Устройство для фильтрации жидкостей

 

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике для подготовки жидких сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем. Цель изобретения - повышение качества фильтрации агрессивных жидкостей с удельной плотностью более 1,5 г/см<SP POS="POST">3</SP>, повышение надежности устройства, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром пор 0,2 мкм ми в нем последовательно расположенными фильтром и нагревательным элементом. Перед фильтром установлен дополнительный нагревательный элемент, а между фильтром и дополнительным нагревательным элементом - датчик температуры, включенный в схему управления дополнительного нагревательного элемента. С целью предохранения фильтра от перегрева между ним и нагревательным элементом установлен термоизолирующий экран. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51) 5 В 01 D 35/18

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ТОРСНОМУ СИИ ТЕПЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4421947/23-26 (22) 07.05.88 (46) 15.02.90. Бюл. № 6 (72) А. С. Брайнес, P. М. Безсалько, В. В. Калачев, В. Ф. Заболотнов, H. Д. Пешиков и В. П. Сорока (53) 66.067.362 (088.8) (56) Патент США № 4588603, кл. В Oi D 35/18, 1986.

Патент ФРГ № 3512361, кл. В О! D,35/18., 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФИЛЬТРАЦИИ

)КИДКОСТЕЙ (57) Изобретение может быть использоваНо в микроэлектронике для подготовки жидких сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем. Цель

Изобретение относится к устройствам для фильтрации жидкостей и может быть использовано в микроэлектронике для подготовки сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем.

Целью изобретения является повышение качества фильтрации, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром пор 0,2 мкм и менее и повышение надежности устройства.

1-1а чертеже приведено устройство, общий вид.

Устройство для фильтрации жидкостей содержит корпус с размещенными в нем нагревательным элементом 2 и фильтром

3 и патрубками входа 4 и выхода 5. Перед фильтром установлены дополнительные нагревательный элемент 6 и датчик 7 температуры, включенный в схему управления (не показано) дополн ител ьного на грев ател ьного элемента б.."ля предохранения фильтра от

„„SU,„, 154258Î изобретения — повышени . качества фильтрации агрессивных жидкостеи с удел ной плотностью более 1,5 г/см . повышение надежности устройства, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром пор 0,2 мкм и мене .. Устройство содержит корпус с размещенными в нем последовательно расположенными фильтром и нагревательным элементом. Перед фильтром установлен дополнительный нагревательный элемент, а между фильтром и дополнительным на1-ревательным элементом датчик температур .ь включенный в схему управления дополнителыгого нагревательи оro элемента. С целью предохранения фильтра от перегрева между ним и нагреватель ным элементом установлен термоизолирую щий экран. 1 з. и. р-лы, I ил.

1 М 4л перегрева под действием нагревательного элемента 2 между ними установлен проница- 1 емый для жидкости термоизолирующнй 4 экран 8, выполненный в виде перфорированной мембраны, в отверст :ях которой фи- р льтруемая жидкость течет с увеличенной скоростью в направлении патрубка 5 Bblxoда. Образующийся при этом перепад давле- С» ния по обе стороны экрана препятствует движению жидкости от нагревательного эле-мента 2 в сторону фильтра 3.

Устройство работает следующим образом. ."В

Исходная жидкость поступает в корпус через патрубок 4 и, проходя через нагревательный элемент 6, нагревается до заданной температуры, контролируемой jàò÷èê<ë 7.

Далее нагретая жидкость проходит через фильтр 3, где очищается от механических примесей, и теплоизолирующий экр; н 8. За экраном 8 жидкость дополнительно иагрева1542580

Формула изобретения

Составитель А. Евдокимов

Редактор М. Бандура Техред И; Верес Корректор М. Самборская

Заказ 360 Тираж 572 Подписное

ВНИИГ!И Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР ! 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Рву шская наб., д. 4/5

Производственно-изда |ельский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, )0!

3 ется элементом 2 и через патрубок 5 выводится из устройства.

Необходимый уровень температуры отфильтрованной жидкости, выходящей через патрубок 5, обеспечивается нагревательным элементом 2, установленным за фильтром 3.

Применение устройства для фильтрации жидкостей обеспечивает повышение качества фильтрации, в частности, кислот с удель- 10 ной плотностью более 1,5 г/см (например, . ортофосфорной, серной и др.) при размере

, пор фильтра 0,2 и менее мкм, повышение надежности устройства за счет уменьшения вязкости кислот и уменьшения перепада давления на фильтре, а также позволит снизить в 3 — 4 раза мощность привода на прокачку фильтруемой жидкости.

1. Устройство для фильтрации жидкостей, содержащее корпуо с размещенными в нем фильтром и нагревательным элементом и патрубками входа и выхода жидкости, отличающееся тем, что, с целью повышения качества фильтрации и надежности снижения мощности на прокачку жидкости через фильтр, оно снабжено дополнительным нагревательным элементом и датчиком температуры, при этом дополнительный элемент установлен перед фильтром, а датчик размещен между ними и взаимодействует с дополнительным нагревательным элементом.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оно снабжено теплоизолирующим экраном, размещенным между фильтром и нагревательным элементом.