Устройство для контроля шероховатости поверхности

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТЕЙ ПОВЕРХНОСТИ, содержащее источник излучения, коллимирующую линзу, в передней фокальной плоскости которой расположен источник излучения, цилиндрический отражатель, установленный так, что его ось совпадает с оптической осью линзы, фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения, фотоприемник для регистрации диффузно отраженного излучения, фотоприемник сравнения и блок обработки сигналов с фотоприемников, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля и упрощения конструкции, линза выполнена со светоделительным покрытием и установлена так, что это покрытие обращено к источнику излучения, фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения установлен на расстоянии от линзы, равном половине ее заднего фокусного расстояния, фотоприемник для регистрации диффузно отраженного излучения расположен по отношению к источнику излучения со стороны, противоположной фотоприемнику для регистрации зеркально отраженного излучения, а источник излучения и фотоприемники расположены на оптической оси линзы.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) (И) 2 1 (51)4 G 01 В 11/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (2!) 4037449/24-28 (22) 30,12.85 (46) 07,09.89, Бюл. В 33 (72) Г.Р.Гольдберг, В,К,Дорохин, Ю.Н,Клиентов, Е.Б.Поклад, А.Н.Шестов и Г,М.Чернокнижный (53) 531.715,27 (088.8) (56) Патент США М 3591291, кл. 35Б-120 06.07.71.

Авторское свидетельство СССР

9 868348, кл. G О1 В 11/30, 21.01 ° 80, (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ, содержащее источник излучения, коллимирующую линзу, в передней фокальной плоскости которой расположен источник излучения, цилиндрический отражатель, установленный так, что его ось совпадает с оптической осью линзы, фотоприемник для регистрации зеркально

Изобретение о носится к измеря тельной технике, в частности к устройствам для контроля шероховатости поверхности, Цель изобретения — повышение точности контроля и упрощение конструкции за счет выполнения схемы устройства геометрически осесимметричной, что полностью устраняет влияние иапо равлений неровностей различных типов на показания, а также sa счет использования только одного зеркального цилиндра, На чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроля шероховатости поверхности.

2 отраженного излучения, фотоприемник для регистрации диффузно отраженного1 излучения, фотоприемник сравнения и блок обработки сигналов с фотоприем" ников, о т л и ч а ю,щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля и упрощения конструкции, линза выполнена со светоделительным покрытием и установлена так, что это покрытие обращено к источнику излучения, фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения установлен на расстоянии от линзы, равном половине ее заднего фокусного расстояния, фотоприемник для регистрации диффузно отраженного излучения расположен по отношению к источнику излучения со стороны, противоположной фотоприемнику для регистрации зеркально отраженного излучения,. а источник. излучения и фотоприемники расположены на оптической оси линзы, Устройство содержит источник 1 из" лучения, расположенный в переднем фо- М кусе вогнуто-выпуклой коллимирующей 3 линзы 2 с нанесенным на вогнутую по1 верхность светоделительным покрытием, цилиндрический отражатель 3, осесимметричный оптической оси коллимирующей линзы 2, фотоприемник 4 для регистрации зеркально отраженноГо из- ф, лучения, расположенный на оптической оси коллнмирующей линзы 2 на расстояай нии от нее, равном половине ее зад-. него фокусного расстояния, фотоприемник 5 для регистрации диффуэно отраженного излучения расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2

271

Сигналы с фотоприемников 4 — 6 поступают в блок 7 обработки сигна-, лов и результат выдается на отсчетный узел (ие показано).

Предкетнав

Ж4СФФСЩЬ

Составитель Л,Лобэова

Редактор В,Бугренкова Техред M,Моргентал Корректор Э,Лончакова

Заказ 5417/41 Тираж 683 Подписное

ВНКИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101

3 1506 эа источником 1 излучения,.фотоприемник 6 канала сравнения, также установленный на оптической оси коллими-.

Ъ ° рующей линзы 2 перед источником 1 излучения и закрывающий фотоприемник 4 для регистрации зеркально отраженного излучения от прямого излучения, блок 7 обработки сигналов, служащий для обработки сигналов с фотоприемников 4 — 6 °

Устройство работает следующим образом.

Пучок света, посылаемый источником 1 излучения, падает на поверхность коллимирующей линзы 2 с нанесенным светоделительным покрытием и раздваивается. Отраженный пучок направляется в сторону источника 1 излучения, Прошедший пучок коллимирующей линзой 2 проецируется на контролируемую поверхность 8 ° Источник

1 излучения расположен в фокальной плоскости коллимирующей линзы 2, поэтому, освещение .контролируемой поверхности 8 происходит параллельным пучком по нормали к ней.

Отраженный от контролируемой по" верхности 8 пучок делится на две составляющие — зеркальную и диффузную, 5

Зеркальная составляющая проходит коллимирующую линзу 2.и,.отразившись от ее светоделительного покрытия, со-. бирается на фотоприемнике 4 для регистрации зеркально отраженного излучения, Прошедшая через коллимирующую линзу 2 часть зеркально отраженного излучения возвращается к источнику 1 излучения, Диффузная составляющая, многократ15 но отразившись от цилиндрического отражателя 3, проходит линзу 2 и собирается на фотоприемнике 5 для регистрации диффуэно отраженного излучения.

20 Часть пучка света, посылаемого источником 1 излучения, попадает на фотоприемник 6 канала сравнения.

Устройство для контроля шероховатости поверхности Устройство для контроля шероховатости поверхности 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения шероховатости поверхности изделий

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля дефектов на наружных поверхностях деталей с оценкой параметров дефектов по трем координатам

Изобретение относится к измерительной технике ,в частности, к устройствам, используемым для контроля неплоскостности объектов

Изобретение относится к измерительной технике, связанной с определением параметров качества поверхности деталей на основе рефлектометрии поверхности, и может быть использовано в оптической промышленности и производстве полупроводниковой техники

Изобретение относится к технологии производства летательных аппаратов и может быть использовано для контроля положения элементов летательного аппарата

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано ,в частности, для контроля шероховатости зеркальных поверхностей

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля дефектов обработки поверхности по отражению пучка рентгеновского излучения

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для оценки качества поверхности прецизионных деталей

Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля выпуска продукции с регламентированными параметрами шероховатости и волнистости в металлургической, машиностроительной, электронной, оптической, полиграфической промышленности, в самолетостроении, в технологиях нанесения покрытий

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих наружную резьбу

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих внутреннюю резьбу

Изобретение относится к способу детектирования положения линии сгиба или аналогичной неровности на движущемся упаковочном полотне на подобном материале

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении шероховатости сверхгладких поверхностей, например плоских зеркал, полированных подложек и т.п

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля шероховатости поверхности изделия
Наверх