Установочный стол

 

Изобретение относится к производству интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, а именно к технологии рентгенолитографии. Цель изобретения - снижение веса и габаритов стола, а также уменьшение разового минимального перемещения каретки - достигается тем, что каждый из механизмов перемещения выполнен в виде двуплечего рычага с двумя упругими элементами, точка опоры рычага через первый упругий элемент жестко связана с несущей частью стола, одно плечо жестко соединено с приводом, а другое через второй упругий элемент жестко соединено с кареткой. Устройство содержит каретку 1, вилочные кронштейны 2, 3, 4, 5, 6, 7, упругие тяги 14, 15, 16, консоли 8 - 9, 10 - 11 12 - 13. 3 ил.

союз соВетских социАлисти еских

РЕСПУБЛИК (5!)5 Н 05 К 13/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР ч ив т т

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4463143/2 1 (22) 19.07,88 (46) 15.07,91, Бюл.М 26 (72) С.В. Василевич, А.Н. Ген целев, Н.П. Самойл иди (53) 621.3.049.75(088.8) (56) Установочный стол ИЛ-268157 СБ в установке визуального совмещения для многослойной рентгенолитографии синхронным излучением иУВС-РСИ-1НЗп ИЛ 26-8240, эксплуатируемой на участке рентгенолитографии в ИЯФ АН СССР. (54) УСТАНОВОЧНЫЙ СТОЛ (57) Изобретение относится к производству интегральных микросхем и полупроводниИзобретение относится к производству интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, а именно к технологии рентгенолитографии, и может быть использовано в оборудовании для совмещения рисунка на маске с рисунком интегральной схемы на подложке и экспонирования.

Цель изобретения — снижение веса и габаритов стола а также уменьшение разового минимального перемещения каретки, На фиг. 1 изображена принципиальная схема трехкоординатного установочного стола с тремя раздельными механизмами привода, каждый из которых содержит по два рычага; на фиг. 2 — кинематическая схема однокоординатного установочного стола с одним механизмом перемещения, содержащем один рычаг; на фиг. 3 — кинематическая схема однокоординатного стола с одним механизмом перемещения, содержа. Ж 1663794 А1 ковых приборов, а именно к технологии рентгенолитографии. Цель изобретения — снижение веса и габаритов стола, а также уменьшение разового минимального перемещения каретки — достигается тем, что каждый из механизмов перемещения выполнен в виде двуплечего рычага с двумя элементами, точка опоры рычага через первый упругий элемент жестко связана с несущей частью стола, одно плечо жестко соединено с приводом, а другое через второй упругий элемент жестко соединено с кареткой. Устройство содержит каретку 1,вилочные кронштейны 2,3,4,5,6,7, упругие тяги 14,15,16, консоли 8-9, 10-11, 12-13. 6 ил. щем два рычага; на фиг. 4,5,6- кинематические схемы перемещения каретки трехкоординатного установочного стола.

Установочный стол содержит каретку 1, удерживаемую в вертикальном положении 0 рычажными опорами. В зависимости от ко- (h) личества степеней свободы каретки в конструкции стола предусматривается привод с 0 различным количеством механизмов пере- ф мещения, содержащих двуплечие рычаги (см. фиг. 1-3)

Двупаечие рычаги содержат упругие ви- 3» лочные кронштейны 2,3,4,5,6,7 с жестко прикрепленными к ним консолями 8,9,10,11,12,13, . которые попарно соединены упругими тягами

14,15,16, приводимыми в движение винтовыми парами (на чертеже не показаны). Одни из упругих элементов вилочных кронштейнов

2-7, соединенные с несущей частью стола, выполняют функцию опоры рычагов, другие

1663794 упругие элементы кронштейнов 2-7 соединены с кареткой. Упругие тяги 14,15,16 представляют собой жесткий стержень переменного сечения. Такая конструкция придает тяге свойства гибкого компенсатора тянущего изгиба, возникающего при нагружении тяги и родол ьной силой.

Упругие тяги 14,15,16 соединяют соответственно консоли 8-9, 10-11, 12-13 и винтовые пары и служат для преобразования движения винтовой пары в угол поворота консолей, затем в изгиб кронштейнов и в перемещение каретки.

В случае однокоординатного стола с одним механизмом перемещения, содержащим один рычаг (см, фиг,2), каретка не имеет направляющих движения и движется по кусочку окружности за счет изгиба упругого элемента, крепящегося к несущей части установочного стола.

В случае однокоординатного стола с одним механизмом перемещения каретки, содержащим два рычага (см. фиг,3), каретка также не имеет направляющих и при движении каретки происходит поворот в ее плоскости на некоторый угол.

Работу трехкоординатного стола (см, фиг.1)рассмотрим на примере движения, создаваемого одной тягой, При движении, создаваемом несколькими тягами одновременно, каретка совершает сложное движение, являющееся в первом приближении суперпозицией движений, от каждой из тяг в отдельности (см. фиг.4,5,6).

Упругая тяга 14, перемещаемая винтовой парой, в своем движении перемещает прикрепленные к ней концы консолей 8,9, которые при этом поворачиваются на некоторый угол, изгибая вилочные кронштейны

2,3. Этот их изгиб вызывает микроперемещение каретки относительно неподвижной части установочного стола.

Вилочные кронштейны 4,5,6,7 во время этого движения выполняют роль упругих направляющих.

При неподвижности тяг 15,16, а соответственно и консолей 10,11.12,13 вилоч ные кронштейны не позволяют каретке перемещаться вдоль линий, соединяющих точки крепления к каретке концов попарно соединенных вилочных кронштейнов 4,5 и

6,7. Вследствие этого каретка в своем дви5 жении осуществляет поворот вокруг точки Б пересечения этих линий, Случай, когда движется тяга 15, а тяги

14 и 16 неподвижны, аналогичен вышеописанному и поворот происходит вокруг точки

10 А.

В случае, когда движется тяга 16, а тяги

14,15 неподвижны, роль упругих направляющих выполняют вилочные кронштейны

2,3,4,5. Линии, соединяющие точки крепле15 ния к каретке концов попарно соединенных вилочных кронштейнов, не пересекаются, и при этом происходит прямолинейное движение каретки вдоль линии, соединяющей точки крепления к каретке концов вилочных

20 кронштейнов 6,7., Таким образом. каретка предлагаемого стола может перемещаться в своей плоскости по координате (линия, соединяющая точку крепления к каретке концов вилочных

25 кронштейнов 6,7) и вращаться вокруг двух точек А и Б, являющихся пересечениями линий, соединяющих точки крепления к каретке концов вилочных кронштейнов 2,3 и 4,5 с линией, соединяющей точки крепления к ка30 ретке вилочных кронштейнов 6,7.

Формула изобретения

Установочный стол, содержащий несущую часть, каретку для установки объекта

35 совмещения и привод с количеством независимых механизмов перемещения, равным количеству степеней свободы каретки, отличающийся тем, что, с целью снижения веса и габаритов стола, а также

40 уменьшения разового минимального перемещения каретки, каждый иэ механизмов перемещения выполнен в виде двуплечего рычага с двумя упругими элементами, точка опоры рычага через первый упругий эле45 .мент жестко связана с несущей частью стола, одно плечо жестко соединено с приводом, а другое через второй упругий элемент жестко соединено с кареткой, 1663794

1663794

Составитель В.Сутормин

Редактор В.Фельдман Техред М.Моргентал Корректор С.Шевкун

Заказ 2275 Тираж 490 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35. Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101