Устройство контроля отклонения линейных размеров

 

Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности и чувствительности устройства для контроля отклонения линейных размеров различных объектов, например толщины листового материала. Устройство содержит тестовую структуру в виде конденсатора с двумя компланарными электродами 1 и 2 гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической подложке 3. Концевые участки зубцов обоих электродов отогнуты в плоскости, перпендикулярной поверхности подложки, и изогнуты в соответствии с функциональной зависимостью, связывающей координату Y с отношением ширины b зубца к расстоянию с между ними. Благодаря этому усиливается напряженность электростатического поля в области краевых участков зубцов обоих электродов, что обуславливает более значительное изменение емкости тестовой структуры в функции отклонения контролируемого параметра объекта. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 В 7/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4643023/25-28 (22) 30.01.89 (46) .07.01.91. Бюл. 1Ф 1 (72) В.А. Окунев и О.П. Никандров (53) 621.317.39:531.71 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1302138, кл. G 01 В 7/02, 1985. (54) УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и имеет целью повышение точности и чувствительности устройства для контроля отклонения линейных размеров различных объектов, например толщины листового материала. Устройство содержит тестовую структуру в виде конденсатора с

„„Я „„1618999 А1 двумя компланарными электродами 1 и 2 гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической подложке 3. Концевые участки зубцов обоих электродов отогнуты в плоскости, перпендикулярной поверхности подложки, и изогнуты в соответствии с функциональной зависимостью, связывающей координату V с отношением ширины Ь зубца к расстоянию с между ними. Благодаря этому усиливается напряженность электростатического поля в области краевых участков зубцов обоих электродов, что обуславливает более значительное изменение емкости тестовой структуры в функции отклонения контролируемого параметра объекта. 2 ил, 16189Q9

Составитель С,Скрыпник

Тех ред M. Мо рге нтал Корректор М,Шароши

Редактор М.Бланар

Заказ 35 Тир аж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в качестве тестовой структуры для контроля отклонений линейных размеров различных элеь ентов, например толщины контролиру- 5 емого материала.

Целью изобретения является повышение точности и чувс-вительности устройства для контроля отклонения линейных размеров при использовании тестовой структуры 10 емкостного типа.

На фиг. 1 показано схематично конструктивное выполнение устройства для контроля отклонения линейных размеров; на фиг. 2 — то же, вид сбоку. 15

Устройство содержит тестовую структуру в виде конденсатора с двумя компланарными электродами и 2 гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической 20 подложке 3. Ширинч Ь зубцов электродов тестовой структуры не менее чем в 10 раз меньше расстояния с между ними, а концевые участки зубцов отогнуты в плоскости, перпендикулярной поверхности подложки 25

3, и изогнуты по координате У в соответствии с функциональной зависимостью (=А(— ) где А=1,2,3, „.; 30

Ь/c — отношение ширины зубца к расстоянию между ними.

Устройство работает следующим образом.

Контролируемый материал (не показан) размещают возле поверхности тестовой структуры, что вызывает изменение электростатического поля, а следовательно, и емкости тестовой структуры в зависимости, например, от толщины этого материала. Благодаря тому, что кольцевые участки гребенчатых электродов 1 и 2 отогнуты в перпендикулярной к поверхности подложки 3 плоскости и изогнуты в соответствии с заданным математическим выражением в функции параметров гребенчатых электродов емкостной структуры, достигается увеличение напряженности электростатического поля в ее краевых зонах, что обуславливает повышение чувствительности и точности измерения отклонения размеров от номинала.

Формула изобретения

Устройство контроля отклонения линейных размеров, содержащее тестовую структуру в виде конденсатора с двумя компланарными электродами гребенчатой формы, обращенными один к другому зубцами и размещенными на общей диэлектрической подложке, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и чувствительности, концевые участки зубцов обоих электродов отогнуты в плоскости, перпендикулярной поверхности подложки, и изогнуты в соответствии с функциональной зависимостью координаты У = А Ь/с, где

А = 1, 2, 3, ..., а Ь/с — отношение ширины b зубца к расстоянию с между ними.