Электронный спектрометр

 

Изобретение относится к технике электронной спектроскопии, применяемой для изучения атомов, молекул твердого тела, поверхности. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей спектрометра призменного типа, увеличение его чувствительности и разрешающей способности. Для достижения цели в электронный спектрометр введен переключатель 6 режимов работы, при этом криволинейные щелевые зазоры выполнены по дугам кривых второго порядка, а электроды энергоанализатора подключены к регулируемому источнику 3 питания. На чертеже также показаны ряд источников 1 ионизации, приемник 2 электронов, система 4 управления, электростатический энергоанализатор 5. В спектрометре обеспечивается возможность изменить положение и форму щелевых зазоров линзы и тем самым увеличить его чувствительность и разрешающую способность. 7 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

{;1) g Н 01 7 49/44

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОЧИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21 ) 3986986/24-21 (22) 09.12. 85, (46) 07.01.90. Бюл. Р 1 (71) Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения

Научно-технического объединения

АН СССР и Институт ядерной физики

АН КазССР (72) Б.В. Бобыкин, И.Г. Волкова, Ю.А. Невинный, Н.А. Холин, M.Ä. Шутов и Е.M. Якушев (53) 621.384 (088.8) (56) Бобыкин Б.В., Волкова И.Г., Галль Р.Н, и др ° Оже-спектрометр на основе призменной электронной оптики. ЖТФ, 48, 853-859, 1978.

Агеев В.Н., Рутьков Е.В,, Тонтегоде А.Я. и др. Изучение пленки углерода, адсорбированной на иридии методами оже-электронной спектроскопии и термоэмиссии. ФТТ, 23, с. 2248-2254, 1981.

Авторское свидетельство СССР

У 645223, кл. Н 01 J 49/00, 1978.

Карецкая С.II,, Кельман В.М., Якушев Е.M. Аберрации трансаксиальных электростатических линз, ЖТФ, 41, 325-329, 1971. (54) ЭЛЕКТРОННЫЙ CIIEKTPOMETP

ÄÄ SU ÄÄ I 534550

2 (57) Изобретение относится к технике электронной спектроскопии, применяемой для изучения атомов, молекул твердого тела, поверхности. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей спектраметра призменнаго типа, увеличение

его чувствительности и разрешающей способности. Для достижения цели в электронный спектрометр введен переключатель 6 режимов работы, при этом криволинейные щелевые зазоры выполнены па дугам кривых второго порядка, а электроды энергоанализатора подключены к регулируемому источнику 3 питания. На чертеже также показаны ряд источников 1 ианизации, приемник 2 электронов, система 4 управления, электростатический энергоанализатор

5. В спектрометре обеспечивается возможность изменить положение и форму ,щелевых зазоров линзы и тем самым увеличить его чувствительность и разрешающую способность. 7 ил.

15345550

Изобретение относится к технике электронной спектроскопии, применяемой для изучения атомов, молекул, твердого тела, поверхности.

Цель изобретения — расширение аналитических возможностей спектрометра призменного типа, увеличение его чувствительности и разрешающей способности.

f0

Сущность предлагаемого изобретения заключается в том„ что при испол>зовании в коллиматорной и фиксирую" щей линзах спектрометра систем, свободных от трансаксиальной симметрии, и тем самым снятии ограничений, накладываемых законом сохранения азиму.тальной составляющей импульса частиц, получена возможность, во-первых, изменяя при расчете спектрометра поло" жение и форму целевых зазоров лин" зы, оптимизировать ее конструкцию по различным параметрам и тем самым увеличивать чувствительность и разрешающую способность спектрометра, 25 и во-вторых, меняя с помощью переключателя отношения потенциалов на электродах анализатора, оперативно изменять в широких, = àäàííûõ при конструировании пределах, основные характеристики спектрометра и тем самым существенно расширять его аналитическис возможности н сравнении с известным спек трометром.

