Интерференционный способ контроля вогнутых параболоидов

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля формы крупногабаритных вогнутых параболоидов. Целью изобретения является повышение точности контроля. Для этого освещение параболоида осуществляют коллимированным пучком с диаметром не менее 1/5 диаметра контролируемого параболоида параллельно его оси путем последовательного направления пучка на внеосевые участки диаметрального сечения параболоида, расстояние между центрами которых выбирают не более радиуса освещающего пучка. Путем последовательного отражения от параболоида, сферического зеркала и вновь от параболоида формируют коллимированный рабочий пучок, который совмещают с опорным пучком до получения интерференционной картины, по которой осуществляют контроль формы. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ и

1 .

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHAM

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4167045/24-28 (22) 24.12.86 (46) 15.10,89. Бюл. № 38 (7?) В.А.феоктистов, Н.М.Назмеев и А.Г,Хуснутдинов (53) 531. 17.2(088,8) (56) Инюшина A.И., Шифферс Л.А.

Интерференционный метод контроля вогнутых параболических поверхнос eA. — 0MII, 1966, № 7, с. 33-34„ (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ ПАРАБОПОИДОВ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля формы крупногабаритных вогнутых параболоидов. Целью изобоетения является поИзобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для технологического и аттестационного контроля круп— иогабаритных (диаметром больше 150 мм) вогнутых параболоидов с большими относительными отверстиями в оптическом приборостроении.

Цель изсбрстения — повышение точности контроля крупногабаритных параболоидсв с большими относительными отверстиями.

На чертеже схематически представлено устройство для осуществления предлагаемого способа.

Устройство содержит источник 1 когерентного излучения и расположенные по ходу .лучей ноиденсор 2, диафрагму 3, светоделительную пластину 4, „„Я0„„1515037 (51)4 G 01 В !1/24, 9/02 вышение точности контроля. Для этого освещение параболоида осуществляют коллимированным пучком с диаметром не менее 1/5 диаметра контролируемого параболоида параллельно его оси путем последовательного направления пучка на внеосевые участки диаметрального сечения параболоида, расстояние между центрами которых выбирают не больше радиуса освещенног пучка, Путем последовательного отражения от параболоида, сферического зеркала и вновь от параболоида фор мируют коллимированный рабочий пучок, который совмещают с опорным пучком до получения интерференционной картины, по которой осуществляют контроль формы. 1 ил. объектив 5, светоделительную пластину 6 с эталонной плоской поверхностью, .отражатель 7, установленный с .возможностью перемещения вдоль оптической оси объектива 5, вспомогательное сферическое зеркало 8, диафрагму 9 и экран 10, Позицией 11 обоэна .ен контролируемый параболоид.

Способ осуществляют следующим образом.

Свет от источника 1 фокусируют конденсором 2 в плоскость диафрагмы 3, установленной в фокусе объектива 5. Параллельный пучок, вьппедший иэ объектива 5, разделяют на два пучка с помощью светоделительной пластины 6. Один из пучков после отражения от эталонной поверхности пластины 6 направляют в объектив 5 и исПовышение точности контроля обеспечивается благодаря тому, что используются опорный и рабочий волновые фронты небольшого диаметра, которые могут быть сформированы с более высокой точностью, чем волновые фронты большего диаметра.

Формула изобретения

Составитель В. Бахтин

Техред Л.Олийнык

Корректор А. Обручар

Редактор А. Огар

Заказ 6215/40 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва., )(-35. Раушская наб., д. 4/5!! — !!

Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

3 1515037 .пользуют в качестве опорного пучка.

Другой пучок направляют параллельно оси 00, параболоида 11 на его крайний внеосевой участок, после отражения от которого он собирается в фокусе F параболоида 11. С помощью сферического зеркала 8, центр кривизны которого совмещен с фокусом Р параболоида 11, пучок направляют и обратном направлении и после второго отражения от внеосевого участка параболоида, отражателя 7 и прохождения пластины 6 воспринимают объективом 5. Совмещают рабочий и опорный пучки до получения интерференционной картины, по которой осуществляют контроль формы параболоцца 11 путем наблюдения непосредственно глазом через диафрагму 9 или на экра- 20 не 10. После этого отражатель 7 перемещают вдоль оптической оси объектива 5, последовательно направляя пучок, диаметр которого не меньше

1/5 диаметра параболоида 11, на вне- 25 осевые участки, расположенные в одном диаметральном сечении параболоида 11, причем расстояние между центрами соседних внеосевых участков устанавливают не больше радиуса осве- 30 щающего пучка.

По результатам измерения погрешностей изготовления на каждом гнев осевом участке определяют форму параболоида в выбранном сечении. !

Интерференционный способ контроля вогнутых параболоидов, заключающийся в том, что освещают коллимированньм пучком контролируемый параболоид параллельно его оси, формируют рабочий пучок путем последовательного отражения от поверхности параболоида и вспомогательного зеркала и совмещают рабочий пучок с коллимированным опорным пучком до получения интерференционной картины, по которой осущес-.,вляют контроль формы, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности контроля крупногабаритных параболондов, освещение параболоида осуществляют пучком с диаметром не меньше 1/5 диаметра параболоида путем последовательного направления пучка на внеосевые участки параболоида вдоль его диаметрального сечения, а расстояние между, центрами соседних участков выбирают не больше радиуса освещающего пучка.