Способ измерения толщины покрытия
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к рентгеновским толщиномерам покрытий. Келью изобретения является пот имение точности измерении и воспрои номнмости измерений путем использования для измерения разшгх дифракционных линий от одной и тон же кристаллографической плоскости попложки. Регистрируют часть лифрактограммы от какой-либо одной крпс ;аллш рлфпческой плоскости подпг/ккп в потоках сЈ- и Й-лниии и измеряют пнтенгпгность. Далее peiигтрируки jo о г подложки без покрытия, интенсивности потоков (Х- и 3- пшии и определннп толшипу покрытии. 1 in1. 1C
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
„.,SU„„1827833
А1 ( 54 <) « <1Х ) t с ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬГГИЯМ flPH ГННТ СССР К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4483013/?8 (2?) 19.09.88 (46) 15. 02. 91 . Ill<)JI. Y 6 (71) I ocyJtapcT))ekt«t t)t научно-)Ice)teдоваTельский, прoектпый lt кoíãTрукторский ltlleтитуT сплавов и обработки цветных металлов "1 llktpolll)pTllp T обработка (72) С. Г. Xak<)T)tlt (53) 531 ° 717. 11 (088. 8) (56) <) k)òoliek oå с)ведет(..!ьстi)<) сc:ñÐ )2 859890, кл, Г 01 If 15/О?, 1980. (54) спОсО1) и31)еРГ11иЯ тО)1111и1111 1101сР1<1ТИ7" (57) Изобретеш)е относltòñÿ к измериИзобрс тепие относ))тся к 1)змеритЕЛЬkIO)f ТЕХНИКЕ, Г. с!ВС3 НО(Tlt К Рситгенонским толщи)!омера.! покры3ий. Пельш изобретения является повышение точност)1 измереш)). и Воспроизводимости измере))ий путем использования для измерения разных дифракkkHokIHbIx . HItH)f oT oJtlkokt )t той же кристаллографической плоскости подложки, Способ осуг!ествляют при использовании / и -линий диАракционного спектра подложки. При отражении оТ массивнои подложки без покрытия соотношение интенсивностей соответственно )4 и -линий (А) является постоянной для данного материала подложки и выбранного излучения (вещества анода). При прохождении через покрытие падающих и отраженных составляющих 04 тельной технике, в частностll к рентгеновским Tokil СС и (5 Jlllktltk< !1 ltзмс РЯ )T 111ITell(11! ность. Далее регигтриру)яг т ) t«c <г подлОжки бе.) покрытия, 11 ))1(. «ю интенсивности !)отокоп iY — )1 (5-:!1)я<1! ll Ok! peJteJlÍÍ) 1 т()Лен)ну 11<)крыт ll <1, 1 11
I иР соотношение Тг1/) измен leòekf в зависимости от толп)йп) liol;p< гг))я k) JILJI-— ствие разл))чия козфф)1!111(lli nl) tink Ji<)щения материя)!а покр!1)ия. В Можно показать, что М <1) < ll 7, 1, 1 :1 м где d — толщина покрытия, I, и 1 — интенсиннос г)1 ))< . 11 )э —. иЯ < ний, отраж«нных nl о;<и и и той же крис талл 1.1;) ф)1ЧЕСКОй ПЛОСКОС ГИ ПОЦ.)n Кки с покрытием; g и 0 — соответствующие углы <)г"ь ражения Ос и Р -линий от подложки с покрытис..м; 1 7 и )ц — коэффициенты поглон:с ния H P линий В ма 1 < p)1,1— ле покрытия, 162783") откуда следует — — 1п(- — — ) /() s in c) q, в гп В,ч I 5 (.С <> (I!<>! «!1(1< (. »/ » (,с Г l <т>I! » «» h > <(Н (р паис(О«(е". «yf)н пок1)! ги)1, если л С.<.