Мера толщины пленок

 

Изобретение относится к петрологии и применяется для градуировки и поверки толщиномеров покрытий. Цель изобретения - повышение точности при поверке вихре i окот ix мшщипомероп с проходными преобразователями. Мера толщины пленок имеет подложку и виде полого цилин/v i, нл наружной поверхности которой имеются участки для настройки нл ноль толщиномеров. На наружной и внутренней поверхносiих подложки имеются дпа пача п пиле кольцевых кананоь, донья которых удплеп от поверхностей подложки на величи , , равную требуемо толщине ш.гнкч. Пленка заполняет эти па-р ia; , чго ее свободные шпиндр; егкмс почерхмпсти совпадают coo j ьп , i i -чп п г пару- - нон или внутренней пч ЧЧПРП PCKOT I :ч -- верхностью подло-ки. 1 HI. (/) с:

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„SU„, 1627823 (51) 5 G 01 В 7/06

3 t! гЬ,, - - " цу / ° Р, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (61) 813129 (21) 4605879/28 (22) 17. 10.88 (46) 15.02.91. Бюл. У. 6 (71) Таллиннский политехнический институт (72) А.P.Ëààíåîòñ и Р.А.Лаанеотс (53) 531 ° 717(088 ° 8) (56) Авторское свидетельство СССР

11< 1430732, кл. Г 01 В 7/06, 1987.

Авторское свидетельство ГССР

Ф 813129, кл. Г 01 В 7/06, 1977. (54) РЕРА ТОЛ!ЧИНЫ ПЛЕНОК (57) Изобретение Относится к IIOTp<1 логии и применяется для грапуировки и поверки толщиномеров покрытий.

Изобретение относится к метрологии, а именно к средствам для поверки и градуировки средств измерения толщин пленок и покрытий.

Целью изобретения является повышение точности при поверке вихретоконых толг<<иномеров с проходными преобразователями.

На чертеже схематично представлена предлагаемая мера толщины пленок, вид спереди.

Мера толщины пленок содержит подложку 1 в виде полого цилиндра, на наружной и внутренней поверхностях которого имеются участки 2 для настройки на ноль толщиномеров покрытий.

FIa наружной поверхности подложки 1 выполнен паз, дно 3 которого удалено от наружной цилиндрической поверхЦель изобретения — ион<,пвен <е точности при поверке 1111?:ре t <)i;olli IK 1<<ищи<1<меров с ltpoxoJEII61?tft преобразователя. 1 .

Мера толщ<и<ы пленок имес т I!< д:to?< K<, 1< виде полого цилин;, а, и:1 н 1 ужной поверхности котороп и?1010 гс?1 учас<ки для настройки 1<а ноль то?нlllil< .Ieð 1<.

На наружно1»1 внутрен1<ей пои<.р?:и с i.ях

ПОДЛОЖКИ ff 1< I<>1 СЯ JIIIIE Пава В 1;11IIO КО. 11,—

Цевьlх Ка llа 11<11< >,

Пленка за1<о:1няет зт<1 iia 1,1 i,i;;, ч го ее cttoOoi(II

М верхностью itn,lëo".Kit. 1

И нОС Ти ПОдложкll 1 lfa н е 111ч1< <<у 11 Is 4. равную требуемой то ll!Illil

4 запо <влет паз так, ° то ее <и.ш Ог, 1 1

СвобОдная цl1л111!, <рll«OO I; E?< по1<. <рх1:О1Г i I < ) совпадает с нару;-.,ной пи<и<11 ричес ко<1 поверхност1ю пол 1ожки 1. Кроме тог<, на внутренней Iln?

