Прибор для контроля шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель - расширение области применения-достигается путем измерения как зеркальной, так и рассеянной составляющих светового потока прибором для контроля шероховатости 0,05-20 мкм поверхности независимо от изменения ее отражательной способности. Расходящийся пучок лучей от источника 5 излучения, пройдя через положительную линзу 7, попадает на конический отражатель 2, который направляет излучение на среднюю зону 8 линзы 1. Последняя преобразует его в сходящийся пучок с центром, расположенным за контролируемой поверхностью 10. При отражении излучения от контролируемой поверхности 10 зеркально отраженная часть потока, пройдя центральную зону 7 линзы 1, попадает на регистратор 3, а рассеянная микродефектами поверхности 10 часть потока, пройдя периферийную зону 9 линзы 1, попадает на регистратор 6, где формируется темно-польное изображение микродефектов. Измеряя величину рассеянной и зеркальной составляющих потока, по их соотношению можно судить о классе шероховатости поверхности 10. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (59 4 С 01 В 11/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР

К ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4376517/24-28 (22) 12.02.88 (46) 15.11.89. Бюл. Р 42 (71) Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции (72) И.С.Мельник, Л.А.Михеенко и Т.A.Зотова (53) 531.715.27(088 ° 8) (56) Авторское свидетельство СССР

h» 1395946, кл. G 01 В 11/30, 1986. (54) ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ИЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель — расширение области применения. Это достигается путем измерения как зеркальной, так и рассеянной составляющих светового потока прибором для контроля шероховатости 0,05 — 20 мкм поверхности независимо от изменения ее отража„„SU„„3522033 А1 тельной способности. Расходящийся пучок лучей от источника 5 излучения, пройдя через положительную линзу 7, попадает на конический отражатель 2, который направЛяет излучение на среднюю зону 8 линзы 1, которая преобразует его в сходящийся пучок с центром, расположенным за контролируемой поверхностью 10. При отражении излучения от контролируемой поверхности

10 зеркально отраженная часть потока, пройдя центральную зону 7 линзы

1, попадает на регистратор 3, а ра;.— сеянная микродефектами поверхности

10 часть потока, пройдя периферийную зону 9 линзы 1, попадает на регистратор 6, где формируется темно-польное изображение микродефектов. Изме ряя величину расеянной и зеркальной составляющих потока, по их соотношению можно судить о классе шероховатости поверхности 10. 1 ил.

1522033

Составитель Л.Лобзова

Техред M.Õîäàíè÷ Корректор Y,Màêñèìèøèíåö

Редактор Л.Пчолинская

Тираж 683

Заказ 6948/37 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113()3 5, (1осква, Н(-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент". r.Óæãoðîä, ул. 1 агарина, 1()1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля шероховатости поверхности 5

Цель изобретения — расширение области применения путем измерения как зеркальной, так и рассеянной компонент потока, что позволяет использовать прибор для измерения широкого 10 класса поверхностей шероховатостью от 0,05,до 20 мкм независимо от изменения отражательной способности поверхности.

На чертеже изображена принципиаль--.. ная схема прибора для контроля шероховатости поверхности.

Прибор содержит последовательно расположенные на оптической оси линзу 1 большего светового диаметра, конический отражатель 2 с регулятором 3 на основании корпуса, положительную линзу 4 меньшего светового диаметра, источник 5 излучения и ре25 гистратор 6 рассеянный составляющей.

Источник 5 излучения совместно с линзой 4, коническим отражателем 2, средней зоной 8 линзы 1 образует осветительный канал. Центральная зона

7 линзы 1 и регистратор 3 образуют осветительный канал. Центральная. зона 7 линзы 1 и регистратор 3 образуют приемный канал зеркальной составляющей отраженного потока. Периферий- 35 ная зона 9 линзы 1 и регистратор 6 образуют приемный канал. рассеянной составляющей отраженного потока. Контролируемая поверхность 10 оптически сопряжена с регистратором 6. 40

Прибор для контроля шероховатос ти поверхности работает следующим образом.

Расходящийся пучок лучей от источника 5 излучения, пройдя через поло жительную линзу 4, попадает на конический отражатель 2, который направляет излучение на среднюю зону 8 линзы 1, которая преобразует его в сходящийся пучок с центром, расположенным за контролируемой поверхностью 10. При отражении излучения от контролируемой поверхности 10 зеркально отраженная часть потока, пройдя центральную зону 7 линзы 1, попадает на регистратор 3, а рассеянная микродефектами поверхности 10 часть потока, пройдя периферийную зону 9 линзы 1, попадает на регистратор 6, где формируется темнопольное изображение микродефектов. Измеряя величину рассеянной и зеркальной составляющих потока по их соотношению можно судить о классе шероховатости поверхности.

Формула изобретения

Прибор для контроля шероховатости поверхности, содержащий источник излучения, две положительные линзы, установленные по ходу излучения, и регистратор рассеянной составляющей светового потока, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения области применения, он снабжен коническим отражателем, установленным между линзами и обращенным вершиной к источнику излучения, и регистратором зеркальной составляющей светового по.тока, расположенным на основании ксг;< нического отражателя.