Интерферометр для измерения линейных перемещений

 

Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к интерферометрам для измерения малых (0,5 мкм) перемещений. Цель изобретения - уменьшение габаритов и повышение точности измерения за счет размещения компонентов интерферометра по оси светового пучка и возможности доводки измерительных импульсов до максимального значения. Световой пучок, формируемый источником 1 света, делится полупрозрачным зеркалом 2 на опорный пучок, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и измерительный пучок, отраженный от нее. Измерительный пучок отражается от отражателя 5 и соединяется с опорным на полупрозрачной поверхности зеркала 3. При перемещении отражателя 5 по оси Y в зоне приемника 6 света формируется интерференционная картина в виде чередующихся темных и светлых полос. Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально величине перемещения отражателя 5. Источник 1 света, зеркала 2 и 3 и приемник 6 света расположен на одной оси, а плоскопараллельная пластина 4 установлена с возможностью поворота относительно этой оси. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я0„„157 4 щ) G 01 В 9/02, 11/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTOPCHÎMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СЛ

Q0 ьф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 436138Q/25-28 (22) 08.01.88 (46) 15.07.90. Бюл. № 26 (72) В.И.Кокоулин и Д.Ю.Соколов (53) 531. 715. 1 (088.8) (56) Коломийцев Ю.В. Интерферометры.

Основы инженерной теории. Применение. — Л.: Машиностроение, 1976, с. 192, 193, рис. 90. (54) ИПТЕРФЕРОМЕТР ЛЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к интерферометрам для измерения малых (0,5 мкм) перемещений. Цель изобретения уменьшение габаритов и повышение точности измерения за счет резмещения компонентов интерферометра по оси светового пучка и возможности доводки измерительных импульсов до максимального значения. Световой

2 пучок, формируемый источником 1 света, делится полупрозрачным зеркалом

2 на опорный пучок, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и измерительный пучок, отраженный от нее. Измерительный пучок отражается от отражателя 5 и соединяется с опорным на полупрозрачной псверхности зеркала 3. При перемещении отражателя 5 по оси У в зоне приемника б света формируется интерференционная картина в виде чередующихся темных и светлых полос. Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально величине перемешения отражателя 5. Источник 1 света, зеркала 2 и 3 и приемник 6 света расположены на одной оси, а плоско-, параллельная пластина 4 установлена с возможностью поворота относительно этой оси. 1 ил.

1578457

Составитель Л.Лобзова

Редактор Л. Пчолинская Техред Л. Сердюкова. Корректор M. Кучерявая

Заказ 1905 Тираж 500 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР .113035, Москва, И-35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к интерферометрам для измерения малых (0,5 мкм) перемецений.

Цель изобретения — уменьшение габаритов и повышение точности изменения за с . ет размещения компонентов интерферометра по оси светового пучка и за счет возможности доводки измерительных импульсов до максимального значения.

На чертеже изображена принципиальм ная сх ма интерферометра для измерения линейных перемещений, Интерфербметр содержит оптически связанные источник 1 света, полупрозрачные зеркала 2 и 3, оптически прозрачную плоскопараллельную пластину 4, уголковый отражатель 5, который может состоять как иэ двух, так и из трех отражающих поверхностей, и приемник 6 света.

Интерферометр работает следующим образом.

Световой пучок, формируемый источ ником 1 света, делится полупрозрачным зеркалом 2 на опорный, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и на измерительный, отраженный от нее. Измерительный пучок . отражается от отражателя 5 и соединяется с опорным на полупрозрачной поверхности зеркала 3. При перемещении отражателя 5 по оси У в зоне приемника 6 света формируется интер.ференционная картина в виде чередующихся темных и светлых полос (пятен).

Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально величине перемещения отражателя 5.

Плоскопараллельная пластина 4 необходима для финишного совмещения опорного и отраженного лучей на. приемнике 6 света, так как юстировочная подвижка зеркал 2 и 3 и уголкового отражателя 5 приводит одновременно как к смещению опорного и измеритель- ного. лучей параллельно друг другу, 1ð так и к изменению угла между ними.

Плоскопараллельная пластина 4 перемещается при юстировке, разворачивая:b относительно оптической оси интерферометра. Описанная схема позволяет более качественно отъюстировать интерферометр, а также проводить оперативную лодъюстировку с целью компенсации, например, темпер;турных деформаций в процессе ра20 боты. В результате амплитуду измерительных импульсов удается довести до максимального значения и, соответственно, повысить точность измерения.

25 Формула изобретения

Интерферометр для измерения линейных перемещений, содержащий оптически связанные источник света, два полупрозрачных зеркала, расположен30 ные во взаимно перпендикулярных плоскостях, и приемник света, о т .— л и ч а ю шийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и повышения точности измерения, он снабжен плоскопараллельной пластиной, расположенной между зеркалами, источник света, зеркала и приемник света расположены на одной оси, а плоскопараллельная пластина установлена с

40 возможностью поворота относительно этой оси.