Устройство для измерения давления

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения длвчения на объектах, подпер ающихся воздействию вчияющих нечлектрическмх величин . Цель изобретения - повышение точности измерения. Устройство содержит корпус с мембраной, нл котормо нанесены спои теночного тензорсзистора 4, гигроскопического материала 7 и электрода, первый 13 и второй 18 коммутаторы , таймер 22, измерительные преобрязоватепи давления 23, температуры 31 и влажности 7, аналогоцифровой преобразователь 50 и цифровой индикатор 51. Тензорезистор 4 t контактными площадками 5, 6 явля 14ся чувствительным элементом давлении и термопреобраэователем. Чувствительный элемен 1 влажности образован структурой тензорезистор 4 - гигроскопический материал 7 - электрод. С помощью таймера 22 и коммутаторов 13, 18 процесс измерения трех величин разделен во времени. Блок 43 коррекции с помощью вычислительных устройств 29, 41 осуществляет температурную коррекцию сит 1апов при измерении давления и влажности. При измерении температуры элементы 4, 7 и 32 осуществляют коррекцию термической инерции термопреобразователя, Выходные сигналы измерительных преобразователей 23, 31, 37 последовательно преобразовываются в цифровой код с помощью аналого-цифрового преобразователя 50, и информация об измеряемых величинах отображается на цифровом индикаторе. 3 з.п. ф-лы, 2 ил. i 00

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛМСТИЧЕО1ИХ

РЕСПУБЛИК

119 И11 рц G 01 Ь 11/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

6 4 9

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

flO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР

M А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4601081/1О (22) О1. 11.88 (46) 30. 04. 9 I . Бюл, N* 16 (75) А.Ф. Ллейников (53) 537.787 (088.8) (56) Лвторское свидет« ьг тно СССР

Ф 12246 6, кл. 0 01 !. 1!/00, l986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ !1ЗМГРЕ!!!1Я ДЛВЛЕНИЯ (57) Изобр«тение относится к изме— рительной технике, в частно TH к устройствам для измерения давления на объектах, подвергающихся в»здействию влияющих незлектрич«ских величин. Цель изобретения — повьнпение точности измерения. Устройство с»держит корпус с мембраной, на которую нанесены слои пленочного т«нзорсзис тора

4, гигроскопического материала 7 и электрода, первый 13 и второй 18 ком мутаторы, таймер 22, измерителынlp преобразователи давления 23, температуры 31 и влажности 17, аналогоцифровой преобразователь 50 и цифровой индикатор 51, Тензорезистор 4 с контактными площадками 5, 6 явля— тся чувствительным элементом давления и термопреобразователем. Чувствительный элемент влажности образован структурой тензорезистор 4 — гигроскопический материал 7 — электрод. С помощью таймера 22 и коммутаторов 13, 18 процесс измерения трех величин разделен во времени. Блок 43 коррекции с помощью вычислительных устройств 29, 41 осуществляет температурную коррекцию сигналов при измерении давления и влажности. При измерении температуры элементы 4, 7 и 32 осуществляют коррекцию термической инерции термопреобразователя. Выход— ные сигналы измерительных преобразователей 23, 31, 37 последовательно преобразовываются в цифровой код с помощью аналого-цифрового преобразователя 50, и информация об измеряемых величинах отображается на цифровом индикаторе. 3 s.ï. ф-лы, 2 ил.

164 5862

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для измерения давления.

Цель изобретения — повышение точ5 ности измерения.

На фиг. 1 приведена конструкция датчика, на фиг.2 - структурная схема устройства.

Датчик содержит корпус 1 с отверстием 2 и мембраной 3, первый электрод, выполненный в виде пленочного тензорезистора 4 первой 5 и втсрой 6 контактными площадками, слой гигроскопического материала 7, слой второго электрода 8, электрические выводы 9-11 и разъем 12.

