Устройство для измерения давления в электровакуумном приборе

 

Изобретение относится к вакуумметрии и может быть использовано при измерении давления в электровакуумных приборах. Целью изобретения является повышение чувствительности измерений путем увеличения помехозащищенности. Устройство содержит источник 1 накала катода, источник 3 ускоряющего напряжения, клемму 4, управляемый блок 5 компенсации фонового тока, клемму 6, управляемый запоминающий вольтметр 7, источник 8 смещения катода, клемму 9, управляемый интегратор 10 электронного тока, компараторы 11 и 12, интегратор 13 ионного тока. Устройство позволяет увеличить чувствительность при измерении давления в приборах и, как следствие, повысить производительность. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

СВОЗ CGBETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 Н Ol J 9/42 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

;ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

:ПРИ ГКНТ СССР (21) 4475470/24-21

1 (22) 21.06.88 (46) 07.08.90. Бюл. № 29 (71) Рязанский радиотехнический институт (72) В. А. Коротченко и В. Э. Скворцов (53) 621.521(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ро 656126, кл. Н Ol Л 9/42, 1976. (54) УСТРОЙСТВО ДЛ Я ИЗМЕ РЕНИ Я (АВЛЕНИЯ В ЭЛЕКТРОВАКУУМНОМ (1РИ БОРЕ (57) Изобретение относится к вакуумметрии может быть использовано при измерении давления в электровакуумных приборах.

„„SU„„1583994 А 1

Целью изобретения является повышение чувствительности измерений путем увеличения помехозащищенности. Устройство содержит источник 1 накала катода, источник 3 ускоряющего напряжения, клемму 4, управляемый блок 5 компенсации фонового тока, клемму б, управляемый запоминающий вольтметр 7, источник 8 смещения катода, клемму 9, управляемый интегратор 10 электронного тока, компараторы I l и 12, интегратор

13 ионного тока, Устройство позволяет увеличить чувствительность при измерении давления в приборах и, как следствие, повысить производительность. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

1583994

Формула изобретения

Составитель Ю. Яресько

Редактор А. Шандор Техред А. Кравчук Корректор С. Черни

Заказ 2258 Тираж 398 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», r Ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумметрии и может быть использовано при измерении давления в элекровакуумных приборах

Целью изобретения является повышение чувствительности измерений путем увеличения помехозащищенности.

На чертеже представлена блок-схема устройства.

Устройство содержит источник 1 накала катода 2, источник 3 ускоряющего напряжения, соединенный с клеммой 4 для подключения управляющего электрода прибора, управляемый блок 5 компенсации фонового тока, вход которого соединен с клеммой 6 для подключения анода прибора, управляемый запоминающий вольтметр 7 и источник 8 смещения катода, первый вывод которого соединен с клеммой 9 для подключения катода. Второй вывод источника 8 смещения катода соединен с измерительным входом управляемого интегратора 10 электронного тока, выход которого соединен с входами первого компаратора 11 и второго компаратора 12. Выход первого компаратора 11 соединен с управляющим входом управляемого запоминающего вольтметра 7, измери-, тельный вход которого соединен с выходом управляемого интегратора 13 ионного тока, измерительный вход которого соединен с клеммой 6 для подключения анода прибора.

Управляющие входы интеграторов 10 и 13 ионного и электронного токов и управляемого блока 5 компенсации фонового тока соединены с выходом второго компаратора

12, вход которого соединен с выходом управляемого интегратора 10 электронного тока, Управляемый блок 5 компенсации фонового тока включен в цепь обратной связи управляемого интегратора 13 ионного тока.

Устройство работает следующим образом.

На электроды прибора подают ускоряющее напряжение от источника 3 и напряжение смещения катода от источника 8. Появляющийся при этом в цепи анода фоновый ток автоматически компенсируется при помощи блока 5 компенсации фонового тока.

Включают источник 1 накала катода. Как только в некоторый момент времени электронный ток превысит значение порога срабатывания второго компаратора 12, на выходе компаратора 12 вырабатывается сигнал, включающий интегратор 10 электронного тока и интегратор 13 ионного тока и память блока 5 компенсации. Порог срабатывания второго компаратора 12 выбирается на несколько порядков ниже номинального значения электронного тока, поэтому ионный

50 ток в первоначальный момент времени практически отсутствует, и в блоке 5 компенсации фиксируется только значение фонового тока. По мере накопления зарядов интгра. торами 10 и 13 напряжение на их выходах растет. После того, как в следующий момент времени выходное напряжение интегратора 10 электронного тока превысит порог срабатывания первого компаратора 11, на его выходе формируется импульс, включающий память вольтметра 7, регистрирующего накопленный интегратором 13 ионного тока заряд.

Таким образом, мерой давления в устройстве является заряд ионов, полученный в результате прохождения через прибор фиксированного электронного заряда.

Устройство позволяет увеличить чувствительность при измерении давления в приборах и, как следствие, повысить производительность.

1. Устройство для измерения давления в электровакуумном приборе, содержащее источник накала катода, источник ускоряющего напряжения, соединенный с клеммой для подключения управляющего электрода прибора, управляемый блок компенсации фонового тока, вход которого -соединен с клеммой для подключения анода прибора, управляемый запоминающий вольтметр и источник смещения, первый вывод которого соединен с клеммой для подключения катода, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности измерений, второй вывод источника смещения соединен с измерительным входом управляемого интегратора электронного тока, выход которого соединен с входами первого и второго компараторов, при этом выход первого компаратора соединен с управляющим входом управляемого запоминающего вольтметра, измерительный вход которого соединен с выходом управляемого интегратора ионного тока, измерительный вход которого соединен с клеммой для подключения анода прибора, а управляк>щие входы интеграторов ионного и электронного токов и управляемого блока компенсации фонового тока соединены с выходом второго компаратора; вход которого соединен с выходом управляемого интегратора электронного тока.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в цепь обратной связи управляемого интегратора ионного тока включен управляемый блок компенсации фонового тока.