Выполнение в энергоанализаторе известного спектрометра щелевых зазоров по дугам, представляющим собой кривые второго порядка с разнесенными центрами кривизны или эволютами, необходимо для уменьшения аберраций спектрометра, для сообщения спектрометру способности работать при различной степени замедления частиц в линзах, при различных значеньгях и положениях их кардинальных элементов, что и обеспечивает увеличение разрешающей способности и чувствительности спектрометра, его работу в режимах с различными источниками ионизации, с повышенной светосилой либо с расширенным полем зрения. Переключатель режимов работы необходим дпя оперативного изменения отношений потенциалов .на электродах анализатора и тем самым перехода из од55 ного режима работы спектрометра в друг и о

На фиг. l изображена блок-схема электронного спектрометра; на фиг.2 и 3 — электростатический призменный энергоанализатор в проекциях на горизонтальную и вертикальную плоскости(кроме того, на фиг.2 показана электрическая схема питания энергоанализатора), на фиг.4 - диаграммы, иллюстрирующие процесс оптимизации конструкции энергоанализатора спектрометра по различным параметрам.

Спектрометр (фиг.1) содержит ряд источников иониэации ИИ, ИИ,..., ИИд, приемник 2 электронов, регули-, руемый источник 3 электрического питания, систему 4 уйравления, сбора и обработки информации и электростатический энергоанализатор 5. Электроды энергоанализатора подключены к источнику питания через переключатель 6 режимов работы. Вакуумная система спектрометра на фиг,l не показана.

На фиг.2 схематически изображена проекция электродной системы энергоанализатора на его продольную (горизонтальную) плоскость, а на фиг.3 на вертикальную плоскость, которая на участке Х параллельна QN на участке II — HN и на участке III—

И 0, т.е. является плоскостью осевого сечения пучка. Там же показано сечение. электронного пучка,выходящего из центральной точки входной щели ? (объекта), электроды 8-10 призмы, электроды 11-14 коллиматорной линзы и электроды 15-!8 фокусирующей линзы, щель 19 приемника электронов. Точками О, и 0 показаны рассчитанные положения центров кривизны щелевых зазоров между электродами 14, 13 и 12, ll, выполненных по дугам окружностей с радиусами R u

R, а пунктирными линиями Э и Э положение и форма эволют щелевых зазоров между электродами 13, 12 и

11, 10, выполненных по дугам, представляющим собой кривые второго порядка переменной кривизны. Кривизна каждого щелевого зазора определяется кривизной йерпендикулярной к горизонтальной плоскости цилиндрической поверхности, делящей этот зазор пополам, à его ширина выбирается из соображений обеспечения электрической прочности конструкции и на всем протяжении имеет одинаковую величину. Поэтому края электродов, ограничивающие одну щель имеют общую эволюту и, в частности, при круговой

5 1.5 форме зазора общий центр кривизны.

В конкретной конструкции форма зазоров и их количество определяется расчетным путем исходя из оптимизации аналитических возможностей прибора и его габаритов.

Делитель 20 напряжения регулируемого источника электрического питания набран из сопротивлений 21, сое диненных с переключателем 22 режимов работы спектрометра.

Спектрометр работает следующим образом.

Эмиттируемые с образца электроны поступают в анализатор через входную щель 7, расположенную в передней фокальной плоскости анализатора. Из каждой точки щели выходит расходящийся пучок с раствором, определяемым отверстием апертурной диафрагмы. С помощью коллиматорной линзы пучок формируется так, что в проекции на горизонтальную плоскость он превращается в параллельный (фиг,2).

Электронная призма разлагает этот пучок на ряд фрагментов, каждый из которых представляет собой параллельный пучок, соответствующий электронам определенной энергии. Изображения входной щели, соответствующие различным энергиям частиц, формируются фокусирующей линзой в задней фокальной плоскости анализатора. Щель

19 приемника электронов устанавливается в этой плоскости ня электроннооптической оси прибора, а спектр снимается путем измерения величины регистрируемого электронного тока при изменении потенциалов на. его электродах.

В вертикальной плоскости (фиг.3) в анализаторе формируется ряд промежуточных линейных электронных изображений входной щели 7.

