Устройство для испытания полупроводниковых чувствительных элементов датчиков давления

 

Изобретение относится к области измерительной техники и позволяет расширить эксплуатационные возможности устройства для испытания полупроводниковых чувствительных элементов датчиков давления. Для этого устройство имеет в корпусе 1 воздушный канал 5, связанный с источником давления, и систему регулирования температуры корпуса 1, содержащую термочувствительный элемент 4, задатчик температуры, измеритель-регулятор, регулируемый источник тока и нагреватель 14. Устройство обеспечивает испытание полупроводникового чувствительного элемента, установленного на корпус 1, путем комплексного воздействия на него давления и повышенной температуры. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ .

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

-РЕСПУБЛИК (51)5 G 01 L 27/00

ГООУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ . К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4425416/24-10 (22) 17.05.88

{46) 07.06.90. Бюл. Р 21 (72) П. Г. Михайлов, С. А. Козин и К. И. Афанасьев

{53) 531.787(088.8) (56) Заявка Японии У 60-223148, кл. Н 01 ? 23/48, 1985.

{54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к области измерительной техники и позволяет расширить эксплуатационные возможности устройства для испытания полупро..80„„!569634 А 1

2 водниковых чувствительных элементов датчиков давления. Для этого устройство имеет в корпусе 1 воздушный канал 5, связанный с источником давления, и систему ре.гулирования температуры корпуса 1, содержащую термочувс гвительный элемент 4, задатчик температуры, измеритель-регулятор, регулируемый источник тока и нагреватель 14.

Устройство обеспечивает испытание по-. лупроводникового чувствительного элемента, установленного на корпус 1, путем комплексного воздействия на него давления и повышенной температуры.

2 ил.

1569634

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при изготовлении малогабаритных датчиков неэлектрических ве5 личин (давления, параметров движения).

Целью изобретения является расширение эксплуатационных воэможностей устройства.

На фиг. 1 изображено устройство, 1р общий вид; на фиг. 2 — структурная схема настройки чувствительного элемента.

Устройство содержит корпус 1 с опорной поверхностью 2, в котором размещена электрическая обмотка 3 и термочувствительный элемент 4. В кор пусе 1 сформирован воздушный канал 5, один конец которого выведен на опорную поверхность 2, на которой устано- . 2p влен испытуемый чувствительный элемент 6, а другой его конец сообщен с источником 7 давления. Между источником 7 давления и каналом 5 размещены регулятор 8 давления и измеритель 9 25 давления. Термочувствительный элемент

4 подключен к сравнивающему элементу .

10, к которому подключен также задатчик 11 температуры. Выход сравнивающего элемента 10 подключен к измери- 3р телю-регулятору 12, к которому подсоединен регулируемый источник 13 тока, . выдающий ток на обогрев корпуса 1 с помощью нагревателя 14.

Устройство работает следующим образом.

При установке испытуемого чувствительного элемента 6, имеющего на непланарной стороне пленку из ферромаг- 40 нитного материала, и подачи напряжения на обмотку 3 чувствительный элемент 6 притягивается к опорной поверхности 2 корпуса 1, а по каналу 5 от источника 7 давления через регулятор 45

8 давления подается испытательное давление, которое контролируется измерителем 9 давления.

Одновременно с испытательным дав лением подается на нагреватель 14 с регулируемого источника 13 тока выходная величина У., в качестве которой может быть ток или напряжение, вызывающая нагрев корпуса 1 до температуры и и, соответственно, чувствительного элемента 6. Информация о текущей температуре t с термочувствительного элемента 4 поступает в виде. сигнала Х и подается на сравнивающий элемент 10, где сравнивается с сигналом, поступающим с задатчика 11 температуры; разница поступает на измеритель-регулятор 12, который управляет регулируемым источником 13 тока °

По результатам испытаний чувствительного элемента судят о, его эксплуатационных характеристиках.

Преимуществом предлагаемого устройства является расширение функциональных возможностей И повышение эксплуатационной надежности датчиков за счет комплексного испытания отдельных чувствительных элементов до установки их в датчик.

Формула из обре тени ь

Устройство для испытания полупроводниковых чувствительных элементов датчиков давления, содержащее ферромагнитный корпус с электромагнитной обмоткой, соединенной с источником питания, при этом на корпусе выполнена опорная поверхность для установки чувствительного элемента, о т л и— чающее с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, в него введена система регулирования температуры корпуса, включающая установленные в корпусе электронагреватель и термочувствительный элемент, сравнивающий элемент, задатчик и измеритель температуры, и регулируемый источник тока, при этом термочувствительный элемент и задатчик температуры подключены к сравнивающему элементу, соединенному с измерителем температуры, выход которого подключен к ре гулируемому источнику тока„ соединенному с нагревателем, а также в устройство введен источник давления, при этом в корпусе выполнен канал, один конец которого выведен на опорную поверхность корпуса в месте установки чувствительного элемента, а другой его конец сообщен с источником давления °

1 569634

Составитель Л. Петров

Редактор А. Шандор Техред Л. Сердокова Корректор M. Шаро i

Заказ 1440 Тираж 461 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101