Пароводяной вакуумный насос
Изобретение позволяет расширить диапазон предельных впускных давлений а область высокого вакуума и полностью исключить попадание молекул углеводорода в откачиваемый объем. Корпус 1 совмещен с криогенной поверхностью 2. Испаритель 3 расположен в корпусе 1 и выполнен в виде электропарогенератора с соплом 4. Поверхность 2 выполнена непроницаемой и перпендикулярной линиям тока струи пара. 1 ил.
.,80„„64 808
yg)g F 04 Р 9/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
И ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОЬРЕТЕНИЯМ И OlHPblTMQM
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4439622/29 (22) 25.04,88 (46) 23.04.91. Нвл. Р 15. (71) Институт теплоАизики СО AH СССР (72) F..È.Àáîðíåâ, О.А,Нерушев, Г.А.Храмов и В.H.ßðûãèí (53) 621. 521.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
Р 1244395, кл. F 04 F 9/00, 1986. (54) ПАРОВОДЯНОЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение позволяет расширить диапазон предельных впускных давлений в область высокого вакуума и полностью исключить попадание молекул углеводорода в откачиваемый объем.
Корпус 1 совмещен с криогенной поверхностью 2. Испаритель 3 расположен в корпусе 1 и выполнен в виде электропарогенератора с соплом 4. Поверхность 2 выполнена непроницаемой и перпендикулярной линиям тока струи пара. 1 ил.
1643808 ф о р м у л а и з о б р е т е н и я
Составитель 3.Пимахова
Редактор О.Головач Техред М.Дидык Корректор Л.Бескид, Заказ 1228 Тираж 365 Подписное
ВИИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Ужгород, ул. Гагарина,101
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в технологических процессах,, требующих высокого вакуума с отсутствием угле- 5 водородов и высокомолекулярных соединений в откачиваемом объеме.
Цель изобретения — расширение диапазона предельных впускных давлений в область высокого вакуума и полного .исключения попадания молекул углево дорода в откачиваемый объем.
Иа чертеже представлен вакуумный насос. .Иасос состоит из корпуса 1, совмещенного с криогенной поверхностью
2, испарителя 3, выполненного в виде электропарогенератора с соплом 4.
Криогенная поверхность 2 выполнена непроницаемой и расположена перпендикулярно линиям тока струи пара, что позволяет повысить эффективность криозахвата.газа, поджатого струей пара. Вентиль 5 соединяет корпус 1 с форвакуумным насосом, а откачиваемый 25 объем соединяется через фланец б.
Насос работает следующим образом.
Форвакуумным насосом (не показан) создается в полости корпуса 1 предварительный вакуум порядка 10 Па, необ- 30 ходимый для запуска струи. В. теплообменник криогенной поверхности 2 подают хладагент. Включается иснари- тель,,и в полость корпуса 1 через сопло 4 поступает пар. Вентиль 5 перекрывают и отключают форвакуумный насос. Газ со стороны откачиваемого объема захватывается струей пара и уносится в сторону криогенной поверхности 2, захватывается ею и накапливается в виде криоосадка причем эффективность криозахвата повышена за счет сжатия газа в струе и увеличения эффективного давления над криогенной поверхностью 2. Ро отношению к струе это давление является форвакуумным и автоматически понижается при понижении впускного давления, что позволяет расширить диапазон впускных давлений в сторону высокого вакуума. Форвакуумный насос требуется лишь для создания предварительного разрежения при запуске насоса, что исключает возможность загрязнения откачиваемого объема углеводородами.
Пароводяной вакуумный насос, содержащий корпус, совмещенный с криогенной поверхностью, испаритель, расположенный в корпусе и выполненный в виде электропарогенератора с соплом, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона предельных впускных давлений в область высокого вакуума и полного исключения попаданий молекул углеводорода в откачиваемый объем, криогенная поверхность выполнена непроницаемой и перпендикулярной линиям тока струи пара °