Переключение спектрометра в различные режимы работы. осуществляется переключением потенциалов на электродах анализатора с помощью переключателя 22 режимов. На фиг.2 изображены электрические схемы переключателя и делителя 20 напряжения, соответствующие приведенному конкретному примеру. Напряжение U регулируемого источника питания связано с энергией Е анализируемых частиц, на которуЮ настроен прибор, известными со,отношениями. Если частицы на разных участкаМ пути в анализаторе приобре34550 тают энергИю как большую F, так и меньшую F., то (!а) если энергия Е частиц на всем пути не меньше Е, то о

U = z,(v„, 1). (1б) Если на всем пути Е с Е, то

E (1 Чм«) (1в) 15 В выражениях (1а) — (1в) Ч максимальное, à V>«минимальное из всвх возможных зйачений потенциалов на электродах анализатора, изме20 Ре е в единицах Ео.

Величина и тип сопротивлений делителя 20 выбираются из требований к стабильности и другим параметрам источника питания. Переключатель 22 подключяет каждый электрод В зядян ном режиме работы анализатора к точке делителя, соответствующей напряжению и,. =е(v;; -1), !!1 о (2) где символы i H j обозначают электроды и режимы;

V — потенциал на электроде, иэI )) меренный также в единицах Е .

При переключении режима работы призменного анализатора положения его фокальных плоскостей остаются неизменными, а фокусные расстояния

40 KoJUIHMBTopHoH H фокусирующеи линз изменяются. Это обеспечивает придание анализатору новых значений линейной дисперсии, разрешающей способности, светосилы и поля зрения.

4> В процессе Расчета электроннооптической схемы энергоанализатора, варьируя форму (в пределах семейства кривых второго порядка) криволинейных щелевых зазоров и их положе>0 ние, а также потенциалы на электродах, можно поднять чувствительность и разрешение спектрометра уже в пяраксиальном приближении. Кроме того, анализатор предлагаемого спектромет ра обеспечивает увеличение чувствительности и разрешения по сравнению с известным sa счет уменьшения сферических аберраций. Аберрации анализатора определяются главным образом

1534550 сферическими аберрациями третьего порядка малости коллиматорной и фокусирующей линз = С, Р + С,a, (3) fп

a=- —п +1

Выражения (4) и (5) записаны для случая расположения предмета в бесконечности; где 3 — аберрационное уширение изображения щели источника э параллельном продольной плоскости направлении;

eL и Ь - апертурные углы в про-! долькой и поперечной плоскостях соответственно;

С и С вЂ” коэффициенты аберраций.

Использование в предлагаемом изобретении линз, не обладающих вращательной симметрией, позволяет существенно уменьшить или даже свести к нулю коэффициенты С< и С . Так, коэффициент. С< сводится к нулю даже при использовании зазоров между электродами, вырезанных по дугам 25 окружностей, специальным подбором радиусов этих окружностей и положений их центров кривизны. Для того, чтобы свести к нулю оба коэффициента, необходимо использовать электроды, ЗО вырезанные по дугам специально нодобранной некруговой формы и с разнесенными эволютами. Решение подобных задач при конструировании светооп,тических систем достигается сравнительно просто. Например.„ сферичес» кая аберрация стеклянной линзы может быть сведена к нулю,, если между радиусами Н < и R< поверхностей, ограничивающих линзу, ее толщиной Ь и А0 относительным, показателем преломления и стекла обеспечено соотношение

В - R< (n. — 1)(n + 2) п 7й + 27

Можно сделать линзу лишенной сфе-1 45 рической аберрации, если, например, поверхность, обращенную к изображению, выполнить по сфере с радиусом

R равным фокусному расстоянию f линзы-, а вторую поверхность — по $(} эллипсоиду с эксцентриситетом Е и главной полуосью а, удовлетворяющим требованиям

В качестве примера приведем результаты расчетов, полученные при раз" работке конкретного электронного спектрометра, предназначенного для исследования поверхностных явлений в нескольких режимах, соответствующих возбуждению образца рентгеновским, ультрафиолетовым излучением, электронным ударом, а также в режимах с повышенной светосилой при уме" ренном размере поля зрения и с расширенным полем зрения при умеренной светосиле. В диапазоне энергий 100"

3000 эВ (при использовании в качестве источника ионизации рентгеновской или электронной пушки) относительное разрешение спектрометра должно быть не хуже 0,1% при ширине исследуемой поверхности образца 1 мм.

