Состав для обработки металлического сетчатого трафарета

 

Изобретение относится к электтронной промышленности, в частности к изготовлению толегопленочных микросхем . Цель изобретения - снижение стоимости состава для обработки металлического сетчатого трафарета. Металлический трафарет перед печатью обрабатывают в растворе, содержащем поверхностно-активное вещество (ПАВ), ангидросорбитмоностеарат или натрий.дигексилсукцинатосульфонат или глицерилмоноолеат или диэтиленгликольмоно лаурат в количестве 0,1-0,5 г/л, а в качестве растворителя - алифатический углеводород общей формулы СпН2П+.2 гд-е n 6-10. После обработки в указанном составе трафарет сушат и используют для толстопленочной печати. В результате получают толстопленочные элементы высокого качества с равномерной толщиной покрытия. (Л

СОЮЗ СОВЕтСИИК социАлистичесник

РЕСПУБЛИК (51)5 Н 05 К 3/12

ГОсудАРстненный номитет по изоБРнекиям и (лйРытиям

ПРи гннт ссо (46) 15.10.92, Бюл, Р 38 (21) 4491461/21 (22) 10.10.88 (72) В,В,Бочаров, В.И.Лысенко, Л.В.Лебедева, В;Т.Фролов, E.È.ßñòðåбова и N.A,Îí÷àðîâ (53) 621.3.049.772.2 (088.8) (56) Патент Великобритании 11 1256316, кл. В 41 И 1/24, 1969.

Заявка ФРГ 11 2062251, кл. В 41 М 1/12, 1972. (54) СОСТАВ ДЛЯ ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО СЕТЧАТОГО ТРАФАРЕТА (57) Изобретение относится к электтронной промышленности, в частности к изготовлению толстопленочных микросхем. Цель изобретения — снижение стоимости состава для обработки

Изобретение относится к электронной промышленности, в частности к изготовлению толстопленочных микросхем.

Цель изобретения — снижение стоимости состава для обработки металлического сетчатого трафарета перед печатью.

Цель достигается за счет того, что используют состав для обработки трафарета., содержащий углеродсодержащее поверхностно-активное вещество (ПАВ) и растворитель — алифатические углеводороды общей формулы С„Н2 а 2п+2 где и 6-10, взятые в определенном количественном соотношении.

За счет обработки металлического трафарета в указанном составе снижается изменение линейных размеров металлического сетчатого трафарета.

Металлический трафарет перед печатью обрабатывают в растворе, содержащем поверхностно-активное вещество (ПАВ), ангидросорбитмоностеарат или натрий.дигексилсукцинатосульфонат или глицерилмоноолеат или диэтиленгликольмонолаурат в количестве

0,1-0,5 г/л, а в качестве раствори теля - алифатический углеводород общей формулы СдН,, где n = 6-10„

После обработки в указанном составе трафарет сушат и используют для толстопленочной печати. В результате получают толстопленочные элементы высокого качества с равномерной толщиной покрытия. элементов за счет растекания пасты на подложке при печати.

П р и и е р 1 ° Металлический сетчатый трафарет обрабатывают в составе, содержащем ангидросорбитмоно=. стеарат — ПА — 0,1 г/л и растворитель бензин марки БР-! — остальное до 1 л, в течение Э мин. Затем трафарет сушат на воздухе в течение

5 мин. На поверхности керамической подложки ВК94-1С формируют рисунок проводниковой и диэлектрическими пастами марки 4351 через обработанный трафарет, Печать проводят на антомати еской установке печати АУТП в следующем режиме: зазор между подложкой и трафаретом 200 и 500 мкм; о угол атаки ракеля 45 и 60; . скорость движения ракеля 100 и 250 мм/с;

1 б 3 .14 14 в течение 1 ttltn на возДУхе. Печа гьр сушку и обжиг проводят как описано в примере 1, Изменение геометрических размеров элемеtITQB составило для проводниковой и диэлектрической паст на 30 подложках — 40 и 50 мкм, края линий элементов отвесныер ровные зИзобретение позволяет повысить качество трафаретной печати, снизить изменение геометрических размеров элементов за счет уменьшения растекяемости паст и улучшить раззномерность толщины полученных покрытий.

ФоpиyJlаиз обретения

Составитель О,Павлова

Редактор Т, Лошкарева TOEtpeJI A,Кравчук Корректор Н.Ревская

3акаэ 4570 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по. изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, .Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

ffpottзяолственно.-и. I.Iòeëüt.êIttt комбинат "Патент", г.ужгород„ул. Гагарина,101 сушку ttpoaoJIIIJttt зп.и 1. О и 250 Ср

>бжиг — прп 520 1 8/ООС, :-1амер и:.I e»etttt» геометрических

1эл:змеро!з злемептозз схемы про1зодили на мзiкрс скопе МБС-2 при yâeJlè÷åHèH

7x8.

Изменение геометрия ск»х размеров эа счет растекаемости паст контролировалось ttа 15 подложках и составипо 10 в с реднем: для проводниковой пасты30 мкм, для диэлектрической — 45 мкм.

Края линий стали отвесными и ровными, П р и и е р 2. ряфарет помещают на 5 мин в раствор натрийдигексил- 15 сукцпнатосульфонята (ПА — Aегоsol

ОТ-100 производства "Ашет1can Cyanaml C1 Co } It HopMd.itb1IoM эталонном тане (ГОСТ 25828-83) с концентрацией

0,5 г/л, затем суш;т ня ноздухе в 20 течение 2 мин. Дальнейшие операции проводят как в примере 1.

Изменеззие геометрических размеров составило: для проводзяиковой пасты— от 40 до 45 мкм, для диэлектричес- 25 кой — 50 мкм, Края отпечатанных линий стали отвесными и ровными.

Пример 3. Трафарет помещают на.

1 мнн в раствор глицерилмоноолеата (Aldo HM0 производства фирмы Glyco 30

Chemical Хпс ) в гептане с концентрацией 0,2 г/л, затем сушат при комнатной температуре в течение 2 мин.

Дальззейшие операции как в примере 1.

Изменение размеров элементов составило 45 мкм для провоцниковой и диэлектрической паст, Улучшилась равномерность толщины пленок: края линий отвесные, четкие, Пример 4. Трафарет помещают 40 на 1 мин в бензиновый раствор диэтиленгликольмонолаурата (Нойау ПСЕ производства фирмы "Нос1ау Chemical

corp. ) концентрации 0,1 г/л, сушат

Сос-яв для обработки металличес- кого сетчатого трафарета, содержащий поверхностно-активное вещество и рястворительротличающийся тсмр что, с целью снижения стоимости состава, в качестве поверхностноактивного вещества использован один иэ сложных эфиров: ангидросорбитмоностеарат или натрий дигексилсукцинатосулр фонят или глицерилмоноолеат или диэтиленгликольмонолаурат, а в качестве растворителя использован один иэ алифатических углеводородов общей формулнз СяН,„, где и = б-10р при следующем соотношении компонентов, г/л:

Поверхностно-активное вещество: ангидросорбнтмоностеарат или глицерилмоноолеат или диэтилен-. гликольмонолаурат или натрий дигексилсукцинатсульфонат 0,1-0,5

Алифятический углеводород общей формулы

С„Н„„,, где и = б-10. до 1 л,