лтВЕГС(ВЧЕ!! -I l > (1)ti;! I .. < >< 11 Е i <,т, (!О )C ВИЦ>». > :;. g< 1" < .i.3 !с:P(!<> !т то!l э0 > . I! lI!,I C i! ft 1 <. li(((1!—, «>» 1, (< >!Лl! и < П л « c! I< :. 1 > т Л t Р;(;1.(Itlli 1>. >< 1,< ><. > 11 !! (>Jl!1<)) 3 Н> с:l>!1<>(.Т(резупьтата oT (», ; I c»j)I I (тот> (еж<си (Tele ?5 1,>I ) а ftо(! o »io" т> 2 1 Г Л Я)п О втп ЯГ, >, <, Г ((:J(Vi .> >t> (Об— (.ii i oис>tвн )<-.. i((3<»» P —;tи— ши(, о(ражен«н (х От одной и тлй же «,ри(таллигде 1, li Т, (30 <е<.клй лл".кости плдложк((с покрытием, солт <ОТГ г!<ую!.(Ие углы отражет!Ия f)<» и 1э (IIII»IJ ОТ ПОД НГ:<ки с пл«ср((тием; коэА()ицие;(rbi поглощения М и Р- (!Ин(й в материале покрытия, 5(8( (((и (((<) I ()f Л--(г 40 с ОО-.. воление инт енсивностей Г,1 р-линий под> лОж«,>(()с . 3 НОк(1!тия Составитель В.Парнасов Техре,< ((.Д«(дь(к Корректор М,Демчик Рецакгор !г(,Середа 3<(к» .) 0 Тираж 365 Г(одп«(с ное 3,(((1>!(I((()с, !тарст зенного «<о. 1< гете ио и!обретениям и открь!Тиям при ГКНТ СССР ((3035, г(о квп . (((-35, Раус(«ская наб., д. 4/5 т> » » ((()О((3«3<.;<<1 гв>.(<по-из!гете«т! С(,иш кo (э(1«(()т Патент, г, ) жгород, ул, Гагарина, 101 С К»1 11(» I 1< >1 Огi< в((Я РЕНТ Г< НС)ВСКИХ ЛУ 10 чей <,и((к(..пег<о» "окрытие в медном и 3 1(уч(lii!1!, ° е, ll(>(в 1(об .л« ТО«(О«1 1» r.ц ((р ° .! «» ((g >p (((„. t! Остальс(>,; :.;: «вЂ” 1«)i и >п(е (L) / ((,(1 )11-! 1,(P P lI O (I « > (iC» (,) ) >(О -, 1 ОМ;> 15 . «< з.li<, »., .> " IC c.tn, ((!)<)!I> с. гся и приI1(>!(Pf l I И< У< < < I);-о) l еп(;(и<1>г)пк глт t(! <1>c> > л I < (с ть ц!(д)рпктл> ()и,;(1 3,!О ) <»1!o>< к(в<с алт><>1 (>(1(()1(-! л < ;;! II!! <»!! fin»т ° л,«Е1> 13 IIO ОК lх P -- t!! I! It! I 11 I(:31<(:t)!!<. т ИНП С (СИ«<в >(<О< 1,,>((! "(< . в<31 1(C JPI »t<)T ТО )>ic Д!IЯ и"! (ллi;I .(> < з плк>1!г!<я > 1(!меряют интснси(!(с ст(-. (>о г ко(3 g и э -1пи(ий lf О и p L=. i . 1 1 р т! «3 и Ji е и и О и ((>ГP tf> 1< I !() . .!>((elf<)T Т Г, ((ттн«(У 1(ОКР(IТИЯ, ((р(»т!1 1> 3(<>1 (Гпособ ."(О«е! бl!Ть иГ.— г(О! .т > n >3»> т! :т ) НГ!(рес с НОГО >с >l(T po!Iя голвишы электролитических или напыленных в вакучме слоев. Он по)воляет быстро и точно измерить толщ«!Ну покрь!тий, для которых нет «(адежных 1(еразру(((«1!<)((их мет(>дон измерения. Способ позволяет ocytiecтвить непрерывн(.!й технологический контроль. Ф о р и у л а и з о б р е 1 е н и я Способ измерения тол«а(ны покрытия, заключающийся в том,что на объект контроля направляют ну (ок рентгеновского ИЗЛУЧЕНИЯ, ВОЗГ>У)т(па()1 Д(1()РаКЦИОННЫЕ линии подложки, регистрируют их инг Е и С И В Н О С Т и И О Г(Р Е Д Е„ Я Ю 1 т О(И>(И Н Ч плкг)ытия> о т л и ч а ю f(и и Г я т См, ч т о, с. целью I l l) II I IIIIP I Ill H г O 1 1(OC Tl f и >мс.рений, 13 качестве ди< >ре(снилнных линий подло)яки Elf ll «и>,"l) t g и Г) -лиН IИ РЕЮ! 1(СTP аl>1(1 > 1111 1 <.1((.1! Ill!О(ГИ (g И -линий гроизвогят От <);!ной и тлй же крllc Tà! Iëoãpftáftческой .(Оскoс Tè подложки, а Tn! II(I(!ty плкрыпгия Определяют по (()Ор((уле
