Отрезающий фильтр

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может найти применение в оптических и оптоэлектронных приборах . Изобретение позволяет упростить конструкцию фильтров с границей рабочей области на уровне пропускания Т 0,1, соответствующей длине волны Ао,1 800- 810 нм. Фильтр выполнен из прозрачной в рабочей области спектра подложки и расположенного нэ ней интерференционного покрытия , состоящего из четырех слоев. Первый и третий слои, считая от подложки, выполнены из диоксида гафния и имеют оптическую толщину 4,25 нм, а четвертый слой выполнен из диоксида кремния и имеет оптическую толщину (0,36 Яр-233) нм, где Аррабочая длина волны фильтра в нм. 1 ил.

союз соВетских

СОЦИАЛИС ГИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (505 6 01 B 5/28

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4653969/10 (22) 05.01.89 (46) 15.04.91. Бюл. ¹ 14 (72) Е,Г,Столов и Н.Ф,Макаров (53) 535.345.67 (088.8) (56) Фурман LU.А. Тон кослойные оптические покрытия. Л.: Машиностроение, 1977, с,77—

7S.Авторское свидетельство СССР

M 1442496, кл. G 02 Б 5/28, 1987, (54) ОТРЕЗАЮЩИЙ ФИЛЬТР (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и может найти применение в оптических и оптоэлектронных прибо Изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к интерференциальным оптическим покрытиям, и Может найти применение в оптических и оптоэлектронных приборах, например спектрофотометрах, микроскопах, квантовых генераторах, передающих камерах цветного телевидения и т.п.

Целью изобретения является упрощение конструкции фильтров с границей рабочей области на уровне пропускания Т = 0,1, соответствующей длине волны ilo,1 = 800—

810 нм.

На чертеже изображена спектральная зависимость энергетического коэффициента пропускания Т от длины волны il(npln нормальном падении излучения кривая 1, при угле падения, равном 30 кривая 2) экспериментального образца фильтра для

i - 1000 нм.

Пример. Отрезающий фильтр содержит подложку из кварцевого стекла с пока. Ж, 1642226 Al рах. Изобретение позволяет упростить конструкцию фильтров с границей рабочей области на уровне пропускания Т = 0,1, соответствующей длине волны 1о,1 = 800810 нм, Фильтр выполнен из прозрачной в рабочей области спектра подложки и расположенного на ней интерференционного покрытия, состоящего из четырех слоев.

Первый и третий слои, считая от подложки, выполнены из диоксида гафния и имеют оптическую толщину 4,25 нм, а четвертый слой выполнен из диоксида кремния и имеет оптическую толщину (0,36Яр -233) нм, где Яр— рабочая длина волны фильтра в нм. 1 ил. зателем переломления n, = 1,46 и размером

500х30х10. Оптические толщины слоев интерференциэльного покрытия, считая от подложки, равны 250, 4500, 130 и 170 нм, Фильтр изготовлен на установке А

1100Q выпускаемой фирмой Лейбольд Хераус, ФРГ.

Покрытие наносилось без применения системы коррегирующих масок. При этом разброс между центром детали и краем составил 2 — 4 нм по положению фронта спектральной характеристики и не более 2 — 37ь по интегральному энергетическому коэффициенту пропускания.

Покрытие нэносилось при следующих условиях: Скорость нанесения слоя теллурида кадмия 8-10 A/ñ; Тп д . во время нанесения слоя теллурида кадмия составляет

+ (1 70 — 200) С.

При Тлодл, + 170"С происходит снижение механической прочности фильтра, при

Тп0д . + 200 С уменьшается энергетический

1642226

Формула изобретения

Отрезающий фильтр, состоящий из прозрачной в рабочей области спектра подложки и расположенного на ней интерференционного покрытия, выполненного иэ

07

800 ЯО 1000 1100 1200 g им

Составитель Н. Киреева

Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор О. Ципле

Редактор Ю. Середа

Заказ 1137 Тираж 386 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент". r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 коэффициент пропускания в рабочей области спектра.

Отрезающий фильтр имеет следующие характеристики: механическая прочность, выдерживает протирание эфиром; термическая прочность, выдерживает прогрев до+ 200 С; химическая стойкость, выдерживает пребывание в жидком азоте в течение

15 мин; средний энергетический коэффициент пропускания в рабочей области спектра

Т > 90 )ь; средний уровень фона в зоне подавления Т < 0,1 . чередующихся слоев тугоплавких окислов и селективно поглощающего материала, отл ича ю щи и с ятем,что, с целью упрощения конструкции фильтров с грани5 цей рабочей области на уровне пропускания Т = 0,1, соответствующей длине волны

ilo,> = 800- 810 нм, первый и третий слои, считая от подложки, выполнены иэ диоксида гафния и имеют оптическую толщину

10 (0,125 М + 110) нм и (0,28 Я - 110) нм соответственно, второй слой выполнен иэ теллурида и кадмия имеет оптическую толщину 4,25 нм, а четвертый слой вынолнен иэ диоксида кремния и имеет оптиче15 скую толщину (0,36 Яр - 233) нм, где Яр— рабочая длина волны фильтра в нм.