Устройство содержит первый коммутатор 13 с ключевыми элементами 1417, второй коммутатор 18 с ключевыми 20 элементами 19-21, таймер 22, измерительный преобразователь 23 давления, выполненный в виде мостовой измери тельной схемы с резисторами 24-26 и источником 27 питающего напряжения, 25 предварительного усилителя 28 постоянного тока, вычислительного устройства 29 и нормирующего усилителя 30 постоянного тока, измерительный преобразователь (ИП) 31 температуры, выполненный в виде корректирующе го резистора 32, предварительного усилителя 33 постоянного тока, вычислительного устройства (ВУ) 34, схемы

35 компенсации холодных спаев термоэлектрического термометра и норми35 рующего усилителя 36 постоянного тока, ИП 37 влажности, выполненный в виде генератора 38 переменного тока, усилителя 39 переменного на пряже кия, выпрямителя 40, BY 41 и нормирующего усилителя 42 постоянного тока, блок 43 коррекций, выполненный н виде запоминающего устройства, состоящего из коммутатора 44 с ключевыми 45 элементами 45-48 и запоминающего конденсатора 49, аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 50 и цифровой индикатор 51.

Корпус 1 выполнен в виде полого цилиндра с тремя сопряженными внутренними отверстиями из теплоизочяционного материала, например пластмассы.

В верхней чаeTH корпуса 1 закреплена при помощи клея на основе сита;<ло55 цемента мембрана 3, изготовленнач из кремниевой пластины, методом анна:>тропного трав >ения. На внутрен><и ю поверхность мембраны 3 панс г и мс т >лом вакуумного напыления первый слой электрода, выполненный в виде пленочного тенэорезистора 4 в форм; меандра с первой 5 и второй 6 контактными

<>лошадками. В качестве материала тензррезистора 4 выбран материал одного из термо.>лектродов термоэлектрического термометра, например, константана. Из этого же материала изготовлены первая контактная площадка 5 и электрический вывод 9. Вторая контактная площадка 6 и соответственно вынод 10 выполнены иэ материача другого из термоэлектродов термоэлектрического термометра, например меди, т,е. место соединения второй контактной площадки 6 с тензорезистором 4 представляет собой горячий спай термоэлектрического термометра (термопары), в данном <лучае медь-константанового. На тензо1>езистор 4 нанесен слой гигрос копическогс> материа;>а 7, например из окиси алюминия, и сплошной слой второго электрода

8, изготовленного, например, из алюминия. Выводы 9-11 с одной стороны подключены ..оответственно к контактным площадкам 5, 6 и второму электроду 8, »апример, компрессионной сваркой, а с другой стороны соединены с штырьками разъема 12. При этом структура тензорезистора 4 — гигроскопический материал 7 и второй электрод — образуют электрический конденсатор, являющийся чувствительным элементом влажности и элементом корректирующего звена (», 7, 32), улучшающий динамические характеристики термопары 6, 10 в процессе измерения температ"ры. В качестве такого же 3

Параллельно выводам 9, 11 датчика подключен ключевой элемент 16 первого коммутатора 13, входы ключевых элементов 14, 15 которого соединены с выводом 11, а вход ключевого элемента 17 — с выводом 9. Вывод 10 датчи.а подключен к точке с нулевым потенциалом. Выход ключевого элемента 14 первого коммутатора 13 соединен с <>дними из входов генератора 38 перемени;>с тока ИП 37 влажности усилителя 19, другие входы которых подклк чень< к точке с нулевым потенциалом. Выход ключевого элемента 17 первого коммутатора 13 соединен с одним из >меод >в резистора 24 ИП 23

5 164 давления и с одним из входов предварительного усилителя 28, другой вход которого подключен к одним иэ выводов резисторов 25, 26. Другие выводы резисторов 24, 25 соединены с клеммой источника 27 питающего напряжения, а другой вывод резистора 26 подключен к точке с нулевым потенциалом. Выход же ключевого элемента 15 соединен с одним иэ выводов корректирующего резистора 32 и одним иэ входов предварительного усилителя 33 (ИП 31 температуры), дру> и выход которого подключен к точк е с нулевым потенциалом и другим выг>одом корректирующе го ре зис тора 32 °

Выход предварите.>ьного усп:п>теля

28 ИП 23 давления сс единен с одним из входов ВУ 29, др> гой вход которого подключен к входу кпк>чево<о элемента 45 коммутатора 44 f>пока 43 коррекции. Выход же ВУ 29 через нормирующий усилитель 30 соецпп и с входом ключевог о элемента "0 второго коммутатора 18 °

Выход предваритепьног<> Y<»nèò< ëÿ

32 ИЛ 31 температуры подключен к одному из входов РУ 34, другой вход которого соединен с выходом схемы 35 компенс ации. Выход же ВУ 34 и< дк пючен к выходу кг>ючевогс .>.>ем< нта 47 коммутатора 44 блока 43 коррекции и через нормирующий усилитель 36 с ne;i»нен с входом ключевогo э >смен а 19 второго коммутатора 18.

