Лазерный интерференционный прибор

 

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля прямолинейности и плоскостности. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности. Прибор включает блок преобразования перемещений с пятью уголковыми отражателями 28-32, прямоугольной призмой 33 и штоком 34, блок контроля , содержащий плоский отражатель 26. линзу 27 и прямоугольную призму 25. Прибор включает также интерференционный блок, содержащий два светоделителя 14 и 15, четыре пары оптических клиньев 7, 16, 17 и 19, четыре прямоугольных призмы 20, 21, 22 и 23 и измерительный блок. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)ю G 01 8 11/26

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

t8 f4 7 f0 MZ7 Z5

И

Л (21) 4477238!28 (22) 19.08.88 (46) 07,05.91, Бюл. М 17 (72) А.А.Смирнов и А.M.Øàðêèí (53) 531,715,1(088,8) (56) Оптические приборы. Каталог-справочник. Дом оптики. М., 1981, т.1, с. 1, 1. 94 — 81. (54) ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ

ПРИБОР (57) Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля прямолинейности и плоскостности.

Целью изобретения является расширение

„„БЦ „„1647241 А1 функциональных воэможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности. Прибор включает блок преобразования перемещений с пятью уголковыми отражателями 28 — 32, прямоугольной призмой 33 и штоком 34, блок контроля, содержащий плоский отражатель 26, линзу 27 и прямоугольную призму 25. Прибор включает также интерференционный блок, содержащий два светоделителя 14 и

15, четыре пары оптических клиньев 7, 16, 17 и 19, четыре прямоугольных призмы 20, 21, 22 и 23 и измерительный блок. 1 ил.

1647241

45 светоделитель 15. Один из лучей, проходя- 50 щих светоделитель 14, плоским зеркалом 24. калом 24 на линзу 27, пройдя через линзу 26 и отразившись от поверхности плоского от- 55

Изобретение относится к технике измерения и может использоваться для контроля отклонений от прямолинейности и плоскостности, Цель изобретения — расширение функциональных возможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности.

На чертеже представлена схема прибора.

Прибор содержит измерительный блок, включающий лазер 1, афокальную си стему 2, светоделитель 3, прямоугольные призмы 4 — 6, четыре афокальные системы

7-10, модулятора 11 и два фотоприемника

12 и 13, интерференционный блок в, виде двух светоделителей 14 и 15, двух пар оптических клиньев 16 и 17, установленных соответственно попарно в ходе лучей, отраженных от светоделителей, двух пар оптических клиньев 18 и 19, ориентированных друг относительно друга гипотенузными гранями, четырех прямоугольных призм

20 — 23, попарно расположенных в ходе излучения, проходящего через каждый из светоделителей 14 и 15, каждая пара Клиньев установлена между плоским зеркалом 24 и блоком контроля, выполненным в виде последовательно расположенных прямоугольной призмы 25, ориентированной основанием к отраженному от светоделителя 14 интерференционного блока излучению, плоского отражателя 26 и линзы 27, в фокальной плоскости которой установлен отражатель 26, блок преобразования перемещений выполнен s виде пяти уголковых отражателей 28 — 32, три 28 — 30 из которых расположены в одной плоскости и ориентированы основанием навстречу излучению, отраженному от плоского зеркала, отражатель 32 оптически связан со светоделителем

15, штоком 34, скрепленным с прямоугольной призмой 33.

Прибор работает следующим образом.

Излучение от лазера 1 делится светоделителем 3 на два потока, один из которых направляется на светоделитель 14, а второй через прямоугольную призму 6 на второй направляется на уголковый отражатель 28, отразившись от которого направляется зерражателя 26, излучение направляется на прямоугольную призму 25, отразившись от которой через клинья 16 возвращается в интерференционный блок, проходит через него, отражается от прямоугольных призм 4

40 и 5, проходит через афокальные системы 7 и 9, модулятор 11 и попадает в фотоприемник 12. Второй луч от светоделителя 14, пройдя через призму 21, отражается от уголкового отражателя 28, призмы 20, проходит через клинья 18, призмы.4 и 5 и попадает в фотоприемник 12. Информация с фотоприемника 12 используется для введения поправок на изменение внешних условий в результат измерения.

При перемещении штока 34 по контролируемой поверхности (не показана) вследствие изменения длины лучей, отраженных и проходящих интерференционный блок, образуется интерференционный сигнал, пропорциональный величине перемещения штока 34. Аналогичным образом образуются два луча, отраженные от уголкового отражателя 32, отражателей 30 и 31, проходящие через интерференционный блок и попадающие на фотоприемник 13. Сигналы с фотоприемников 12 и 13 поступают в преобразователь (не показан), выдающий информацию о контролируемой величине.

Формула изобретения

Лазерный интерференционный прибор, содержащий блок преобразования перемещений с двумя уголковыми отражателями, интерференционный блок в виде двух светоделителей и двух пар оптических клиньев, установленных соответственно попарно в ходе лучей, отраженных от светоделителей, и измерительный блок, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности, он снабжен двумя парами оптических клиньев и четырьмя прямоугольными призмами, попарно расположенными в ходе излученйя, проходящего через каждый из светоделителей интерференционного блока, каждый из клиньев в паре ориентирован основанием друг относительно друга, каждая из двух пар клиньев установлена соответственно между одним из светоделителей и прямоугольной призмой, и блоком контроля, выполненным в виде последовательно расположенных прямоугольной призмы, ориентированной основанием к отраженному от одного из светоделителей интерференционного блока излучению, линзы и плоского отражателя, установленного в фокальной плоскости линзы, а также тремя угол ковыми отражателями блока преобразования перемещений, установленными в одной плоскости и ориентированными основанием навстречу излучению, отраженному от плоского зеркала, и штоком, скрепленным с прямоугольной .

1647241

Составитель Н. Захаренко

Техред М.Моргентал Корректор М. Максимишинец

Редактор 8. Данко

Заказ 1388 Тираж 393 Подписное

8НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101> призмой, ориентированной основанием вания перемещений оптически связан со параллельно оптической оси, один из -. светоделителем интерференционного уголФовых отражателей блока преобразо- блока.