Сканирующий предметный столик для систем автоматического контроля параметров полупроводниковых пластин
Изобретение относится к приборостроению и предназначено для использования в системах автоматического контроля полупроводниковых пластин в массовом производстве. Цель изобретения - повышение быстродействия и точности позиционирования пластины. Блок 14 управления включает приводы 12, 13, которые осуществляют перемещение пластины 11 по осям X, Y. Далее сигнал с блока 14 управления поступает на катушку 8 индуктивности, которая, взаимодействуя с магнитным полем постоянного магнита 7, перемещает шток 9 с держателем 10 полупроводниковой пластины 11 вдоль оси Z на позицию измерения. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ . РЕСПУБЛИК (19) (11) (51)5 G 02 В 26 10
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
1 (21) 4283484/24-10 (22) 26.05.87 (46) 15.01.90. Бюл. 4 2 (72) А.Н.Седов (53 ) 621.396 ° 965(088 ° 8) (56) Проспект фирмы "Leitz" (фРГ).
Automofic Film Thickness Neasurement
System for Thin, Transparent
Sayers, 1985.(54) СКАНИРУИЯИЙ ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК
ДЛЯ СИСТЕМ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ
ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к приборостроению и предназначено для использо2 вания в .системах автоматического контроля полупроводниковых пластин в массовом производстве. Цель изобретенияповышение быстродействия и точности позиционирования пластины. Блок 14 управления включает приводы 12, 13, которые осуществляют перемещение пластины 11 по осям Х,Y., Далее сигнал сблока 14 управления поступает на катушку 8 индуктивности, которая, взаимодействуя с магнитным полем постоянного магнита 7, перемещает шток 9 с держателем 10 полупроводниковой пластины 11 вдоль оси Е на позицию измерения. 1 ил.
1536344
Формула изобретения
Сканирующий предметный столик для систем автоматического контроля параметров полупроводниковых пластин, содержащий установленные на основании две каретки, размещенные одна над другой, с приводом для их перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, привод вертикального перемещения кареток„ держатель пластины, закрепленный на одной иэ кареток, блок управления, связанный с приводами перемещения кареток, о т л ич а ю шийся тем„ что, с целью повышения быстродействия и точности позиционирования пластины, дополнительно введены шток, катушка индуктивности, постоянный магнит, при этом держатель пластины размещен на штоке, жестко закрепленном на катушке индуктивности, размещенной в зазоре постоянного магнита, причем катушка индуктивности подключена к блоку управления, а шток и магнит размещены в корпусе, жестко закрепленном на каретке. шин
Корректор В,Гирняк
Заказ 107 Тираж 443 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина,101
Изобретение относится к приборо- . троению и предназначено для использования в системах автоматического: контроля полупроводниковых пластин в массовом производстве.
Цель изобретения- повышение быстродействия и точности позиционирования пластины.
На чертеже представлено предлагае- 10 мое устройство.
Сканирующий предметный столик для систем автоматического контроля параметров.полупроводниковых пластин содержит основание 1, на котором в,направляющих 2 установлена каретка 3 с направляющими 4, в ко торых установлена каретка 5„ На карет.ке 5 неподвижно закреплен корпус 6, в котором размещен кольцевой постоян-20 ,ный магнит 7, в зазоре которого разме щена катушка 8 индуктивности. На ка,тушке 8 индуктивности закреплен шток 9 с держателем 10 пластины 11. Столик содержит приводы 12,13 перемещения кареток 3,5 во взаимно перпендикулярных направлениях (по осям Х,7).
Катушка 8 индуктивности и приводы 12, 13 подключены к блоку 14 управления. ! ,йля поворота штока 9 с держателем 10 пластины 11 предусмотрен микрометрический винт.
Устройство работает следующим образом.
В исходном состоянии каретки 3,5 занимают крайнее положение, при кото- З ром шток 9 с держателем 10 опущен.
В этом положении контролируемая полупроводниковая пластина 11 с транспортных или загрузочно-разгрузочных моду40 лей системы автоматически подаются на держатель 10, где фиксируются посред" ством вакуума. Ьлок 14 управления включает приводы 12,13, осуществляющие перемещение пластины 11 по координатам Х,У. Затем блок 14 управления формирует сигнал на включение катушки 8 индуктивности. В результате про" текания через катушку тока, ваэимодействующего с магнитным полем постоянного магнита 7, возникает ЭДС элект-
„50 ромагнитной индукции, перемещая катушСоставитель С. Оре
Редактор И.Циткина Техред N.Äèäbtê ку 8 индуктивности со штоком 9 и дер;. жателем 10 пластины вдопь оси Е на позицию измерения. При достижении заданного расстояния между контролируемой пластиной 11 и измерительным средством осуществляется измерение требуемого параметра пластины. По окончании процесса измерения посредством приводов 12,13 осуществляется перемещение пластины 11 относительно измерительного средства по координатам Х,Y и-выбор другой точки измерения. При этом осуществляется поддержание постоянного расстояния между пластиной 11 и измерительным средством.
По окончании процесса измерения блок 14 управления формирует сигналы на перемещение кареток 3,5, штока 9 с держателем 10 пластины 11 в исходное положение. Пластина 11 автоматически перегружается на другую позицию, а на ее место загружается следующая пластина.
