Мера для поверки увеличения и систем позиционирования микроскопов

 

Изобретение относится к измерительной технике, к мерам для калибровки увеличения и систем позиционирования оптических и электронных микроскопов. Цель изобретения - повышение точности аттестации и проверки микроскопов путем точного определения периода металлических полос меры. Мера состоит из подложки, на которой сформирована система параллельных металлических полос с контактными площадками. В данной системе возбуждают поверхностную акустическую волну, определяют амплитудно - частотную характеристику меры (АЧХ), из данной АЧХ находят период Λ параллельных металлических полос. 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к мерам для калибровки увеличения и систем позициониро- вания оптических и электронных микроскопов. Цель изобретения повышение точности аттестации и поверки микроскопов путем точного определения периода металлических полос меры. На фиг. 1 представлена конструкция меры; на фиг. 2 приведена ее амплитудно-частотная характеристика; на фиг. 3 дана структурная схема подключения меры. Мера представляет собой систему параллельных металлических полос 1, соединенных с шестью контактными площадками 2, 3, 4, причем средние полосы 1 соединены с верхней и нижней контактной площадкой 3. Остальные металлические полосы объединены попарно и подсоединены соответственно к контактным площадкам 2 и 4. Устройство работает следующим образом. Подсоединяют к контактным площадкам 2 генератор и возбуждают поверхностную акустическую волну, при этом контактные площадки 4 заземляют. При этом одновременно снимают амплитудно-частотную характеристику (АЧХ) меры (см. фиг. 2), показывающую взаимодействие ПАВ с решеткой из полос меры, находят из АЧХ верхнюю f_в и нижнюю f_н частоты режекции ПАВ и из выражения Λ V_s(f_в + f_н) определяют точный период полос Λ, где V_s скорость используемой ПАВ. В конкретно реализованной мере, где полное число полос равно 682, период параллельных полос составляет 10,022 ± 0,003 мкм.

Формула изобретения

МЕРА ДЛЯ ПОВЕРКИ УВЕЛИЧЕНИЯ И СИСТЕМ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ МИКРОСКОПОВ, содержащая пьезоэлектрическую подложку, на поверхности которой нанесен ряд параллельных металлических полос, при этом полосы, расположенные на периферийных участках, поочередно соединены с контактными площадками, образуя преобразователи возбуждения акустических волн и приема, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности аттестации микроскопов путем точного определения периода металлических полос, мера снабжена двумя дополнительными контактными площадками, соединенными с центральным участком металлических полос, и преобразователи возбуждения и приема волн выполнены в виде попарно соединенных с контактными площадками металлических полос, при этом число полос, образующих преобразователи, не менее 20% от общего количества металлических полос.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3