Устройство для фокусировки расходящегося пучка рентгеновского излучения в точечный фокус

 

Устройство для фокусировки расходящегося пучка рентгеновского излучения в точечный фокус, содержащее два линейно фокусирующих элемента, установленных с возможностью поворота на взаимно перпендикулярных осях, средства поворота и линейного перемещения оси с вторым по ходу фокусируемого пучка фокусирующим элементом относительно оси с первым фокусирующим элементом вдоль линии, проходящей через обе оси поворота, средства ограничения пучков, падающих на каждый из фокусирующих элементов и отраженных от них, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона длин волн фокусируемого излучения и уменьшения размера точечного фокуса при упрощении технологии изготовления фокусирующих элементов, фокусирующие элементы выполнен в виде плоских элементов с периодической отражательной структурой, образованной параллельными канавками или выступами с прямоугольным поперечным сечением и поперечными размерами, определяемыми последовательностью величин четных или нечетных зон Френеля, причем канавки или выступы расположены параллельно оси поворота соответствующего фокусирующего элемента, средства линейного перемещения оси с вторым фокусирующим элементом выполнены с возможностью регулирования расстояния S между центрами фокусирующих элементов по линии перемещения в диапазоне где r11 и r21 - величины полуширины первых зон Френеля; d1 и d2 - периоды отражательной структуры; N1 и N2 - количества зон Френеля соответственно для первого и второго фокусирующих элементов, постоянные продольные размеры b1 и b2 канавок или выступов которых выбраны из условий



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области рентгеновской оптики и может быть использовано, например, в рентгеновской микроскопии, в системах проекционной рентгеновской литографии и т.п

Изобретение относится к рентгеновской и электронной микроскопии, может использоваться для проведения исследований в различных областях науки и контроля различных изделий в нанотехнологиях и других областях техники (биологии, медицины, геологии, экологии, нефтегазовой промышленности и др.)

Изобретение относится к рентгеновской технике и микроскопии и может быть использовано для просвечивания объектов/ содержащих субмикронные неоднородности

Способ анализа для получения фазовой информации путем анализа периодической структуры муара содержит этапы: подвергания периодической структуры муара оконному преобразованию Фурье с помощью оконной функции; отделения информации о первом спектре, содержащем фазовую информацию, от информации о втором спектре, наложенной на информацию о первом спектре для получения фазовой информации с использованием аппроксимации каждой из форм первого и второго спектров в форму предварительно заданной функции. Устройство содержит дифракционную решетку для дифрагирования рентгеновских лучей от источника рентгеновского излучения, поглощающую решетку для экранирования части дифрагированных рентгеновских лучей, детектор для обнаружения муара и калькулятор, который извлекает фазовую информацию на основе муара в соответствии со способом анализа. Технический результат - улучшение разрешения при анализе фазовой информации за счет исключения взаимного влияния перекрытия спектров. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 15 ил.
Наверх