЭМ входит электронная пушка 1 катодом 2 и модулятором 3, формирующая электронный луч 4, между которым и отрицательным полюсом источника ускоряющего напряжения включен делитель 5 напряжения из последовательно соединенных высоко вольтных резисторов 6. Между точками соединения резисторов и модулятором 3 включены высоковольтные герконы 7, которые установлены с возможностью взаимодействия с постоянным магнитом 8, приводимым в движение электромеханическим приводом 9.

При использовании в качестве привода электродвигателя с вращающимся отно3 1499416 сительно его оси постоянным магнитом герконы располагаются в соосном цилиндрическом корпусе, который вместе с электродвигателем располагают внутри защитного кожуха колонны микроскопа. Питание электродвигателя осуществляется от внутреннего акку мулятора. Блок 10 управления связан с приводом через оптронные каналы 11 связи, включающие светодиоды и фотодиоды инфракрасного диапазона, разнесенные на расстояние более одного метра. Одна из оптронных пар служит для обеспечения вращения электродвигателя (командный сигнал), другая — для задания направления вращения (адресный сигнал) .

Устройство работает следуняцим об.разом. 20

При включении электронной пушки 1 между катодом 2 и модулятором 3 возникает некоторое смещение, которое определяет интенсивность электронного луча 4. При необходимости изме- 25 нения интенсивности электронного луча в сторону увеличения или уменьшения смещения оператор включает адресный тумблер блока 10 или оставляет его в выключенном состоянии. За- 30 тем нажимает командную кнопку включения командного канала блока 10 и держит его до получения оптимального режима изображения. При этом возбуждаются адресные и командные светодиоды оптронных каналов 11 связи.

Принятые адресным и командным фотодиодами оптические сигналы преобразуются в электрические и поступают на соответствующие реле В результате 40 чего обмотка электродвигателя электромеханического привода 9 подключается к источнику питания, а в случае включения адресного тумблера блока 10— реверсируется. Электродвигатель привода 9 начинает вращаться, а механически связанный с его осью магнит 8 описывает окружность вдоль образующей расположения контактов герконов 7, замыкая их по мере прохождения. Соответствующий включенный геркон соединяет определенную точку делителя

5 с модулятором 3 электронной пушки.

При выключении адресного и командного сигналов установленное смещение на модуляторе 3 электронной пушки сохраняет свое значение без какихлибо энергозатрат.

Формула изобретения

Устройство для управления смещением электронной пушки сверхвысоковольтного, электронного микроскопа, содержащее резистивный делитель напряжения, включенный между отрицательным полюсом источника ускоряющего напряжения и катодом электрон- . ной пушки, а также систему регулирования сопротивления участка делителя напряжения, подключенного к выводу модулятора электронной пушки, и блок управления, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения диапазона управления смещением при снижении энергозатрат на поддержание заданного режима работы микроскопа, система регулирования выполнена в виде набора высоковольтных герконов, включенных между точками соединения резисторов и выводом модулятора, и снабжена электромеханическим приводом, управляющего герконами постоянного магнита, а блок управления связан с электромеханическиЖ приводом через оптронные каналы связи.

1499416

Тираж 695 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, W-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Редактор Н. Лазаренко

Заказ 4702/51

Составитель В. Гаврюшин

Техред М.Ходанич Корректор М.Пожо