Интерферометр для контроля качества поверхностей вращения

 

Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено для контроля качества поверхностей вращения, преимущественно вогнутых асферических. Целью изобретения является упрощение конструкции и расширение диапазона апертур контролируемых поверхностей. Это достигается за счет реализации принципа разделения волнового фронта на рабочий и эталонный по полю. Для этого объектив расположен так, что перекрывает часть пучка излучения, формируемого телескопической системой. При этом задний фокус объектива совпадает с задним фокусом зеркальной системы, образованной исследуемой поверхностью вращения и последней по ходу лучей поверхностью объектива, являющейся средством совмещения рабочего и эталонного волновых фронтов. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ.

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 G 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 3972002/25-63 (22) 05, 11.85 (46) 07,08,89, Бюл. № 29 (71) МВТУ им, 11.3,Баумана (72) Д,Т.Пуряев и Н.Н.Кулакова (53) 531,715,) (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР №- 155964, кл. G )962. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ

КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля качества поверхностей вращения, преимущественно вогнутых асферических. Целью изобретения является упрощение конструкции и расИзобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля качества поверхностей вращения, преимущественно вогнутых асферических.

Цель изобретения — упрощение конструкции и расширение диапазона апертур контролируемых поверхностей.

На чертеже приведена оптическая схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник

1 монохроматического излучения, составленную иэ линз 2 и 3 телескопическую систему, объектив 4, контроли. руемую поверхность 5 и блок 6 регистрации, Интерферометр работает следующим образом, Лучи света, выходящие из источника 1, попадают в телескопическую систему из линз 2 и 3, которая уменьшает расходимость пучка и рас„SU„, 1499108 А 1, ширение диапазона апертур контролируемых поверхностей. Это достигается за счет реализации принципа разделения волнового фронта на рабочий и эталонный по полю. Для этого объектив расположен так, что перекрывает часть пучка излучения, формируемого телескопической системой, При этом задний фокус объектива совпадает с задним фокусом зеркальной системы, образованной исследуемой поверхностью вращения и последней по ходу лучей поверхностью объектива, являющейся средством совмещения рабочего и эталонного волновых фронтов. 1 ил. ширяет его диаметр, Центральная часть пучка направляется в объектив

4, который формирует эталонный волновой фронт. Периферийная часть этого же пучка направляется на контролируемую поверхность 5, Лучй света, отразившись от поверхности 5, а затем от задней поверхности объектива

4, формируют рабочий волновой фронт.

О качестве контролируемой поверхности 5 судят по результатам измерений интерференционной картины, которая возникает в результате взаимодействия рабочего и эталонного волновых фронтов в блоке 6 регистрации.

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

Интерферометр для контроля качества поверхностей вращения, содержащий послсдоватсльно установленные источник монохрoìëòè÷åc.êîão I>злучения, 1499

108

Составитель Г.Самохвалов

Редактор А.Козориз Техред JI.Сердюкова Корректор Н.Борисова

Заказ 4677/36 Тираж 683 Подписное

ВНИИПО Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

3 телескопическую систему, объектив, средство совмещения рабочего и эталонного волновых фронтов, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью упрощения конструкции и расширения диапазона апертур контролируемых поверхностей, объектив расположен так, что перекрывает центральную часть пучка излучения и его задний фокус совмещен с задним фокусом зеркальной системы, образованной иссле5 дуемой поверхностью вращения и последней по ходу лучей певерхностью объектива, являющейся средством совмещения рабочего и эталонного волновых фронтов.