Способ измерения сдвига интерференционной полосы

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности за счет уменьшения влияния постоянной составляющей интерфереционного сигнала. Способ заключается в модуляции разности хода интерферирующих лучей с амплитудой, превышающей 3/2 длины волны, измерении величин модулирующего воздействия в моменты когда интенсивность интерференционного сигнала переходит через постоянный уровень, и определении направления и величины сдвига интерференционных полос по полусумме измеренных величин. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИ Х

РЕСПУБЛИН (51)4 t Ol В 21/00 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H А BTQPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4343496/24-28 (22) 29 ° 09.87 (46) 07.11.89. Бюл. и 41 (72) В.И.Вензель (53) 531.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

ti" 914936, кл. G Ol В 9/02, 1980. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СДВИГА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ ПОЛОСЫ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности за

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения сдвига ин-. терференционных полос в интерферометрах с модуляцией оптической длины.

Цель изобретения — повышение точности за счет уменьшения влияния постоянной составляющей интерференционного сигнала.

На чертеже представлена блок-схема устройства, реализующего способ..

Устройство состоит из интерферометра 1, модулятора 2, механически связанного с одним из плеч интерферометра 1, последовательно соединенных фотоприемника 3, расположенного в выходной плоскости интерферометра 1, усилителя 4, компаратора 5, формирователя 6 фронта, блока 7 выборки и хранения, сумматора 8, аналого-цифрового преобразователя 9 и вычислительного блока 10, последовательно соединенных формирователя 11 среза, вход которого подключен к выходу компараÄ;SUÄÄ 1520333 А 1

2 счет уменьшения влияния постоянной составляющей интерференционного сигнала. Способ заключается в модуляции разности хода интерферирующих лучей с амплитудой, превышающей 3/2 длины волны, измерении величин модулирующего воздействия в моменты, когда интенсивность интерференционного сигнала переходит через постоянный уровень, и определении направления и величины сдвига интерференционных полос по полусумме измеренных величин. 1 ил. тора 5, и блока 12 выборки и хранения, выход которого подключен к второму входу сумматора 8, формировате- % ля 13 импульса запуска, выход которого подключен к входу запуска преобразователя 9, генератора 14, выходы которого подключены к входам модуля- Q3 тора 2 и Формирователя 13, и вторым фф входам блоков 7 и 12, и источника 15 р опорного напряжения. фф

Способ осущест.-..ляют следующим образом.

Интерферометр 1 Формирует интерференционную картину в плоскости Фо. топриемника 3. Картина модулируется при помощи модулятора 2, подключенного к генератору 14. Сигнал с фото- а приемника 3 усиливается усилителем 4 и сравнивается при помощи комгаратора 5 с уровнем постоянного напряжения, поступающего от источника 15 опорного напряжения. 8 момент перехо" да интерференционного сигнала через уровень постоянного напряжения в по1520333 точника опорного напряжения выбирают больше уровня интерференционного фона, что позволяет более точно опре делять сдвиг интерференционной полосы °

Ф о р м у л а изобретения

СОставитель М.Кузнецов

Редактор М. Бланар Техред М. Ходанич Корректор М.Максимишинец

Заказ 6744/41 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r Ужгород, ул. Гагарина,101 ложительную сторону формирователь 6 формирует импульс, по которому происходит запись в блок 7 мгновенного значения модулирующего напряжения ге- нератора l4. В момент перехода интер5

Ференционного сигнала через уровень постоянного напряжения в отрицательную сторону формирователь ll формирует импульс, по которому происходит запись в блок l2 выборки-хранения мгновенного значения модулирующего напряжения. Два этих значения подаются на сумматор 13 с коэффициентом передачи 1/2 по обоим каналам, где находится их полусумма. Это напряжение подается на преобразователь 9, который запускается формирователем

l3, срабатывающим на обратном ходе генератора 14, Значение кода преобразователя 9 по сигналу "Готов" передается в вычислительный блок 10.

Таким. образом, на прямом ходе генератора модулирующего напряжения осуществляется измерение двух последовательных мгновенных значений модулирующего напряжения, их запоминание в блоках 7 и 12 выборки и хранения, нахождение полусуммы, а на обратном ходе - преобразование полусуммы в цифровую форму, хранение

ЗО цифрового кода и его передача в вычислительный блок 10. Напряжение uc t

Способ измерения сдвига интерференционных полос, заключающийся в модуляции разности хода интерферирующих лучей, регистрации интенсивности интерференционной картины, измерении величины модулирующего воздействия и определения величины и направления сдвига интерференционных полос с учетом величины модулирующего воздействия, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности, модуляцию осуществляют с амплитудой, превышающей 3/2 длины волны интерферирующих лучей, величину модулирующего воздействия измеряют дважды в моменты последовательного перехода интенсивности интерференционной картины через постоянный уровень, превышающий величину flocToRH ной составляющей интерференционного сигнала, а величину и направление сдвига полос определяют по полусумме измеренных величин модулирующего воздействия.