Компрессионный манометр

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к компрессионным манометрам для измерения малых абсолютных давлений сухого газа Целью изобретения является повышение точности При повышении уровня ртути запорный элемент 10 в виде поплавка поднимается. открывая доступ ртути в камеру I сжатия, одновременно перекрывая патрубок 6 присоединительной трубы 4 с охлаждаемой кой 5. В этом случае отсутствует откачивающее действие ртутного пара в сторону ловушки 5 Давление определяют по разнице уровней ртути в капилляре 2 и напор ной трубе 7 При опускании уровня ртути камера 1 сжатия соединяется с присоединительной трубой 4, которая отсоединя ется от резервуара 8 с ртутью Элемент 10 м.б размещен соосно камере 1 сжатия к снабжен электромагнитным приводом, подключенным к сигнализатору уровня , установленному в патрубке 9 1 с и 3 i п ф-лы, 2 ил

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 G Ol L 21/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4683340/10 (22) 25.04.89 (46) 15.05.91. Бюл. № 18 (71) Физико-механический институт им. Г. В. Карпенко (72) P. И. Ванькович (53) 531.787(088.8) (56) Лекк Дж. Измерение давления в вакуумных системах. М.: Мир, 1966, с. 18, фиг. 6. (54) КОМПРЕССИОННЫЙ МАНОМЕТР (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к компрессионным манометрам для измерения малых абсолютных давлений сухого газа. Целью изобретения является повышение точности.

При повышении уровня ртути запорный

„,90„„1649325 A 1 элемент IO в виде поплавка поднимается. открывая доступ ртути в камеру 1 сжатия, одновременно перекрывая патрубок 6 присоединительной трубы 4 с охлаждаемой ловушкой 5. В этом случае отсутствует откачивающее действие ртутного пара в сторону ловушки 5. Давление определяют по разнице уровней ртути в капилляре 2 и напорной трубе 7. При опускании уровня ртути камера 1 сжатия соединяется с присоединительной трубой 4, которая отсоединяется от резервуара 8 с ртутью. Элемент !0 м.б. размещен соосно камере 1 сжатия и снабжен электромагнитным приводом, подключенным к сигнализатору уровня ртути, установленному в патрубке 9. 1 с. и 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

1649325 .

Формула изобретения

40 5

3

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам измерения малых абсолютных давлений сухого газа и ри помощи компрессионных манометров.

Цель изобретения — повышение точности измерения малых абсолютных давлений сухого газа при давлениях ниже 10 Па.

На фиг. 1 изображен предлагаемый компрессионный манометр, общий вид; на фиг. 2 — вариант манометра с соосным размещением распределителя.

Манометр содержит камеру I сжатия с капилляром 2 в ее вершине и с патрубком

3, раздельные присоединительную трубу 4 с охлаждаемой ловушкой 5 и патрубком 6, напорную трубу 7, а также резервуар с ртутью 8 с патрубком 9 и устройство перемещения уровня ртути (не показано).

Патрубок 3 присоединительной трубы 4 размещен над патрубком 9, а между их торцами помещен двухсторонний переключающий элемент 10. На фиг. 1 он показан в виде поплавка с коническим притертым запирающими поверхностями и балластом 11, обеспечивающим опускание поплавка на нижнее седло сразу же после истечения уровня ртути ниже верхнего торца патрубка 9.

Переключающий элемент 10 может быть снабжен электромагнитным приводом 12, который подключен к сигнализатору 13 уровня ртути, установленному в патрубке 9.

В исходном положении (до начала цикла измерений) уровень ртути находится ниже патрубка 9. При этом переключающий (запорный) элемент 10 отсоединяет зеркало ртути от охлаждаемой ловушки. Это исключает возникновение струи ртутного пара к охлаждаемой ловушке. С началом цикла измерения устройство перемещения ртути начинает поднимать уровень ртути в манометре. При этом запорный элемент 10 (поплавок) всплывает, открывая отверстие патрубка 9 и закрывая патрубок 6 присоединительной трубы. Это опять исключает возникновение струи ртутного пара.

При ходе уровня ртути снизу вверх и в промежуточном положении запорного элемента 10 зеркало ртути кратковременно сообщено с полостью вакуумной системы.

Г1ри дальнейшем подъеме уровня ртути запорный элемент 10 запирает трубу 4, а затем все более погружается в ртуть, это увеличивает силу его прижатия к седлу 5.

Далее происходит сжатие газа в камере 1 и в ее ка п илл яре.

После окончания сжатия газа по связным значениям высот уровней ртути в капилляре 2 и в напорной трубе 7 вычисляют значение измеряемого давления, как обычно, по известному уравнению измерения, но уже без всякой поправки на эффект откачивающего действия ртутного пара. Значение начального объема V камеры сжатия определяют, учитывая положение уровня ртути в момент перескока запорного элемента !О по команде датчика 13 уровня или в момент касания поплавка 10 торца патрубка 6.

При ходе уровня ртути сверху вниз давление газа в камере сжатия уменьшается, приближается к давлению в полости вакуумной системы. Однако теперь к давлению газа добавлено давление паров ртути, успевших испариться в полость камеры сжатия.

При дальнейшем опускании уровня ртути поплавок 10 садится на торец патрубка 9 и опять отсоединяет зеркало ртути от вакуумной системы. При этом полость вакуумной системы посредством присоединительной трубы 4 сообщается с камерой 1 сжатия.

Происходит выравнивание давления газа.

Однако ртутный пар, успевший наполнить камеру сжатия, устремляется к охлаждаемой ловушке, что вызывает незначительный кратковременный струйный эффект.

1. Компрессионный манометр, содержащий камеру сжатия с заглушенным капилляром и первым патрубком, резервуар с ртутью и вторым патрубком, присоединительную и напорную трубы, причем напорная труба соединена с вторым патрубком, а присоединительная труба снабжена охлаждаемой ловушкой и третьим патрубком, при этом второй и третий патрубки размещены вертикально и соосно, и устройство для перемещения ртути, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения давлений ниже 10 Па, он снабжен распределителем с переключающим элементом и тремя входами, подключенными соответственно к первому, второму и третьему патрубкам.

2. Манометр по и. 1, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, в нем переключающий элемент выполнен в виде поплавка, размещенного между противолежащими торцами второго и третьего патрубков.

3. Манометр по п. 1, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов, в нем третий патрубок размещен внутри камеры сжатия соосно с первым патрубком.

4. Манометр по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он снабжен сигнализатором уровня ртути, размещенным на втором патрубке, а распределитель выполнен электроуправляемым и подключен по управлению к сигнализатору уровня.

1649325

Составитель A. Соколовский

Редактор M. Келемеш Техред А. Кравчук Корректор Н. Король

Заказ 1514 Тираж 351 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС1:Р

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 45

Производственно-издательский комбинат «Патент», г, Ужгород, ул. Гагарина, 101