Выход усилителя 39 иерем нного напряжения ИП 37 впажн«-ти через выпрямитель 40 подключен к оцпому иэ входов BY 41, другой вход козорого соединен с выходом к.>оч<. ного элемента 46 коммутатора 44 блока 4 3 коррекции. Выход же ВУ 41 через нормирующий усилитель 42 подкпючеп к входу ключевого элемента 21 второго коммутатора 18.

Входы ключевых элементов 45-48 коммутатора 44 блока 43 коррекции соединены между собой и полк:>ючены к одной иэ обкладок конценсатсра 49, другая обкладка которого с«динена с точкой нулевого потенциала, с которой также соединен вход ключевого элемента 48.

Выходы ключевых элементов 19-21 второг о коммутатора 18 соединены между собой и через АЦП 50 подключены к входу цифрового индикатора 51.

Первый выход таймера 22 с.оединен с

5862

РО

2S

05 управляющим входом коммутатора 44 блока 43 коррекции, второй выход— с установочным входом АЦП 50, третий выход — с управляющим выходом второго коммутатора 18, четвертый выходс управляющим входом первого коммутатора 13.

Устройство работает спедующим образом.

Процесс измерения физических величин разбит во времени на несколько тзктов. В первом такте измеряется температура с помощью ИП 31 темперагуры, коммутаторов 13, 18, таймера

22, АЦП 50 и индикатора 51, При этом учитывается температура холодных спаен 6, 10 термометра и подключается корректирующее звено 4, 7, 32, т,е, пропзнопится электронная коррекция тепловой энергии. термом< тра ° При этом значение измерительного сигнала заполпгн<эет< я и бл< ке 43 коррекции. Во втором такте производится измерение да>э»< ния с учетом изменений температуры < помощью ИП 23 давления и соответственно коммутаторов 13, 18, займера 22, АЦП 50 и индикатора 51.

В третьем такте нроизводится повторное измерение теи:".с>атуры с запоминанием в блоке 43 > <,3>рекц>ги ее текущего эпачення . В ч< тнертом такте произз вод птс я и э ме ре н не вл ажнос ти с температурной коррекцией <- помощью ИП

37 гэлажцости, блока 43 коррекции, к<>миутаторов 13, 18, таймера 22, ЛЦП 50 и индикатсра 51.

При измерении температуры таймер

22 приводит и исходное состояние АЦП

50, <.нимает ос таточное напряжение с конденсатора 49 блока 43 коррекции путем кратковременного замыкания кпн>чевого элемента 48, устанавливает ключевой элемент 47 коммутатора 44 в положение Замкнуто, а ключевые элементы 45, 46 — в положение "Разомкнуто". В первом коммутаторе 13 ключевые элементы 16, 15 устанавливаются в положение "Замкнуто, а ключевые элементы 15, 17 — в положение

"Разомкнуто, а Во втором коммутаторе 18 ключевые элементы 20, 21 устанавливаются в положение Разомкнуто", ключевой элемент 19 - в положение Замкнуто >. В результате выход ИП 3 l температуры подключает=я к входу АЦП 50, выход BY 34 — к входу блока 43 коррекции, а термоэлектрический термометр 6, 10 и корректирующее звено 6, 4, 32 — к входу предварительного усилителя 33. Таким образом, элементы 6, 4, 32 образуют пассивное корректирующее звено г

5 передаточной функцией вида

T.t< P + 1

К Т}<Р

1О где К вЂ” коэффициент коррекц}111, равный отнбшению суммы сс противлений терморезистора 4 и резистора 32 и сопротивления резистора 32;

Т вЂ” постоянная времени коррекции, равная произведению емкости элемента 7 на Значс— нне с опроти вления ре з иг тора 32.

