Устройство для демпфирования колебаний в вакуумных системах

 

Изобретение относится к машиностроению, а именно к устройствам для демпфирования колебаний в вакуумных системах, и может быть использовано для виброизоляции высокочувствительных к вибрациям приборов, в частности электронно-лучевых установок в полупроводниковой промышленности или электронных микроскопов. Цель изобретения - повышение эффективности демпфирования за счет исключения влияния атмосферного давления на эффект демпфирования. При работе вакуум-насоса 1 виброизоляция вместилища 7 обеспечивается основным 5 и дополнительным 8 компенсаторами. Жесткая связь обоих компенсаторов 5 и 8 посредством дистанционных стержней 12 исключает влияние атмосферного давления на эффект демпфирования. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ.

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (19) (И) (gy) 4 F 16 F 15/02

8:Е,IIÇIJp II 4:

Г, 4

| I

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К ASTOPGN0MY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (89) DD/2381 75 (48) 13 . 08 . 86 (21) 7773781/25-28 (22) 19. 03. 85 (31) WP F 16 F/262557 (32) 02.05.84 (33) DD (46) 23.08,89. Бюл. )| - 31 (71) ФЕБ Карл Цейс Йена (DD) (72) Руди Нойланд (DD) (53) 62-572(088.8) 4 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДЕИПФИРОВАНИЧ

КОЛЕБАНИЙ В ВАКУУМНЫХ СИСТЕМАХ (57) Изобретение относится к маыиностроению, а именно к устройствам для демпфирования колебаний в вакуумных системах, и может быть исполь2 зовано для виброизоляции высокочувствительных к вибрациям приборов, в частности электронно-лучевых установок в полупроводниковой промышленности или электронных микроскопов.

Цель изобретения — повьпление эффективности демпфирования за счет исключения влияния атмосферного давления на эффект демпфирования. При работе вакуум-насоса 1 виброиэоляция вместилища 7 обеспечивается основным

5 и дополнительным 8 компенсаторами.

Жесткая связь обоих компенсаторов 5 и 8 посредством дистанционных стержней 12 исключает влияние атмосферного давления на эффект демпфирования.

3 ил.

На фиг. 1 изображена схема устройства для цемпфирования колебаний в вакуумных системах; на фиг. 2 связь дополнительного компенсатора с форвакуум-насосом вакуумно через шланговые соединения; на фиг. 3 ресткая связь дouo IHHòåJIüíoão компенсатора с вместилище:1 и через шлан55

3 1502889

Изобретение относится к машиностроению, а именно к устрoéc TEIам,LJIя демпфирования колебаний в вакуумных системах, и может быть использовано для виброизоляции высокочувствительных к вибрациям приборов, в частности электронно-лучевых установок в полупроводниковой промышленности или электронных микроскопов. 1О

Известно устройство для демпфирования колебаний в вакуумных системах,. в котором между вакуум-насосом и вместилищем устанавливается компенсатор. Для того, чтобы в высоковаку- !5 умных условиях исключить возможность смятия компенсатора под действием атмосферного давления, между вакуум-насосом и вместилищем предусмотрены дистанционные стержни, последовательно 20 по отношению к которым установлены резиновые демпфирующие элементы, натяжение которых регулируется в зависимости от гастоты возбуждения (проспект "TurbomolekularpuInpen und j 25

Zubehor" — NTM 5. 1. 1-HV200 — часть 5 фирмы Leybold — Heraeus Koln, 1977) .

Недостатком данного устройства является то, что в результате воздействия атмосферного давления сущесr- 30 венно ограничивается эффективность демпфирования.

Цель изобретения — повышение эффективности демпфирования за счет компенсации влияния атмосферного дав- 5 ления на эффект демпфирования.

Указанная цель достигается тем, что устройство снабжено установленным

coocho c ocIIoBlibIM компенсатором до- . полнительным компенсатором с одина- щ ковыми основному статическими и динамическими свойствами, жестко связанным посредством дистанционных стержней с вакуум-насосом и вакуумно непосредственно с вместилищем или через 45 шланговые соединения с форвакуум-насосом, или жестко связанным посредством дистанционных стержней с вместилищем и через шланговые соединения вакуумно с форвакуум-насосом.

50 гoHIIQ copJJIIIIE ния накуумно с форвакуум-насосом.

Устройство для демпфирования колебаний в вакуумных системах состоит из вакуум-насоса 1, который через фланцевые соединения 2 и 3 вакуумно связан с форвакуум-насосом 4 и с основным компенсатором 5. Через другое фланцевое соединение 6 компенсатора 5 подсоединено вместилище 7, дополнительный компенсатор 8 фланцевым соединением 9 так же непосредственно соединен с вместилищем 7. Компенсатор 8 через пластину 10 посредством дистанционных стержней 12 жестко связан с вакуум-насосом 1 ° Вместилище 7 через механические элементы 13 связи и через демпфируюцие элементы, например пружины 14 растяжения, связано с основанием 15 устройства.

Вакуум-насос 1 через подпорки 24 опирается на основание 15 устройства °

Р, отличие от фиг. 1 компенсатор 8 на фиг. 2 не находится в непосредственной вакуумной связи с вместилищем 7. Фланец 17 компенсатора 8 (фиг. 2) пластиной 18 вакуумплотноизолирован от вместилица 7, и через фланцевое соединение 19 вакуумпровод

20 и фланцевое соединение 21 дополнительный компенсатор 8 вакуумно связан с форвакуум-насосом 4.

В устройстве (фиг. 3) дополнительный компенсатор 8 закреплен на фланце всасывания (фланцевого соединения 3) вакуум-насоса 1. Пластина 22, прикрепленная к вакуум-насосу 1 по" средством подпорок 24, опирается на основание 15 устройства и через фланцевое соединение 23 связана с компенсатором 8. Вакуумное соединение компенсатора 8 с форвакуум-насосом 4 аналогично фиг. 2 осуцествляется через Аланцевое соединение 11, пластину 10, фланцевое соединение 19, вакуумпровод 20 и фланцевое соединение 21.

Устройство для демпфирования колебаний работает следуюцим образом.

Вибрации, возникаюцие при работе вакуум-насоса 1, воспринимаются основным компенсатором 5 и дополнительным компенсатором 8, что обеспечивает виброизоляцию вместилица 7 ° При этом силы атмосферного давления Р и Р» действующие вдоль оси симметрии устройства и имеюцие одинаковую величину и противоположное направле2889

5 15О ние, замыкаются через дистанционные стержни 12 и взаимно уничтожаются, в результате чего устраняется влияние атмосферного давления на эффект демпфирования. формула изобретения

Устройство для демпфирования колебаний в вакуумных системах, содержащее компенсатор, устанавливаемый между вакуум-насосом и вместилищем, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности демпфирования, оно снабжено установленным соосно с основным компенсатором дополнительным компенсатором с одинаковыми основному статическими и динамическими свойствами, жестко свяэап5 ным посредством дистанционных стержней с вакуум-насосом и вакуумно непосредственно с вместилищем или через шланговые соединения с форвакуум-насосом, или жестко связанным посредством дистанционных стержней с вместилищем и через шланговое соединение . вакуумно с форвакуум-насосом.

1!риэнано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной Ведомством по изобретательству Германской

Демократической Республики.

1502889

Фиа 3

Составитель С,Таратухин

Техред Л.Олийнык Корректор Л.Патай

Редактор J1.3àéöåâà

Заказ 5069/48

Тира к 721

Подписное

ВНИИПИ Государственного. комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. У кгород, ул Гагарина, 101