Способ изготовления толстопленочных резисторов

 

Способ изготовления толстопленочных резисторов, включающий формирование на диэлектрической подложке резистивного элемента, термическую обработку, ионную очистку поверхности резистивного элемента и создание контактов к нему, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности за счет снижения и стабилизации величины, контактного сопротивления, ионную очистку поверхности резистивного элемента проводят при напряжении пучка ионов 2 - 4 кВ и плотности потока ионов 6 - 10мА/см2 в течение 0,5 - 4 ч.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве резисторов
Резистор // 1545825

Изобретение относится к производству радиодеталей и может быть использовано для окраски резисторов, конденсаторов и других радиодеталей цилиндрической формы с осевыми выводами

Изобретение относится к производству электрорадиоэлементов, а именно к устройствам для изготовления потенциометров
Резистор // 1524732
Резистор // 1521139
Изобретение относится к технике изготовления резисторов, в частности прецизионных резисторов для электроизмерительных приборов

Изобретение относится к области микроэлектроники

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при производстве резистивных элементов

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры

Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении изделий с пленочными резистивными элементами, входящими в состав приемопередающих устройств, систем обработки сигналов и датчиков различного функционального назначения

Изобретение относится к электротехнике, в частности к электропроводным материалам, и может быть использовано для изготовления нелинейных регисторов, применяемых, например, в устройствах, предназначенных для защиты от перенапряжений

Изобретение относится к средствам нагрева и может быть использовано в промышленности и в быту

Изобретение относится к области электротехники, а именно к переменным резисторам
Наверх