При уменьшении ширины до 0,1 мм разрешение должно быть не хуже

0,03%. В области малых энергий (при возбуждении образца ультрафиолетовым излучением) абсолютное разрешение

/ должно быть не хуже 30 мВ при энергии 10 эВ. Максимальная светосила анализатора не хуже 1% от 2«, а ппощадь анализируемой поверхности образца до 4 мм .

Тип призмы (замедляющая или ускоряющая) энергоанализатора, угол при ее вершине, угол падения на призму„ расстояние между. призмой и коллиматорной и фокусирующей линзами, степень замедления нли ускорения частиц в линзах выбираются из соображений обеспечения .требуемой энергетической дисперсии, заданных габаритов, возможностей. осуществления электрического питания, исключения взаимного наложения, полей призмы и линз так же, как это делалось и в известном спектрометре.

Конструкция энергоанализатора сим-. метрична относительно плоскости PP (фиг.2). Угол при вершине призмы

1 =„ о

=. 40, угол падения пучка на призму 9< = 70 . Удаление точки пересечес О ния осевой траектории с плоскостью

РР от щели между электродами 8 и 9

4,9d, где d — расстояние между пластинами одного электрода. 01ирина электрода 9 2,13d. Протяженность общего для призмы и линз электрода 10, отсчитанная по оси 01<1, 12,5d. Выходная щель 7 отстоит от ближайшей криволинейной щели линзь< на 8d. спектрометра.

40

50 че на промежуточный электрод линзы

9 l5

Дпя работы в диапазоне энергий

100-3000 эВ предполагается использовать замедляющую в 16 раз коллиматорную и ускоряющую в 16 раз фокусирующую линчу. В области энергий меньше

20 эВ предполагается использовать одиночную линзу.

Потенциал V на промежуточном электроде трехэлектродной линзы может иметь промежуточную величину по сравнению с потенциалами на крайних электродах либо превосходить их °

Случаи, когда V< меньше потенциалов на крайних электродах, практического значения не имеют из-за больших искажений формируемого в этом режиме пучка.

Возможность независимо выбирать кривизну щелевых зазоров позволяет с помощью единой трехэлектродной конструкции линзы обеспечить два режима работы спектрометра. Эта возможность проиллюстрирована графиками фиг.4.

Здесь приведены результаты расчета коллиматорной линзы, согласующейся с описанной призмой. По оси абсцисс отложен радиус .кривизны второй щели линзы. Кривые 1-а и 1-б показывают величину кривизны первой щели, при которой осуществляется требуемый режим фокусировки. Кривые 2-а и 2-б показывают необходимые для этого режима значения потенциала V измеренные в единицах. потенциала 7 на входе в линзу.

Кривые 3-а и 3-б — предельная эффективная высота щели, определяемая величиной поля зрения анализатора, Данные графиков на фиг.4 получены для линзы, замедляющей электроны в

16 раз и при постоянной ширине проме,жуточного электрода S = 6,1d. Из графиков видно, что при каждом R есть два значения R<, которые при соответствующей величине U< обеспечивают требуемую фокусировку.

Более того, точкой M пересечения кривых 1-а и 1-б определяется единая трехэлектродная система, позволяющая линь некоторым изменением потенциала V перейти из одного режима в другой. Один из них, как это видно из фиг.4, обеспечивает большее поле зрения, но зато второй, как это будет показано — большую светосилу.

Отметим, что вклад аберраций линзы в разрешение спектрометра в обоих

34550 10 режимах невелик, Уширение приборной

1 линии, обуслс>вленное коэффициентами

С < и С, в обоих режимах менее 0,02Х, Таким образом, графики фиг.4 иллюстрируют процесс с;птимизации конструкции линзы с целью обеспечения единой трехэлектродной системой линзы двух различных режимов работы

Подобные расчеты выполнены для ряда семейств линз с постоянным S.

Для каждого семейства, как и на фиг.

4, найдена точка M. Параметры анали)5 затора, соответствующие этой точке, приведены на фиг.5. Здесь показано, как с изменением H меняется светосила анализатора Q.(кривые 1-а и 1-б), предельная эффективная высота элект20 ронно-оптического объекта Ь „ (кривые 2-а и 2-б) и вклад ДБ аберраций коллиматорной и фокусирулцей линз в разрешение спектрометра (кривые 3-а и 3-б). Из кривых видно, что при

25 Я = 6,16 в одном из режимов наблюдается максимум светосилы анализатора, хотя величина h при этом невелика.