Ввиду Тс го, что элеме нты 7 1 цепи коррекции являют<-я еще и чувствительными элементами соотв«тг тв«нно вла)кнос TH и давления, то эти 1;«вЂ” личины оказывают влияние на по< тоянную времени коррекции, Однако 11-ме— нением емкости при воздействии в}}ажности и температуры при проведен»}и коррекции можно прекебречь. ПействиТЕЛЬНО, ИЗ }ЕНЕНИЕ ЕМКОСТИ ПРаКтИЧеСки реализованного влагочувствитc:rüного конденсатора на основе окиги

20

30 алюминия в диапазоне влажное T}«)т

20 до 1007, »е превышает 17., темперастантового тензорезистора такж< }к велико, Таким образом, при дракlич< кой реализации уcTpoAcTBR рас:<= т л пей первичных измерительных пр<ос; а зователей влажности и давления в

СЯ С УЧЕТОМ ДОПОЛНИТЕЛЬНЫХ TP«r)n!3Д— ний, предьявляемых к элементам 7, как составляющим цепи корр-кции T

Ввиду того, что И пь корр«к}п}н уменьшает гигнал с термопары 6, 10 в К раз, сопротивление резне т ор.3 3 выбирается íà íеcKîëüко пr)ðÿ}7}

Усиленный сигнал с предваритr ) h— ного у< }Iril!T< .}я 33 посту1}ас r ir<}

50

55 турные изменения емкости этого мате35 риала также незначительны. Относительное изменение сопротивления к. и}ЗУ 34, .ка другой вход I«)7 )рогo 1m}taется напряжение комп«H< ации горячих

< паев (свобс)дных концов) терм< пары п сх< мы 35. Выходной сигна.l ВУ 34

11<)< тупает в блок 43 коррекции, где запоминается на кондексаторе 49, и

}ta вход .}ормирующего усилителя 36, к<торый кормирует входной сигнал в

<о< тветствии с принятой шкалои измер вия температуры.

Выходной сигнал с кормирующего у< илителя 36 преобразуется в цифровсй код с ;}омощью ЛцП 50, а информаlIr<}t о т мператур« отображается на цифров< м индикаторе 51.

При и}мер«кии давпения таймер 22 устанавливает АЦП 50 в игходное состоя rr}rv, ключевой з чемент 1 7 первого коммутатора 13, ключево"1 )лемент 20 второ}<) коммуTàT)р;- 18, к.почевои злсме}17 45 коммутатора 44 блока 43 коррекиии — }3 положение Замкнуто, 3

К.rl}<)

:rJt«м«нт 47 к ммутатора 44 блока 4 3 коррекции — в поло)}1 ние Разомкнуто, Ключевьн. земеиты 48, 46 коммутатора <4 бл«ка 43 коррекции ранее наход«.}ись в положснии Разомкнуто . В этом глучае тензорезигтор 4 совмегтr<) c т рмопарой 6, 10 подключается к мос тов< и i змер}3тель}}о}1 схеме 24-26, корр акт}}рующей напряжение, запомненI но«на кс и;}енсаторе 49 блока ч3 корр . кции, пос тупает на вход BY 29 ИП 23 л:IBления, а сигнал с выхода норми1 р,ющ«r<) . -илителя 30 через ключевой

)лемент 2} lie тупа T на вход ЛЦП 50.

Вв:I.(Y ма<}ой чувстви гельности термопары 6, 10, изменение ее выходного сигна }а не оказывает влияния на погр«ш ног ть измерения давления, а при рас «от< первичного преобразователя

6, 1(}, 2, 25, 26 давления можно обег пс нить нес}бходимое приращение сигна ia ра.}га)}анса моста 24 — 26 на единицу изменения давлен}}я при маrlc)M токс и таки:.r, чтобы не вызвать значит< льный нагрев рабочего спая те рмопа}я,. в Il роц< г сp измерения дав:}ения, 7 . < . .практически исключить гу c T 3}1. яюшую дополнительной поi решно<.т ll llзм< р«ния давления.

