Стекло
Изобретение относится к химически устойчивым стеклам, предназначенным для производства фотошаблонов. С целью сужения температурного интервала кристаллизации стекло содержит, мас.%:SIO<SB POS="POST">2</SB> 54,599-68,998 AL<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 6,5-16,5 MGO 5,0-12,0 CAO 1,0-11,3 ZNO 5,0-15,5 NA<SB POS="POST">2</SB>O 0,1-3,0 MO O<SB POS="POST">3</SB> 0,0005-0,005. Температурный интервал кристаллизации 900-1110°С, ТКЛР (20-300°С)Α(39-45<SP POS="POST">.</SP>10<SP POS="POST">-7</SP> град<SP POS="POST">-1</SP>, температура варки 1410-1440°С, температура выработки 1200-1260°С, химическая устойчивость (потери массы) к H<SB POS="POST">2</SB>O 0,01-0,02%, светопропускание для длин волн 365 нм 80-82% и 405 нм 85,5-88%. 2 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„12936
А1 (51) 4 С 03 С 3/085
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А ВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Г:" -"-" °, g ° Ф б 1
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР . (21) 4306383/40-33 (22) 14 ° 07.87 (46) 07.10.89. Бюл. Р 37 (72) К.M. Татевосян и P ° Б. Корухчян (53) 666.112.5(088.8) (56) Стекло К-8. Стекло электровакуумное. — Неорганические электроизоляционные материалы: Справочник, 1971.
Авторское свидетельство СССР
Ф 852807, кл. С 03 С 3/087, 1979. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к хыкически устойчивым стеклам, предназначенным для производства фотошаблонов. С
Изобретение относится к химически устойчивым стеклам, предназначенным. для производства фотошаблонов.
Цель изобретения — сужение температурного интервала кристаллизации стекла.
Конкретные составы стекол приведены в табл. 1, свойства стекол — . в табл. 2.
Шихта для конкретных составов готовится, в основном, из материалов номенклатуры "ч" (СаΠ— через метасиликат кальция), пропущенных через сито (сетка У 0315).
Варка проводится в 0,5-1,0-литровых кварцевых тиглях в шахтной печи.
Стекло, кроме меньшего температур.ного интервала кристаллизации, имеет еще ряд преимуществ, а именно низкий
ТКЛР, что повьппает четкость изображения топологического слоя при экспонировании, а также меньшую температуру варки, что повышает длительность
2 целью сужения температурного интервала кристаллизации стекло содержит, мас. Е: SiO< 54,599-68,998; А1 0>
6,5-16,5; MgO 5,0-12,0; .СаО 1,0-11,3;
ZnO 5,0-15,5; Na O 0,1-3,0; МоО>
0,0005-0,005. Температурный интервал кристаллизации 900-1110 С, ТКЛР (20300 С) o((39-45) 10 град, температура варки 1410-1440 С, температура выработки 1200-1260 С, химическая устойчивость (потери массы) к Н О О,OI0,02Х светопропускание для длин волн 365 нм 80-82Х и 405 нм 85,5—
887.. 2 табл. эксплуатации печи и качество вырабатываемого стекла.
Варку стекла можно проводить в электростекловаренной печи как с графитовыми электродами, так и с электродами из другого материала (молибден, платинородий).
Формула изобретения
Стекло, включающее SiO, A1 0 з, МяО, СаО, ЕпО, Na<0, отличаю
1щ е е с я тем, что, с. целью сужения температурного интервала кристаллизации, оно дополнительно содержит
МоО при следующем соотношении компо-. нентов, мас. 7.:
SiOz 54,599-68,998
Al п.ОЗ 6,5-!6,5
MgO 5 0-12,0
СаО 1, 0-11,3
ZnO 5,0-15,5
Na 0 О, 1-3,0
МоОЗ 0,0005-0,005
1512936
Та блица f
Содержание, мас. г
Компоненты
3 4
Таблица 2
Показатели для составов стекол
Свойства
920-1080
920-1110
940-1100
900-1100
40
1240"126Î
1200-1230
1240-1260
1220-1250
0,02
0,017
0,01,0,014
82/88
81/85,5
82/87,5
80/86
Составитель Т.Трифонова.
ТехредЛ,Сердюкова Корректор М.Самборская
Редактор А. Козориз
Заказ б033/23 Тираж 418 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,301
61203
MgO
СаО
Zn0
Na O
Моо э
Температурный интервал кристаллизации, С
ТКЛР к10 град
20-300
Температуры, С варки выработки
Химическая устойчивость (потери массы и Х к Н О)
Светопропускание, X,для длин волн 365 и 405 нм
54,599
16,5
7,0
11,3
10,1
0,5
0,001
58,995
14,0
5 0
6,4
15,5
0,1
0,005
64,699515,3
12,0
1,0
5 0
2,0.
0,0005
68,998
6,5
9,0
3,0
9,5
3,0
0,002
