Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния

Авторы патента:

1. Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния, включающий взаимодействие тетраметилсилана и азотсодержащего компонента на нагретой подложке в среде газа-носителя, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости процесса, в качестве азотсодержащего компонента используют гидразин при молярном отношении тетраметилсилан/гидразин, равном 0,05-10, и исходной концентрации тетраметилсилана в газе-носителе, равной 0,01-10,0 об.%.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве газа-носителя используют водород и/или азот.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что подложку нагревают до 1000-1400^oC.

Изобретение относится к способам получения ультрадисперсных порошков аморфного нитрида кремния, позволяющим получать продукт в аморфном состоянии

Способ получения нитрида кремния // 290531

Способ получения нитрида кремния с повышенным содержанием альфа-фазы // 2137708

Изобретение относится к области получения тугоплавких неорганических соединений, в частности к получению нитрида кремния, который может быть использован в инструментальной промышленности для производства керамических резцов, в автомобильной и авиационной промышленности для изготовления конструкционной высокотемпературной керамики, например, деталей двигателей внутреннего сгорания, а также в огнеупорной промышленности как добавка к огнеупорным материалам

Нитрид кремния с повышенным содержанием альфа-фазы // 2149824

Изобретение относится к синтезу тугоплавких неорганических соединений, которые могут быть использованы при получении конструкционной керамики и огнеупорных материалов

Способ получения раствора металлического кремния, способ получения металлического кремния из раствора и металлический кремний, полученный на основе этих способов, способ получения керамических материалов и керамический материал, полученный на основе этого способа // 2156220

Изобретение относится к технологии получения материалов, а именно к технологии получения поликристаллического кремния и его химических соединений - карбида и нитрида - из природных кремнийсодержащих концентратов

Способ получения нитрида кремния // 2257338

Способ получения кубического нитрида кремния // 2331578

Изобретение относится к области неорганической химии, а именно к способам получения новой плотной сверхтвердой модификации нитрида кремния, имеющей кубическую структуру шпинели ( - Si3N4)

Способ и устройство для получения энергии // 2451057

Изобретение относится к использованию в качестве энергоносителей исходных материалов, содержащих диоксид кремния

Установка для производства нитрида кремния // 2091299

Изобретение относится к области химического машиностроения и может быть использовано для производства высокоэффективного и дорогостоящего материала нитрида кремния, применяемого в различных областях техники

Способ получения шихты для синтеза нитрида кремния // 2465197

Изобретение относится к области порошковой технологии и предназначено для получения самораспространяющимся высокотемпературным синтезом (СВС) нитрида кремния с высоким содержанием основного вещества, тонкодисперсным размером основной массы частиц при достаточно узком гранулометрическом составе

Способ получения нитрида кремния // 1696385

Изобретение относится к способам получения нитрида кремния, применяемым в качестве конструкционного и инструментального материала, Цель - повышение выхода а -фазы нитрида кремния

Способ получения нитрида кремния // 1696386

Изобретение относится к способу получения нитрида кремния - неорганического соединения с высокой температурой плавления , высокими прочностными свойствами , используемого в машиностроении, в производстве абразивов и огнеупоров Цель - упрощение процесса и сокращение времени на его проведение при сохранении высокого выхода продукта