Способ сборки кремниевого акселерометра
Способ сборки кремниевого акселерометра, заключающийся в последовательном сопряжении друг с другом элементов акселерометра и взаимной их фиксации, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности сборки и снижения себестоимости производства, последовательное сопряжение друг с другом элементов акселерометра и взаимную их фиксацию проводят в деионизированной воде, а после взаимной фиксации элементов удаляют из акселерометра остатки жидкости просушиванием при повышенной температуре.
Похожие патенты:
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Состав для полирования силленитов // 1565298
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полевых транзисторов, работающих на частотах в несколько десятков гигагерц
Твердый планарный источник диффузии фосфора // 1563507
Изобретение относится к технологии интегральных схем, в частности к конструкции твердых планарных источников диффузии фосфора, которые применяются для выполнения технологических процессов диффузии при создании эмиттерных областей активных элементов, стабилизации окисла фосфорно-силикатным стеклом, легирования сток-истоковых областей МДП-транзисторов, легирования поликремния и т.д
Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов и может быть использовано для изготовления кремниевых p - n-переходов, работающих в области лавинного пробоя
Изобретение относится к измерениям электрофизических параметров полупроводников и может быть использовано для контроля дефектности ионно-легированных слоев полупроводника, и частности, при легировании малыми дозами
Способ очистки поверхности арсенида галлия // 1559980
Изобретение относится к полупроводниковой технике, а именно к получению поверхностей арсенида галлия без углеродсодержащих загрязнений
Изобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть использовано при формировании СБИС ЗУ на арсениде галлия
Способ исследования виброустойчивости маятникового акселерометра и устройство для его осуществления // 1559295
Изобретение относится к приборостроению, в частности к способам испытания измерителей линейных ускорений
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для определения динамических характеристик компенсационных акселерометров на двойной центрифуге
Изобретение относится к измерительной технике
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для статической и динамической градуировки преобразователей скорости
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для проведения контрольно-измерительных поверок анемометров
Изобретение относится к измерительной технике и метрологии и может быть использовано для градуировки датчиков скорости
Изобретение относится к испытательной технике, в частности к устройствам для градуировки акселерометров
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к средствам контроля измерителей угловых скоростей (ИУС)
