Патент ссср 153975
Класс Н 011; 2lg, 11ог
Рй 153975 - 1- -1111 11 А Н ,I ) g плтентщ>.
4 ТЕХНИЧЕСЕла
1 БИБДИОТЕКд
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Подписная группа .Ч 97
Ф. П. Пресс, И. В. Каменский, И. К. Санин и В. Н. Чудаков
СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОЕ ПОКРЫТИЕ
Заявлено 30 ноября 1961 г. за М 713762/26-9 в Комитет по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений i товарных знаков» Хг 8 за 1963 г.
Известное светочувствительное покрытие, используемое при фотолнтографическом способе защиты поверхности кремниевых полупроводниковых приборов от напыления металла при изготовлении контактов вакуумным напылением проводящего слоя на незащищенные участки поверхности прибора и последующего вплавления напыленного слоя, не обеспечивает возможности изготовления контактов при повышенных температурах вплавления.
Предлагается светочувствительное покрытие (фторезист), в состав которого входят кремнийорганический лак К-1, толуол и политетрафурилоксисилаk1, взятые в объемном отношении 1:1:0,04. Такое покрытие термоустойчиво при температуре до 700, что позволяет применять его в качестве защитной маски при изготовлении контактов на кремниевых полупроводниковых приборах при повышенных температурах вплавления.
Светочувствительное покрытие (вязкость порядка 15 сек) наносят на поверхность пластины кремния с помощью центрифуги (150 — 200 об мин) и высушивают под инфракрасной лампой. Далее пластина экспонируется в течение 15 л ин под ультрафиолетовой лампой, расположенной на расстоянии 12 сл, через стеклянный шаблон с повторяющимся рисунком требуемой конфигурации и проявляется в толуоле 10 лгин, После сушки в течение 30 мин под инфракрасной лампой пластину помещают в напылительную камеру и нагревают до нужной температуры (400 — 700 ), после чего производят напыление.
После напыления и вплавления пленки металла заданной толщины пластину опускают на 10 лгин в плавиковую кислоту для снятия фотослоя. Оставшиеся участки металла имеют четко очерченную заданну1о конфигурацию. № 153975
Предмет изобретения
Светочувствительное покрытие, используемое при фотолитографическом способе защиты поверхности полупроводникового прибора от напыления металла при изготовлении контактов вакуумным напылением проводящего слоя на незащищенные участки поверхности прибора и последующего вплавления напыленного слоя, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, для обеспечения возможности изготовления контактов на кремниевых полупроводниковых приборах указанным способом при повышенныхтемнературах вплавления (до 700 ), в его состав входят кремнийорганический лак К,— 1,толоул и полнтетрафурилоксисилан в объемном соотношении
1:1:0,04.
Составитель Ю. И. Теснек
Ретактор Л. И. Колыбина Техред Т. П. Кури»ко Корректор А. Фомин»
11оди. к печ 10/Kп63 г. Формат бум. 70X108 / t; Объем 0,18 изд. л.
Заказ 1371 1 и р а ж 1200 Цена 4 кои.
ЦН11ИГ111 1осударстьениого комитета ио делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, проезд Серова, дом 4.
Киржачская типография отдела издательств и полиграфической промышленности
Владимирского областного Управления культуры.