ВНУтРЕННЕй ЦИЛИНЦРИчЕСКОй ПОВЕРХНОсти подложки 1 на величину 1<,, равную требуемой толщине плpíi è или покрытия 6 меры. Пленка или покрытие 1 )

6 заполняет второй паз так, что ее (или et n) сноб

16?78?3 канавок. Прочие линейн1(е размеры меры толщины пленок определяются исходя из размеров и характеристик датчиков повегяемых толщиномеров покрытий, а также исходя из кривизги1 поверхностейй контр о,»tpye tt Ix этими т олщиномер л ми l! e г л:?е и . ср у (! 11 о тон?! яют с tp. <у?(1г?(1м О бра зом. 10

1?ыб«рлют пглый цил11«др, обрабатываю(егп наружную и внутреннюю поверхнос ги ;((; необходимого диаметра, Ня нлружн ?й II внутренней поверхности и г<. г .: яюг плзы в ш?де кольце?(ых ка- 15 н; вок

5-8 (". 1(.раблтынлют ции;ш;?рические поверх? о< TI1 по;(нож?(и 1 и донья 3 ll 5 паз<-и в со<-т vc (с тьчп(с требованиями 20 !! O IУ(t(CН 11)1 l Н11111? :.: < :1< )(111 И 1111 P t IЕТ Р ОВ !< ?(! » (;1 " i(t<, ! l с i, и .ио"(нн??х оперлций глубина (бо?1..: 1?ляг н 11< нлпрлнлешнл радиуса 25 (t:pI.I(I.з ?ы дон?,(B 3 II э плзг в яттесту(.гся с в(:с окой точностью, нл?(ример с (?о.".(ом?,1< оптических метî",oB. 11л(?ее нл о(1я ll 1?лоъ.жный? паз пиен?,;. 4 тлк, (го61«(. («обо»или поверхность сов- 30

II<(j<(Ië(1 с t!(Iðó:, (Itît t цилиндрической поверхнгстью .?огшожки 1. Проверяют ци (Itt?BpIt! IIoc T1 ?и ружно11 поверхности меры, т.с. верхних понерхностей подложк1? 1 и пленки 4, контролируя этим сони(! Jl((н;?е вор?ии(х поверхностей пленки 4 (< и< дложки 1. После этого нано с» г 11.?енку (л во внутренний паз под- ложки 1 тлк„ чтобы ее свободная повcpxt!oc

Проверяют цг?линдри ность внутренней поверхности меры, контролируя совпадение поверх:ости пленки 6 и подложки 1. Несовпадение цг?линдрических по- 45 верхностей допусклегсл в пределах

+5 мкм и учитьп(ается в аттестате меры толщины пленок в качестве поправки.

Поверку и градуировку толщиномеров покрытий с помощью данной меры осуществляют следующим образом, Нулевую точку шкалы поверяют, устанавливая датчик поверяемого толщиномера на любой участок ? наружной поверхности меры. Зятем перемещают датчик на участок меры с пленкой 4. Показания голшиномера при нахождении датчика

HB этом участке сравнив ll

При поверке толщиномеров для измерения толщин покрытий на внутренних цилиндрических поверхностях, датчик поверяемого толщиномера устанавливают нл любой у(асток 2 внутренней поверхности меры. Далее устлнлвлинлют да 1 (I!I! толщиномера нл учлсток меры, где имеется пленка 6. Сравнивают иоклзлния толщиномерл с лттестовлнн11м зн;(пением толщины 11 пленки меры и по разнице судят о годности попс ряе?(о? (тол?((1(номера.

Выполнение 1?илиндри?еского паза нл Itapywtott » внутренней поверхности подложки 1 в г? иде ко(?ьцевых клнлвок позволяет точнее аттестовать его глубину, точнее обеспечить совплдение свобог,ной поверхности пленки с соответствующей поверхностью -меры и, тем сл((ьг?, повысить точность атгестлции root(It«lt пленки нл подложке.

Ф о р м у л л 11 з о б р е т е н и я

Мера толщины пленок по авт.св.

813129, о т л и 1 л ю щ л я с я тЕМ, Чтв, г. ЦЕЛ Ю ПОВЬ?ШЕНИЯ тОЧНОСтИ при поверке вихретоковых толщиномеров с проходными преобразонлтелями, подложка выполнена в ьч?де полого цилиндра, ня внутренней поверхности которого выполнен второй паз,.аттестованный по глубине, во второй паз нанесена пленка так, что ее поверхность сонпадлет с внутренней поверхностью полого цилиндра, л пазы выполнены в виде кольценых канавок.

1627823

И.Рекунова

Техред g.дидык

Редактор Ю.Середа

Корректор N.лароши

Заказ 330 Тираж 381 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101