Измерительный ртутный зонд

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения локальных электрофизических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет увеличения точности воспроизведения площади ртутного контакта. Для этого исключают влияние различного заполнения объема с ртутью на изменение условий работы механизма перемещения ртути. Зонд содержит корпус с капилляром для ртути и механизм для перемещения ртути. Корпус зонда снабжен регулятором объема, заполняемого ртутью, а механизм перемещения ртути снабжен ограничителем хода. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ социАлистичесних

РЕСПУБЛИК

А1

0% (111

1511 4 С 01 N 27/07

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ HOMMTFT по изоБРетениям и отнРытиям

IlpH Гннт сссР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ,: "" - 1н

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ! (21) 4382371/31-25 (22) 17. 11.87 (46) 15.12.89. Бюл.9 46 (71) Специальное конструкторско-технологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения СО АН СССР (72) П.П.Добровольский, М.С.Ильинов и Б.А.Чикулаев ,(53) 541.135.5(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 974463, кл. Н 01 L 21/66, 1981.

Авторское свидетельство СССР

1l 860360, кл. Н 05 К 1/11, 1981.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения локальных электрических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков.

Цель изобретения — повышение точности измерений.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.

Измерительный ртутный зонд содержит корпус 1 с капилляром иэ изолирующего материала, регулятор 2 объема капилляра, контакт 3 к ртути 4, металлический экран 5. Механизм перемещения ртути включает в себя эластичную мембрану 6,шток 7 для создания давления и ., 2 (54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ РТУТНЫЙ ЗОНД (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения локальных электрофнэических характеристик структур на основе полупроводников и диэлектриков. Цель изобретения — повышение точности измерений за счет увеличения точности воспроизведения площади ртутного контакта. Для этого исключают влияние различного заполнения объема с ртутью на изменение условий работы механизма перемещения ртути. Зонд содержит корпус с капилляром для ртути и механизм для перемещения ртути.

Корпус зонда снабжен регулятором объема, заполняемого ртутью, а механизм перемещения ртути снабжен ограничите" лем хода. l нл. ограничитель 8 хода штока, гайку 9, прижимающую мембрану 6 к корпусу 1.

Регулятор объема выполнен в виде поршня, который может вводиться в резервуар с ртутью вращением его по резьбе, находящейся на экране корпуса зонда.

Измерительный ртутный зонд работает следующиМ образом.

Корпус у зонда 1 прижимается к ис. следуемой поверхности образца открытым концом капилляра. Нтск 7 с ограничителем хода перемещается до упора в гайку 9,жестко связанную с корпусом

1, причем расстояние перемещения выбирается ограничителем 8 хода таким, 1529093

Составитель В. Екаев

Техред Л.Сердюкова

Корректор С.Черни

Под пи с но е

Редактор С.Лисина

Заказ. 7633/38

Тираж 789

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 чтобы не создавать необратимых деформаций в мембране 6. Затем в объем с ртутью вводится регулятор 2 до получения электрического контакта ртути с исследуемым образцом (площадь контакта контролируют по емкости получаемых барьеров Шоттки или МПП-структур на эталонных образцах или визу.ально с помощью измерительного микро- 10 ,,скопа через стекло, вставленное

1вместо образца). После получения контакта требуемой площади прекращается введение регулятора 2 в объем с ртутью

4. После проведения измерений шток 15

7 с ограничителем 8 хода возвращается в исходное положение, при этом давление на ртуть исчезает н она уходит обратно в объем. Затем образец заменяется на ртутный зонд, перемещается 20 в другую точку исследуемого образца, а шток 7 с ограничителем 8 хода подаются обратно до упора. При этом площадь ртутного контакта воспроизводится с большой точностью, так как 25 рабочее положение штока также воспроизводится с большой точностью (технически не представляет труда добиться погрешности менее 1 мкм), а мембрана всегда растягивается в пределах дефор" мации (для каждого конкретного материала эти пределы легко установить по справочнику). Если заправить объем с ртутью до другого уровня, то это никак не повлияет на воспроизводимость площади контакта, так как изменение объема ртути компенсируется регулятором 2, а условия работы мембраны не изменяются при повторных выдавливаниях. Режим выбирают оптимальным для данного материала мембраны °

Формула изобретения

Измерительный ртутный зонд, состо- ящий из корпуса с капилляром, заполненным ртутью, механизма для перемещения ртути со штоком, контакта и металлического экрана, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности измерений, корпус измерительного ртутного зонда выполнен с регулятором объема капилляра, а механизм перемещения ртути снабжен ограничителем хода штока.