При том же S во втором режиме обеспечивается значительная высота пред30 мета 0,35d. Если как и в известном спектрометре> выбрать и = 12 мм, то такое значение Ь„ удовлетворяет поставленным при расчете анализатора требованиям. Таким образом, определились два режима работы анализатора. Была выбрана линза с шириной промежуточного электрода S = 6,1с1, что обеспечивает оптимальное значение светосилы в одном из режимов, а в другом — высоту электронно-оптического объекта h удовлетворяющую поставленным требованиям. Радиусы кривизны щелей этой линзы равны

5,606 и 9,956. Она обеспечивает два режима работы анализатора при двух значениях U = 0,273 7 и V

= 0,178Vo.

Режим с наибольшей светосилой анализатора реализуется при подапотенциала большего, чем потенциалы на крайних электродах. В этой линзе используется одна из найденных уже щелей, а именно щель с радиусом кривизны 5,60d, Изменяя ширину $ ее промежуточного электрода и подбирая кривизну ее второй щели и потенциал

V<, обеспечивающие требуемую фокусировку анализатора, можно показать подобно тому, как это было сделано на фиг.5, что максимальная светосила анализатора достигается при S = — 1,51. При этом . Q = 1,4_#_ от 2, V< — — 3,8 V,à эффективная высота электронно-оптического объекта h я =

= 0,0256. Радиус кривизны второй щели этой линзы составил 6,96d. Та-ким образом, была найдена конструкция линзы, обеспечивающая максимальную светосилу спектрометра.

Подобные расчеты были выполнены, чтобы найти одиночную линзу. В качестве ее первой щели использована ранее найденная щель с радиусом кривизны 9,956, У одиночной линзы сферические аберрации имеют существенную величину. Поэтому ее расчет ставился так, чтобы минимизировать эти аберрации. На фиг,6 приведены результаты выполненных расчетов. По оси абсцисс здесь отложена ширина

Я промежуточного электрода одиночной линзы.. Кривая 1 описывает величину радиуса кривизны второй щели этой линзы, а кривая 2 — потенциал на ее промежуточном электроде, обеспечивающие требуемую фокусировку.

Кривая 3 характеризует изменение ко-" 30 эффициента аберрации С, а кривая 4 коэффициента С с изменением Я;

В соответствии с данными фиг.6 в качестве оциночной была выбрана линза с Я = 2,56, для которой С = О (С с изменением Я меняется мало, а его вклад в разрешение невелик). Потенциал V для такой линзы составил

V = 4,50 V . Радиус кривизны второй щели 7,28d. Светосила анализато- 40 ра в этом режиме составляет 0,2 от

2и», а предельная высота электроннооптического объекта 0,33й„

Таким образом, был завершен выбор геометрических размеров элементов 45 энергоанализатора. Придерживаясь обозначений фиг.2, прюзедем эти размеры.

Протяженность электродов линзы, отсчитанная по электронно-оптической оси: электрод 4- 2,5d, 5 — 4,60d, 6 — 50

1,5d. Радиусы кривизны щелевых зазоров между электродами: 7 и 6 — 5, 60d, 6 и

5 — 6,691,5 и 4 — 9,95d,4 и 3 -7,7d. Все центры кривизны коллимирующих электродов расположены между щелью 8 и соответствующим зазором. Фокусирующее плечо спектрометра имеет аналогичные размеры. Потенциалы 7, на электродах анализатора, отнесенные к по1534550 12 тенциалу / на его выходе и входе, даны для всех режимов. Отметим, что, как обычно, равным нулю считается потенциал той точки пространства, в которой кинетическая энергия частиц равна нулю. Электроды 7 и 7а предполагаются соединенными с источником анализируемых частиц, т.е ° потенциал V численно равен энергии этих частиц Е

Наконец, покажем еще одну возможность использования изобретения для управления параметрами спектрометра без изменения его конструкции. Описанный трехэлектродный вариант линзы с потенциалом 7 на промежуточном электроде, превосходящим по величине потенциалы на крайних электродах линзы, обеспечивает большое значение светосилы спектрометра, но поле зрения анализатора при этом невелико.

