Способ определения шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам контроля качества поверхности с использованием ионизирующего излучения. Целью изобретения является повышение точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов путем регистрации отношения пространственно измененных параметров характеристического излучения поверхности. Флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, входящих в состав образца, отбирают под углом и его интенсивность измеряют устройством выделения и измерения интенсивности вторичного характеристического излучения. После изменения углов падения и регистрации измеряют интенсивность излучения. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (191 (11) А1 г (.;11 4 G 01 В 15/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4270670/24-28 (22) 27. 05.87 (46) 30. 12.89. Бюл. ь" 48 (71) Челябинский электрометаллургический комбинат (72) В.Д.Шульц и И.Н.Алексушин (53) 531.717.11(O88.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1270561, кл. G 01 В 15/00, 1984.

Авторское свидетельство СССР

1375953, кл. С 01 В 15/02, 1976. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ

ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам контроля качества поверхности с

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к методам контроля качества поверхности с использованием ионизирующего излучения.

Целью изобретения является повышение точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов путем регистрации отношения пространственно измененных параметров характеристического излучения от одного из элементов состава поверхности, На чертеже изображена схема устройства, реализующая предлагаемый способ измерения шероховатости поверхности.

Устройство содержит источник 1 гамма- или рентгеновского излучения.

Исследуемый образец обозначен позицией 2, а устройство выделения и измере2 использованием ионизирующего излучения. Целью изобретения является повышение точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов путем регистрации отношения пространственно измененных параметров характеристического излучения поверхности. Флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, входящих в состав образца, отбирают под углом и его интенсивность измеряют устройством выделения и измерения интенсивности вторичного характеристического излучения. После изменения углов падения и регистрации измеряют интенсивность излучения. Ф

1 ил. Ф ния интенсивности вторичного характеристического излучения - позицией 3.

На чертеже изображены углы Ф, и Ч падения первичного излучения и углы V< и ((1 отбора вторичного излучения при первом и втором измерениях соответственно.

В качестве устройства 3 можно испольэовать, например, кристальмонохроматор пропорциональный, сцинтилляционный или полупроводниковый счетчик с последующим выделением характеристического излучения пороговыми устройствами и т.п.

Способ осуществляется следующим образом.

Первичное излучение от радиоактивного источника 1 или рентгеновской трубки направляют под углом Ч< на поверхность исследуемого образца 2.

1532810

Формула и з о б р е т е н и я

Составитель, В.Парнасов

Редактор Т.Парфенова Техред М.Дидык Корректор Л.Бескид

Заказ 8090/48 Тираж 683 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, 8-35, Раушская наб., д ° 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент", г.ужгород, ул.Га -арина, 101

Флуоресцентное характеристическое излучение одного из элементов, входящих в состав образца, отбирают под углом

Р и его интенсивность измеряют устройством 3. Затем изменяют углы Ч, и Ч относительно условного центра на йоверхности и измеряют интенсивность характеристического излучения

llpH нОВых значениях углОВ 1 2 H 1 2 сравнивают их отношение с градуировочной характеристикой, построенной для образцов известной шероховатости.

С целью повышения экспрессности измерения отбор характеристического излучения можно производить одновременно двумя устройствами 3 выделения и регистрации при различных углах отбора 4, и т, угол Ч не меняется.

При этом изменение углов Ч и т производят в одном и том же направлении по отношению к контролируемой поверхности и не обязательно на одну и ту же величину.

Для получения максимальной чувствительности изменяют углы 9 и g одновременно и устанавливают в одном случае максимально, в другом минимально конструктивно возможные. Энергию первич- g0 ного излучения выбирают исходя из достаточности возбуждения флуоресцирующего элемента.

Предлагаемый способ позволяет работать по единой градуировочной характеристике для образцов с резко различным химическим составом и увеличить чувствительность более чем в 4 раза, т.е. соответственно улучшить точность определения шероховатости поверхности.

Способ определения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что контролируемую поверхность облучают лучком первичного ионизирующего излучения с заданными параметрами, регистрируют интенсивность вторичного характеристического излучения одного из элементов, входящих в состав поверхности, изменяют один из параметров пучка, повторно облучают поверхность пучком первичного излучения, регистрируют интенсивность вторичного характеристического излучения того же элемента, входящего в состав поверхности, и по отношению зарегистрированных интенсивностей определяют величину шероховатости, о т л и ч. а юшийся тем, что, с целью повышения точности измерения шероховатости различающихся по химическому составу образцов, в качестве изменяемого параметра пучка используют угол падения пучка первичного излучения, а угол, под которым регистрируют вторичное излучение, изменяют в том же направлении по отношению к контролируемои поверхности, что и угол падения пучка первичного излучения.