Устройство для получения рентгеновских топограмм монокристаллов

 

Изобретение относится к научному приборостроению, в частности к камерам для получения рентгеновско го топографического изображения деОектов структуры монокристаллов.Паль изобретения - повышение контраста топограЛического изображения. Камера включает основание 1, на котором лежит подвижное основание 2 с закрепленной на нем гониометрической головкой Зо Подвижное основание 2 посредством параллелограммного механизма, состоящего из тяг 4-5 и шарниров 6,7 и 3, 9, может совершать поступательное движение относительно основания 1. Гониометрическая головка 3 снабжена столиком 10 с держателем 11 образца, который связлн со шторками 12. Па столике 10 закреплена рамка 17 для установки фотокассеты 18 На одной из пторок 12 жестко закреплена гребенка 27, содержаная систему тонких пластин 28, веерно расходящихся по вертикали от направления, прочерез фокус. 2 ил. с 4О

СООЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 0 01 N 23/20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЭ06РЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ fHHT СССР (21) 4439645/25 (22) 26. 04. 38 (46) 23.06.91. Вюл. м 23 (71) Институт физики металлов Уральского отделения АН СССР (72) В.11. Гундырев (53) 621.386 (088.8) (56) Хейкер Д.H., Зевин Л. С. Рентгеновская дифрактометрия. — M.: ФМ, 1963, с.64-65.

Сб. Рснтгенография в физическом металловедении. — М.: Металлургия, 1961, с.232-233.

Авторское свидетельство СССР

Р 998928, хл. С 01 N 23/20, 1981. (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ РГНТГЕНОВСКИХ ТОПОГРАФ«М МОНОКРИСТАЛЛОВ (57) Изобретение относится к научному приборостроению, в частности к камерам для получения рентгеновского топографического изображения деИзобретение относится к научному приборостроению, в частности к камерам для получения рентгеновского топографического изображения дефектов структуры монокристаллов.

Цель изобретения — повышение контраста топ ографическог о из ображения.

На фиг.1 представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг.2— расположение гребенки на виде сбоку.

Камера содержит неподвижное основание 1, на котором лежит подвижное основание 2 с укрепленной на нем гониометрической приставкой 3. Подвижное основание 2 соединено с двумя

2 ()eKToB структуры монокристаллов.Пель изобретения — повышение контраста топографического иэображения. Камера включает основание 1, на котором лежит подвижное основание 2 с закрепленной на нем гониометрической головкой 3. Подвижное основание 2 посредством параллелограммного механизма, состоящего из тяг 4-5 и plRpHHpoR

6,7 и 3, 9, может совершать постунатель:гое движение относг:тельно основания 1. Гониометрическая головка 3 снабжена столиком 10 с держателем 11 образца, который связан со шторками

12. Па столике 10 закреплена рамка

17 для установки фотокассеты 18. На одной иэ шторок 12 жестко закреплена гребенка 27, содержаная систему тонких пластин 28, веерно расходящихся по вертикали от направлсния, проходящего через фокус. 2 ил. равнымп по длине тягаглг 4 и 5, одни копцы которых закреплены шарнирами

6 и 7 на основании 2 так, что прямая, соединяющая шаргнгры, проходит через главную ось гониометрической приставки 3, а противоположные концы тяг 4 и 5 закреплены на основании

1 шарнирами 8 и 9, оси которых лежат в плоскости, проходящей через фокус

Ф рентгеновской трубки (на фиг. не показана) ° Расстояние между шарнирами 6 и 7 равно расстоянию между шарнирами 8 и 9. Тяги 4 и 5 расположены параллельно плоскости, в которой лежат главная ось О гониометрической

1658050

20 приставки 3 и фокус Ф рентгеновской трубки.

Установленная на основании 2 гониометрическая приставка 3 содержит столик 1О с установленным на нем держателем,1 образца, который связан со шторками 12. На валу (на фиг, не показан), сооспом с главной осью О гониометрической приставки 3, укреплен подвижно кронштейн 13 детектора

14 ° На столике 10 и кронштейне 13 с помощью шарниров 15 и 16 закреплена рамка 17, выполненная в форме шарнирного параллелограмма. При этом ось шарнира 15 совпадает с главной осью

О гониометрической приставки 3. На рамке 17 шарнирно закреплена фотокассета 18. Кронштейн 13, рамка 17 и рычаг 19, один конец которого находится па одном валу с кронштейном 13, ;l другой выполнен в виде шарнирного полэуна 20, установленного в неподвижных направляющих 21 и 22, представляют собой механизм вращения и ориентации фотокассеты 18. Расстояние между осями шарниров 6 и 8, а также 7 и 6, равны расстоянию между главной осыэ О и осью шарнира 23.