Используя рассчитанную линзу как многоэлектродную, можно существенно .увеличить эффективный размер элект-ронно-оптического объекта. Эта возможность показана результатами расчетов, приведенными на фиг.7.

Здесь по оси абсцисс отложен по.тенциал У4 на электроде 4 (согласно обозначениям фиг.2), а графики показывают, как в зависимости от Vg должны изменяться потенциалы V6 (кривая

1) и V> {кривая 2) на электродах 6 и

5 соответственно, чтобы сохранить фокусировку. Из кривои 3, описываю щей изменение светосилы прибора, видно, что светосила с изменением 7» меняется незначительно. Также незначительно меняется вклад аберраций линз Q R в разрешение прибора (кривая 5). А эффективная высота h oáüeêта .(кривая 4) при изменении V4/V, от 0,0625, что соответствует трехэлектродному режиму работы линзы, до

0,11 приводит к увеличению h c

0,0256 до 0,086, т.е. более чем в

3 раза. Таким образом, может быть рекомендован к использованию еще один режим работы спектрометра с большой светосилой и сравнительно большими размерами электронно-оптическо.го объекта, а именно режим, соответствующий данным фиг.7 при V

0,110. Еще больше поднять размеры таким путем в данной конструкции не удается, так как.увеличение V /V

l3 15 более 0,12 приводит к некорректируемой расстройке линзы, Отметим еще, что во всех режимах, рассчитанных для работы спектрометра в области больших энергий, вклад аберраций в разрешение не превышал 0,01% для режимов 2,3, и 5 и 0,02% для режима 1. Т.е. в рассчитанном спектрометре при соответствующем уменьшении ширины щелей источника и приемника частиц достигается сверхвысокое разрешение - до 0,02%, что также согласуется с поставленными требованиями.

Для реализации всех режимов работы переключатель должен обеспечивать коммутацию по схеме, изображенной на фиг.2.

При этом сопротивления, входящие в делитель напряжения (ДН), рассчитанный в соответствии с требованиями (lа) и (2), должны иметь величину г = 1,937 10 R, г = 3,205 10 R, r> = 1,202 10 R, rq = 9,082 10 R, r = 1,269 10 R, rq = 2,658 10 R, r = 7,052 10 R, г = 1,028 10 Я, г, = 2,711.10 R, r671 10 Нэ г 9,082 10 R, r„ 4 074 10 где В - полное сопротивление ДН, Формула изобретения

Электронный спек трометр, содержа- щий регулируемый источник питания, 34550 источники ионизации, расположенные на входе электростатического эгергоанализатора призменного типа, с диспергирующей частью, выполненной в виде электронной призмы, и коллимирующей и фо-. кусирующей частями, выполненными в ниде электронных линз, образованных. электродами, выполненными в виде последовательно расположенных пар плоских параллельных одна другой пластин, симметричных относительно продольной плоскости энергоанализатора, разделенных криволинейными зазорами, и расположенный на выходе электростатического энергоанализатора приемник электронов с щелевыми зазорами, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения аналитических

20 воэможностей спектрометра, увеличения его чувствительности и разрешающей способности, в него введен переключатель режимов работы, причем криволинейные щелевые зазоры выполне25 ны по дугам, представляющим собой кривые второго порядка, центры кривизны или эволюты которых разнесены друг относительно друга вдоль электронно-оптической оси, а электроды

30. энергоанализатора подключены к регулируемому источнику электрического питания через переключатель режимов работы спектрометра. (534550 вд1,Ю е, fir У В Я В1 Д(ю

1534550

8 8

Ю . 7Г 74 5

Ez/

Фиг. 4

Е8 80 8Z 44

8/Ф

Щг.5

Юа/4

5938% ds

Ю г, d

10 Vg/ Yy

fQhp/Ф

C< 6 Рр/ d

fg/ Yg/Ь

ИО 10! 534550

Yg

1Ож

Щ ф

Vy

А,% eel 10hn

d цОО 0 1д

Ь«/6

ЦЗИ. 7

Составитель Н. Катинова

Редактор В. Данко Техред J1.Сердюкова Корректор М, Пожо

Заказ 281

Тираж 399

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101