Рентгеновский сканирующий микроскоп

 

Рентгеновский сканирующий микроскоп, содержащий источник рентгеновского излучения, конденсорную зонную пластинку, диафрагму, систему механического сканирования исследуемого объекта, микрозонную пластинку, систему сканирования рентгеновского излучения, пропорциональный счетчик, процессор и монитор, отличающийся тем, что, с целью улучшения пространственного разрешения и точности сканирования, система сканирования рентгеновского излучения выполнена в виде пьезоэлектрической подложки с расположенными на ней многослойным интерференционным рентгеновским зеркалом и встречно-штыревым широкополосным преобразователем.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области рентгеновской оптики и может быть использовано, например, в рентгеновской микроскопии, в системах проекционной рентгеновской литографии и т.п

Изобретение относится к рентгеновской и электронной микроскопии, может использоваться для проведения исследований в различных областях науки и контроля различных изделий в нанотехнологиях и других областях техники (биологии, медицины, геологии, экологии, нефтегазовой промышленности и др.)

Изобретение относится к рентгеновской технике и микроскопии и может быть использовано для просвечивания объектов/ содержащих субмикронные неоднородности

Способ анализа для получения фазовой информации путем анализа периодической структуры муара содержит этапы: подвергания периодической структуры муара оконному преобразованию Фурье с помощью оконной функции; отделения информации о первом спектре, содержащем фазовую информацию, от информации о втором спектре, наложенной на информацию о первом спектре для получения фазовой информации с использованием аппроксимации каждой из форм первого и второго спектров в форму предварительно заданной функции. Устройство содержит дифракционную решетку для дифрагирования рентгеновских лучей от источника рентгеновского излучения, поглощающую решетку для экранирования части дифрагированных рентгеновских лучей, детектор для обнаружения муара и калькулятор, который извлекает фазовую информацию на основе муара в соответствии со способом анализа. Технический результат - улучшение разрешения при анализе фазовой информации за счет исключения взаимного влияния перекрытия спектров. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 15 ил.
Наверх