Корр кllliя 3< информациоH}!îãî curil lrlа в у c})<)il< сн< llrl в Iажногти при и 3м р; ннн t:}«1. }i»H ч< }}р<}изводит< я, ГИК К }} . . 11 :i},1 С } l Till

164 >862

1О

p(f не зависят О1 11 змс 11ени я > Гой в пи-. яющей величины. Кроме того, при и>

ГОТОВЛЕНИИ ДЛТЧИКЛ ДПЯ 11(КЛЮЧ««ни

ЭТОГ(! ВЛИЯНИЯ МОГYT (>blÒI «РИМРВ«ИЫ конструктцнно-техно>1ОГ11««ские прие5

МЫ, ЗЛКПЮЧЛЮЩИЕСЯ, НЛПР11М(Р, В Д<цолнительцом напылении нл с ч()й тензорезистора тонкой Вп г(>1лщит«ой пленки (не показано).

V ° . сипенный;с «гнал с вых< дл пр(двлритепьного усилите. (я 28 пс с T) ïëå T нл вход Ву 9, которс е 1:1оизв rrlrT

1 температурнук к< Ррекцию сигнала, ««в

СУПЕГО ИифОРМЛЦИВ С ИЭМЕРЧСМОМ ленин. C помощью )(с плит«1>я )Л тл ° ж как и при измерении темперлтуры, ()cY ществчяется О«ерлция «Ормировлн«я

ВХОДНОГО (. И ГНЛЛЛ В С ООТК« t(Т Г<И11 C принято>1 шкл чай измерен>1« дквп««11я ?О и линелризлции номинал> >с r «тлт>(ч«ской характеристики клнлпл изм(ре«ия. 1ллее ЛПП 50 преобра.>у(г 1<ых<>д«ой сигнал усилите.>я 30 в цифровой кс д и информация Об изме>>я(м()м ьз«,< нии 25 отображается нл цифровом >1«ч>1клторе 51.

1ри рассмотрении рлбот>,1 бл< ка 4 1 коррекции условно «ри«ят(, чт<) при увеличе> ии тем«ературы лбс <) н<гг«;ln погрешность изм< ренин длв«е«ия тлк же, как и Влажности, возрл«гл. т в области положительных з><л 1«1<« й.

Поэтому дпя упрощения Ву ":1 1«ментов 41 рассматриваются клк 1 .!«>ITa>(>35 щие устройства, пос трое«Вы«, нл(>ример, на базе дифференпиа>>ь«ых Операционных усилителей. <1>О1>м><ровлние «Ообход«мой зависимости корректирующего напряжения осуществляется, напри- 40 мер, изменением коэффициента передачи предварительного усилителя 33 и введением делителя напряжений, устанавливаемого на корректирующем входе ВУ 29. Определение этой зависимости производится эксперим «тлльным или расчетным путем в процессе проектирования конкретного устройства.

При измерении влажности предварительно производят описанным образом 50 измерение температуры, затем таймер

22 устанавливает в исходное состояние

АЦП 50, ключевой элемент 14 первого коммутатора 13, ключевой элемент 21 второго коммутатора 18 и ключевой э элемент 46 коммутатора 44 блока 43 коррекции в положение Замкнуто остальные ключевые элементы коммутаторов 13, 18, 44 находятся в разом-кнутом состс>яиии, Таким Образом, на чу в."твительный элемент влажности подается переменное напряжение с генератораа 36 тока, молекулы воды абс орбируются гигроскопнчным материалом 7, вызывая изменение его диэлектрических хлрлктеристик и, соответственно, ег<> кроводимости (полного сопротивления) . Ввиду того, что на элемент 7 пог(летс я с табильный электрический сигнал От генератора 36 тока, падение

Напряжения ня вьгводах 11, 10 датчика

««(т 11нформлцик) об изменении относите <ьlfnlr влажности воздуха. При этом клк и 1 Ри 1<эмерении давления, термоплрл 6, 10 включена в измерительную ц< ч>, ь лн(1.1л измерения влажности, ПО:>тому вс(дополнительные требования дпя и;кпк>пения ее влияния на процес< иэмере«lrя вллжности, описанные к>>ше, Taf(>f(<. Необходимо соблюдать при проектировании конкретных устройств. 1то «лде«ие нлпряжения усиливает(я усилителем 39, который может содержать )чементы компенсации начлль«nI«<)< тав >яющей вхсдногс напряжения

1 к цепях Обеснече«ия нулевого сигналя

>! <> Il<)H при«ятс и нулев()й B!,àìíîc Tè.

