Парогазовая смесь для нанесения кадмиевых покрытий

 

Изобретение относится к нанесению металлических, в частности кадмиевых, покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений. Цель изобретения - повышение скорости осаждения кадмия. Для этого в состав парогазовой смеси, содержащей диэтилкадмий, дополнительно введен диметилкадмий при следующем их соотношении, мас.%: диэтилкадмий 5-10, диметилкадмий 90-95. Процесс осуществляют при откачивании реактора до давления 1 Па и температура покрываемых стальных деталей 200-220°С. Введение в состав смеси диметилкадмия обеспечивает повышение скорости осаждения кадмия с 0,30-0,35 до 3,0-3,3 мкм/мин при высоком качестве получаемых покрытий, которые имеют мелкокристаллическую структуру, плотные и прочно сцеплены с основой (адгезия 90-96 кгс/см<SP POS="POST">2</SP>). 1 табл.

„„SU„„.1615229 A 1

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 5 С 23 С 16/18

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

Il0 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

3 аЬ Ьд ВЬЛ

1 "C

H А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 евых, покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений.

Цель изобретения — повышение скорости осаждения кадмия. Дл.". этого в состав парогазовой смеси, содержащей диэтилкадмий, дополнительно введен диметил-; кадмий при следующем их соотношении, мас.%: диэтилкадмий 5-10, диметилкадмии 90-95. Процесс осуществляют при откачивании реактора до давления 1 Па и температуре покрываемых стальных де талей 200-220 0. Введение в состав смеси диметилкадмия обеспечивает повышение скорости осаждения кадмия с

0,30-0„35 до 3,0-3,3 мкм/мин при высоком качестве получаемых покрытий ко- Ф

У у торые имеют мелкокристаллическую структуру, плотные и прочно сцеплены с основой (адгезия 90-.96 кгс/см

1 табл.

1 (21) 46114 11/31-02 1 (22) 01. 12. 88 (46) 23. 12. 90. Вюл. N 47 (71) Научно-исследовательский институт химии при Горьковском государственном университете им. Н.И. Лобачевского (72) В.И. Фаерман, Л.М. Дягилева, К,И. Цыганова, В,С. Абрамов и N.À. александров (53) 621 ° ?93. !6: 669. 738 (088. 8) (56) Сыркин В,!". Газофазная металлиэация через карбонилы, - М.: Металлургия, 1985, с. 25-26.

Авторское свидетельство СССР

М 1379338, кл. С 23 С 16/18, 1986. (54) 1!АРОГАЗОВАЯ СМЕСЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

КАДМИЕВЫМ ПОКРЫП1Й (57) Изобретение относится к нанесению металлических, в частности кадмиго реактора. Жидкий диметилкадмий (Д 1 (Ц1К) и диэтилкадмий (ДЭК) загружают ь в разные испарители. Реактор откачивают от давления 1 Па, нагревают щелевую ) часть реактора с кадмируемой деталью © до 200-220 С, устанавливают требуемую Я ) температуру испарителей. 11роцесс ведут в течение 30 мин. Температуру испарителя, содержащего ДЧК, устанавливают в диапазоне 20-40 С, а температуру испарителя с ДЭК вЂ” в диапазоне 25-50 С о, (на 5-10 С выше, чем испарителя с

ДМК). При этом содержание компонентов в парогазовои смеси (ПГС) составляет мас ° %, ДЭК 5-10; Д1К 90-95, Нижнюи границу температурного интервала

Изобретение относится к нанесению металлических, в частности кадмиевых, покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений и может быть использовано в автомобильнои и авиационной промышленности,а также в машиностроении при создании конструкции на основе высокопрочных сталей с коррозионно-стойкими и защит- ными покрытиями.

Целью изобретения является повышение скорости осаждения кадмия.

Изобретение осуществляют следующим образом.

Покрываемую кадмием стальную деталь помещают в щелевидную часть проточноОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ . 1615229

1 ренин» процесса

Is равульт&тн сравнительного в ° > 1 ч Яч >

Покааатели для опыта известного предпагаемого

1 3, (> (6 ) 7

40 50 40

40 30 30

30

10 3 30 10

90 97 70 90

100

1ОО 1 ОО

320 220 200 240 220 220 180

200

220

0>02

О > 45 0,20 0>80 0>05

0,05

0,6

2,6

2,8 2,7

О,1

0,3 0,1

3,!

17,5 12,5 !7,5

6>0

6,0

25 О

7>5 6>0

6,0

62 50 78 .

Крулнокрнстеллнческое, плотное

Иелкок рнстал» лическое плотное

37 5

Крупнокрнсталлическое

91

Плотное. мелкокрнсталлнческое

Темное неравномерное

Отсутствует

Составитель А. Рычагов

Техред М.Дидык Корректор Т. Малец

Редактор Н, Гунько

3аказ 3964 Тираж 816 Подписное

ВНИКНИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

II II

Производственно-издательский комбинат Патент, r. Ужгород, ул. Гагарина, 101.! определяют сложность термостатирования испарителей при температуре ниже комнатной и малая скорость испарения . МОС а верхнюю - протекание термо5 .распада ДЭК в жидкой фазе с заметной скоростью при температуре выше 50ОС., Оптимальную величину разности темпе; ратуры испарителей ж 10 С подбирают, экспериментально с учетом зависимости 1ð !

; упругости пара. :ДМК и ДЗК от темпера-! ! туры..

В таблице представлены условия кад-! мирования и полученные результаты. !

Таким образом, предлагаемая ПГС в ! оптимальных условиях обеспечивает по

,сравнени10 с известной практически на порядок более высокую скорость осаж-. ! дения кадмия (от. 0,30-0,35 до 3 0— 3,3 мкм/мин) при необходимом качестве 7р

1 >

Температура не>вар»тела> С:

723К 40 40 50 30 45

20!К 30 30, 40 20 40

Содерка>в>е компонентов в ПГС, иас Л!

ДЭК 10 10 10 10 5

ДКК 90 $0 90 90 95

Температура подлонкн, аС 200 220 220 220. 220

Степенв нсполв"

° ованна ffHK 0,10 Oj70 0,50 0,70 0,45

Скороств осакделнв искрит»к, мкн/инн 0,2 1,2 3,3 0,4 3Ä0

Средний равмер корав в покрытии, ики 6,0 6,0 6>0 адгевнв покрытие

i основе, кгс/см . 90 93 91 96 92

Вяенин!! вил по- Плотное, нелкокристаллнческое, крнтив равномерное покрытий. Иредлагаемня .П1 С позволяет также повысйть технологичность процес« са нанесения кадмиевых покрытий. Используемый преимущественно в составе

ДМК устойчив при хранении в отличие от нестабильного ДЭК.

Формула изобретения

Парогазовая смесь для нанесения кадмиевых покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений, содержащая диэтилкадмий, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с .целью повышения скорости осаждения кадмия, она дополнительно содержит диметилкадмий при следующем соотношении компонентов, мас.Х:

Диэтилкадмий 5-10

Диметилкадмии 90"95