Па основании 1 также установлены толкающий механизм 24 с двигателем

25, взаимодействующий с подвижным основанием 2, и неподвижный коллиматор 26 ° -Ось шарнира 23 полэуна 20, центры щелей коллиматора 26 и фокуса Ф лежат в одной плоскости. На одной из шторок 1 жестко закреплена гребенка 27, содержащая систему тонких плоских пластин 28, равномерно распределенных по всему основанию гребенки 27 и выполненных иэ хорошо поглощающего рентгеновские лучи материала. Плоскость каждой пластины

28 проходит через точечный фокус Ф рентгеновского источника и перпендикулярна отражающим кристаллографическим плоскостям.

Устройство работает следующим образом.

При среднем положении камеры узкий пучок характеристического излучения направляется на центр образца и по детектору 14 образец выводится в отражающее положение К компоненты

3 излучения ° После этого раскрываются щели неподвижного коллиматора 26 в соответствии с требуемой горизонтальной расходимостью первичного пучка, которая определяется шириной исполь25

55 зуемого участка спектра, углом дифракции и вертикальными размерами образца (вследствие изгиба линии дифракции). шторки 12 устанавливаются в положение пропускания только дифрагированного пучка. Кронштейн 13 скрепляется с рычагом 19. Фотокассета 18 устанавливается на рамке 17 на требуемом расстоянии от образца. После юстировки камера выставляется в положение, при котором освещается край, например левый, образца. Сканирование образца производится эа один проход из одного крайнего положения до другого крайнего положения.

Скорость сканирования выбирается в зависимости от интенсивности дифрагированного излучения.

При включении двигателя 25 толкающий механизм 24 приводит в движение подвижное основание 2, которое вместе с закрепленной на нем гониометрической приставкой 3 благодаря тягам 4 и

5 совершает вращение вокруг оси, проходящей через фокус Ф рентгеновской трубки при одновременном вращении с той же скоростью, но в противоположном направлении вокруг главной оси О гониометрической приставки 3. При перемещении подвижного основания 2 рычаг 19, упираясь в направляющие 21 и

22, вынужден поворачиваться. При этом вместе с ним поворачивается кронштейн

13 с рамкой 17. В это время фотокассета 18 вращается вокруг главной оси

О со скоростью, в два раза большей скорости вращения самой гониометрической приставки 3, и одновременно вращается под действием движения рамки 17 вокруг оси, проходящей через плоскость фотопластинки и плоскость, в которой лежат оси шарниров 15 и

16, со скоростью, равной скорости вращения гониометрической приставки 3 вокруг главной оси О,но противоположно направленной. Пластины 28, установленные на гребенке 27, размещены так, что они обеспечивают беспрепятственное пропускание рентгеновских лучей, дифрагированных образцом для выбранного отражения, в направлении фотокассеты

18 благодаря тому, что пластины веерно расходятся по вертикали. В то же время, пластины 28 экранируют фотокас1 сету 18 от попадания на нее рентгеновских лучей всех иных, ну предусмотренных отражений, а также препят5

1 (> « ствуют попаданию ««;«ка< сету р««< сс««««ного излучения. формулаизобретечии

Устройство для получения рентгеновских топограмм монокристаллов, содержащее гониометрическую приставку для установки монокристалла с механизмом сканирования, кассету с механизмом ее сканирования, щелевую диафрагму, установленную перед гониометрической приставкой, и шторки, размещенные между гониометрической приставкой и кассетой, о т л и ч а— ю щ е е с я тем, что, с целью повышения контраста топографиче".êîãî изображения, на одной из шторок сс

80 «(«

< т )1«n««j, го«шо««ет1«««ческои приставки устав >н««е««а гребенка, содержащая ос««о«««»««e и жестко скрепленную с ним систему тонких плоских пластин, равномерно распределенных по длине основания и выполненных из поглощающего рентгеновские лучи материала, плоскость каждой пластины проходит через прямую, параллельную поверхности шторок и расположенную перпендикулярно оси гониометрической приставки на одной высоте с центром щелевой диафрагмы на расстоянии, рав15 ном R cos 0 от шторок, где R — расстояние от источника рентгеновских лучей до шторки вдоль оси, перпендикулярной гониометрической оси, 0 угол Вульфа-Брегга.

28 27 12

Составитель Е. Сидохин редактор Т.Иванова Техред JI.Ñåðäþêîâà Корректор Н.Ревская

Заказ 2431 Тираж 408 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно"издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101