Вых д«сн ll(реме«ое «лвряжение с уси>итепя 19 «реобрлэ к- кается В «oc T() янно(нл>>ряж(1>ие и:(осту(>лет на один из Входов ВУ 41, с п >мощью которого аналогично гроизводится температурная коррекция информацио<(ного сигнала. Необходимость f oppeкции с >rналя, несущего информлгив о влажности, В зависимости от изменения давления отпадает, тлк как в процессе изме—

>енин давления практи ески не изменяются ни диэлектрические характеристики гигросорбционного материала 7, на площадь электродов 4, 11, ни расстояние между ними.

Нормирующий усилитель 42 аналогично проводит нормирование Входного сигнала в cooTB(.TcTBHH с принятой шкалой измерения влажности и Операцию линеариэации характеристики канапэ измеРения влажности AUJI 50 преобразовывает Выходное напряжение усилителя 42 в цифровой код, а информация с. влажности отображается на цифровом индикаторе 51. Далее все так Гы измерения повторяются.

Э о р м у в а и з о б р е т е н и я

1. Устройство для измерения давления, содержащее датчик, Выпопнен164 )8б2 ный в виде мембраны, установленной в корпусе, в котором размещены на изолирующей подложке первый электрод в виде меандра с первой и второй контактными площадками, тонкий слой гигроскопического материала и второй электрод, а также измерительные преобразователи давления, те.;пературы и влажности, блок коррекции, управляющий вход которого соединен с первым выходом таймера, второй выход которого подключен к установочному входу аналого-цифрового преобразователя, выход которого соединен с входом цифрового индикатора, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью поны— щения точности, в него введены первый и второй коммутаторы, а первый электрод размещен на мембране и ны; полнен в виде тенэорезистора иэ константана, его первая контактная площадка также выполнена иэ константана а его вторая контактная площадка выполнена из меди, причем его первая контактная площадка соединена с первым входом первого коммутатора непосредственно, а вторая соединена с вторым и третьим входами соответственно через резистор и конденсатор, первый и второй выходы первого коммутатора подсоединены к измерительному преобразователю давления, а первый и третий - параллельно к измерительным преобразователям температуры и влажности, причем выходы измерительных преобразователей давления, температуры и влажности иолсоединены соответственно к первому, второму н третьему входам второго коммутатора, выход которого подключен к входу аналого-цифрового преобразователя, а управляющий вхоп — к третьему ныхоцу таймера, четнертый выход которогo подклю ен к управляющему входу г1ерног о коммутатора.

2. Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем. что измерительный преобразователь давления выполнен н виде резисторного моста, 5 одно плечо которого подключено к входу преобразователя, а измерительная диагональ — к последовательно соединенным первому усилителю, вычислительному устройству и второму усилителю, подключенному к выходу преобр".ýoâàòeëÿ.

3. Устройство по ип.1 и 2, о т и и ч а ю щ е е с я тем, что измерительный преобразователь температуры выполнен н виде предварительного усилителя постоянного тока, вход которого соединен параллельно с корректирующим резистором и с входом преобразователя, а выход — с первым входом функционального преобразователя, второй вход которого иодКлючен к схеме компенсации холодного спая термопары, причем выход функционального преобразователя соединен с первым выходом блока коррекции и с входом нормнрующего усилителя, выход которого соединен с выходом преобразователя.

25

4. Устройство ио ии. 1 — 3, о т л ич а ю щ е е с я тем, что измерительный преобразователь влажности выполнен н виде генератора перемен35 ного тока, выход которого соединен с входом преобразователя и входом усилителя переменного напряжения, выход которого через выпрямитель под40 ключен к первому входу нычислителя, второй нхол которого соединен с вторым выходом блока коррекции, а выход — с входом нормирующего усилителя, выход которого подключен к ныхо45 л преобразователя.. 1645862

Составитель А. Зосимов

Техред Л.Олийнык

Корректор Т,Палий

Редактор М, Келемеш

Заказ 1346 Тираж 351 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул. Гагарина, 101