Устройство для перемещения зеркала интерферометра

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих интерферометрах для перемещения зеркал. Цель изобретения является расширение области применения за счет ограничения числа степеней свободы зеркала интерферометра. При измерении задают приводному двигателю 5 периодическое движение с заданной частотой и амплитудой, которое через шестерню 4 передается на обойму 3 шарикоподшипника и далее через упругие наклонные стержни 6 на кольцо 7, и через упругие наклонные стержни 8 на кольцо 9 с зеркалом 10 интерферометра. Благодаря направляющему пазу 13 и штоку 11 зеркало 10 перемещается в осевом направлении без вращения в плоскости отражающей поверхности. 2 ил.

СОЮЗ СООЕТСНИХ

Л ЮП

РЕСПУБЛИК ($3)$ G 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ rHHT СССР

1 (2,1) 4607623/25-28 (22) 24.10.88 (46) 23.07.90. Бюл. № 27 (72) И.Н.Степаненков (53) 531.717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1337651, кл. G 01 В 9/02, 1984. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ЗЕРКАЛА ИНТЕРФЕРОМЕТРА (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих интерферометрах для перемещения зеркала. Целью изобретения является расширение области, SU„, 1580157 А1

2 применения за счет ограничения числа степеней свободы зеркала интерферометра. При измерении задаю-, приводному двигателю 5 периодическое движение с заданной частотой и амплитудой, которое через шестерню 4 передается на обойму 3 шарикоподшипника и далее через упругие наклонные стержни 6 на кольцо 7, и через упругие наклонные стержни 8 на кольцо 9 с зеркалом 10 интерферометра. Благодаря направляющему пазу 13 и штоку 11 зеркало 10 перемещается в осевом направлении без вращения в плоскости отражающей поверхности. 2 ил.

1580157

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих интерферометрах для перемещения зеркала.

Целью изобретения является расширение области применения.

На фиг. 1 показана схема устройства для перемещения зеркала интерферометра; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.

Устройство содержит основание 1, закрепленную на нем наружную обойму

2 шарикоподшипника, закрепленную на внутренней обойме 3 шестерню 4, приводной двигатель 5, упругие стержни

6, наклонно закрепленные на обойме

3, закрепленное на стержнях 6 кольцо 7 с наклонно закрепленными дополнительными упругими стержнями 8, закрепленное на стержнях 8 дополнительное кольцо 9, закрепленные на кольце 9 зеркало 10 и шток 11 со сферическим наконечником 12, размещенным в пазу 13. Угловые перемещения кольца 7 и обоймы 3 выбирают иэ соотношения

J+ Е где (g — угловое перемещение обоймы 3; угловое перемещение кольца 7;

I — - жесткость стержней 8;

J — - жесткость стержней 6.

Благодаря пазу 13 и наклонному закреплению стержней 6 и 8 угловые ( перемещения кольца 7 сопровождаются осевым перемещением, котороЕ определяют по формуле где R . — радиус окружности, на которой размещены стержни 6; о(- угол наклона стержней 6 к

1 оси обоймы 3.

Угловые перемещения кольца 7 обеспечивают осевое перемещение кольца 9, которое определяют по формуле

Н2 R2 1(R 0(2 в где R> — радиус окружности, на которой размещены стержни 8;

o(2 - угол наклона стержней 8 к оси обоймы 3., Осевое перемещение зеркала 10 определяется разностью перемещений

Н и Н . и обеспечивает сканирование

5 по прямолинейной траектории и строгую ориентацию различных эон зеркала

10 относительно оптической оси, Устройство работает следующим образом.

Задают приводному двигателю 5 периодическое движение с заданной частотой и амплитудой, которое через шестерню 4 передается на обойму 3 и далее через упругие стержни 6 на кольцо 7, и через упругие стержни 8 на кольцо 9 с зеркалом 10. При этом благодаря направляющему пазу 13 и штоку 11 зеркало 10 перемещается в осевом направлении без вращения в плоскости отражающей поверхности.

Формула изобретения

Устройство для перемещения зеркала интерферометра, содержащее основание, закрепленную на нем наружную обойму шарикоподшипника, закрепленную на внутренней обойме шарикоподшипника шестерню, закрепленный на основании приводной двигатель, кинематически связанный с шестерней, упругие стержни, закрепленные равномерно по окружности одними концами на внутренней обойме наклонно к ее оси, два кольца, установленные по разные стороны от внутренней обоймы соосно с ней, одно из колец закреплено на других концах упругих стержней, идентичные основным дополнительные упругие стержни, однц концы которых закреплены на втором кольце, и зеркало с рабочей поверхностью, перпендикуляр-. ной к оси внутренней обоймы, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения области применения, оно

45 снабжено радиально закрепленным на втором кольце штоком со сферическим наконечником, размещенным в направ ляющем пазу, который выполнен на основании параллельно оси внутренней обоймы, другие концы дополнительных упругих стержней коаксиально закреплены на основном кольце, а зеркало закреплено на втором кольце.

1580157

Фиг 2

Составитель В.Харитонов

Техред М.Ходанич Корректор М.яароши

Редактор Н.Лазаренко

Заказ 2003 Тираж 490 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r Ужгород, ул. Гагарина, 101